Periodieke controle van een Zeiss WMM 850 3D ...numerieke en grafische presentatie. Hieronder wordt...

Periodieke controle van een Zeiss WMM 850 3D-meetmachine, eigendom van UCN N.V., AlmeloCitation for published version (APA):Weekers, W. G., & Vliet, van, W. P. (1991). Periodieke controle van een Zeiss WMM 850 3D-meetmachine,eigendom van UCN N.V., Almelo. (TH Eindhoven. Afd. Werktuigbouwkunde, Vakgroep Produktietechnologie :WPB; Vol. WPA1057). Technische Universiteit Eindhoven.

Document status and date:Gepubliceerd: 01/01/1991

Document Version:Uitgevers PDF, ook bekend als Version of Record

Please check the document version of this publication:

• A submitted manuscript is the version of the article upon submission and before peer-review. There can beimportant differences between the submitted version and the official published version of record. Peopleinterested in the research are advised to contact the author for the final version of the publication, or visit theDOI to the publisher's website.• The final author version and the galley proof are versions of the publication after peer review.• The final published version features the final layout of the paper including the volume, issue and pagenumbers.Link to publication

General rightsCopyright and moral rights for the publications made accessible in the public portal are retained by the authors and/or other copyright ownersand it is a condition of accessing publications that users recognise and abide by the legal requirements associated with these rights.

• Users may download and print one copy of any publication from the public portal for the purpose of private study or research. • You may not further distribute the material or use it for any profit-making activity or commercial gain • You may freely distribute the URL identifying the publication in the public portal.

If the publication is distributed under the terms of Article 25fa of the Dutch Copyright Act, indicated by the “Taverne” license above, pleasefollow below link for the End User Agreement:www.tue.nl/taverne

Take down policyIf you believe that this document breaches copyright please contact us at:[email protected] details and we will investigate your claim.

Download date: 08. Aug. 2020

https://research.tue.nl/nl/publications/periodieke-controle-van-een-zeiss-wmm-850-3dmeetmachine-eigendom-van-ucn-nv-almelo(9a60fc00-65b7-4320-82a9-7690c39d7133).html

Periodieke controle van een Zeiss

WMM 850 3D-meetmachine,

eigendom van UCN N.V., Almelo.

Rapp. nr.: WPA 1057, april1991.

Ir. W.G. Weekers;

Ir. W.P. van Vliet.

- 1 -

1. Inleiding

In dit rapport zijn de gegevens vastgelegd van afname-metingen verricht aan een Zeiss

WMM portaal-meetmachine geïnstalleerd bij de centrale meetkamer van UCN N.V. te

Almelo.

De metingen zijn uitgevoerd volgens een meetplan en meetprocedures opgesteld in het

Laboratorium voor Geometrische Meettechniek van de TU-Eindhoven. De meet

procedures zijn conform de opzet voor afnameprocedures 3D-meetmachines zoals deze

thans geaccepteerd is binnen de Nederlandse Kalibratie Organisatie. Het meetplan volgt

de aanbevelingen zoals deze zijn vastgelegd in VDI 2617.

De afnamemetingen zijn uitgevoerd door eigen personeel van Ultra Centrifuge

Nederland N. V. te Almelo volgens het door het Laboratorium voor Geometrische

Meettechniek van de TU-Eindhoven aangeleverde meetplan. Enkele metingen zijn ook

nog met een ander dan in het meetplan aangegeven meetinstrument uitgevoerd. De

verwerking van de door UCN aangeleverde meetdata is uitgevoerd door personeel van

het Laboratorium voor Geometrische Meettechniek van de TU-Eindhoven.

De afname is uitgevoerd via meting van de basis-bronnen van afwijkingen. Tevens zijn

metingen verricht om de invloed van het tastsysteem vast te leggen. Uit de resultaten

van de deelmetingen is de onnauwkeurigheid geschat voor 1D, 2D en 3D-metingen,

waarbij er van uitgegaan is dat de deelresultaten onafhankelijk zijn en de afwijkingen

random verdeeld zijn langs de meetassen.

-2-

2. Het meetplan

2.1 Inleiding

De meetmachine bezit de meetassen X, Y en Z met de volgende meetbereiken:

X-as: 750 mm

Y-as: 750 mm

Z-as: 450 mm

V oor de 1D-metingen is deze opgegeven als:

öL .s. (3, 6 + Jn) [J.lm] X,y .LUU

ÖLZ .s. (2, 5 + r&o) [J.lm]

De 3D-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens: L öL .s. (5, 0 + Iöö) [J.lm].

Hierbij is L steeds de meetlengte in mm.

Zoals reeds is opgemerkt zijn deelmetingen uitgevoerd om daarmee de grootte van de

diverse afwijkingenbronnen vast te leggen. De volgende meetinstrumenten en

meetmiddelen zijn bij deze metingen ingezet:

- HP-laserinterferometer, type 5526A;

- autocollimator, dubbelassig, fabrikaat Hilger-Watts met spiegel;

-elektronische waterpassen-set met levelmeter, fabrikaat Wyler;

- eindmaat 30,000 mmeneen pasring 17,500 mm;

- hoekhaak 450*250 mm ,fabrikaat Mahr.

V oor bovenstaande meetinstrumenten is door de NKO een erkenning voor het verrichten

van kalibraties afgegeven. De eindmaat, pasring vallen buiten de NKO-erkenning maar

zijn alleen voor specifieke metingen ingezet.

- 3 -

2.2 Overzicht van het meet.prD,&ramma

In het uiteindelijk uitgevoerde meetprogramma zijn een groot aantal deelmetingen

uitgevoerd die zijn onde~ te verdelen in de volgende hoofdgroepen:

* Iranslatie-afwijkingen Tij met i.j = X. Y. Z

De afwijkingen TH zijn bepaald tegen de laserinterferometer terwijl de afwijkingen

Tij met ittj met de rechtheidsoptie van de laser-interferometer zijn bepaald met

uitzondering van Txz en Tyz welke via rechtheidsmeting tegen de hoekhaak zijn

gemeten.

* Rotatie-atwijkingen Rij

De rotatie-afwijkingen Rij met ittj zijn gemeten met de autocollimator of met een

elektronisch waterpas. De autocollimator is gebruikt in het meetgebied waar de

systematische afwijkingen klein zijn. De rotatie-afwijkingen Rxx en Ryy zijn met

het elektronisch waterpas gemeten, Rzz is gemeten via twee rechtheidsmetingen

tegen een zijde van de hoekhaak De rotaties Rxz en Ryz zijn gemeten met het

elektronisch waterpas via gebruik van een extra meetplateau gemonteerd tegen de

onderkant van de z-as.

* Haaksbeidsafwijk.ingen Sij

Deze drie afwijkingen zijn gemeten met de meetmachine tegen de hoekhaak die

daarbij als referentie is gebruikt.

Het gedrag van het tastsysteem is geanalyseerd via meting van een eindmaat (lD)

en een ring (2D).

-4-

3. Resultaten

De meetresultaten van de deelmetingen zijn uitgebreid weergegeven in de bijlagen via

numerieke en grafische presentatie.

Hieronder wordt een samenvatting van de belangrijkste meetresultaten gegeven, waarbij

telkens de bovengrenswaarde van de bijbehorende systematische afwijking is vermeld.

Iranslatieafwijkingen:

1. Txx .s. 2,8 iJ.m, meting op kleinste komparatorpositie;

2. Tyx .s. 1,4 iJ.m;

3. Tzx .s. 0,6 iJ.ffi;

4. Tyy .s. 2,0 iJ.m, meting op kleinste komparatorpositie;

5. Tyy .s. 2,2 iJ.m, meting op grootste komparatorpositie;

6. Txy .s. 1,4 iJ.m;

7. Tzy .s. 0,7 iJ.m;

8. Tzz .s. 1,6 iJ.m;

9. Txz .s. 0,8 iJ.m;

10. Tyz .s. 2,1iJ.m;

Rotatie-afwijkingen:

11. Rxx .s. 0,3 ";

12. Ryx .s. 3,6 ";

13. Rzx .s. 2,1 ";

- 5 -

14. Ryy i 0,3 ";

15. Rxy i 1,1 ";

16. Rzy i 0,7 ";

17. Rzz i 1,8 ";

18. Rxz i 0,9 ";

19. Ryz i 4,3 ";

Haaksheidsafwijkingen:

20. Sxy i 0,4 ", Sxz i 0,0 ", Syz i 0,0 ";

21. Controle van het tastsysteem.

De grootste afwijkingen ten opzichte van de nominale waarde van de eindmaat t.g.v. het

tastsysteem bij meting in 1D en 2D is:

1D : x-as Tx i 0,4 11m met een spreiding van: 0,0 11m;

y-as Ty i 0,8 11m met een spreiding van: 1,0 11m;

z-as

2D: x-y vlak

Tz i 0,9 11m met een spreiding van:

T 2d i 0,3 Jlm met een spreiding van:

0,0 11m;

1,0 Jlm.

Opmerking: De nominale lengte van de gebruikte eindmaat is eigenlijk te groot voor

het meten van tasterafwijkingen.

- 6 -

4. Bepaling van de meetonnauwkeurigheid

Zoals eerder is venneld wordt de onnauwkeurigheid apart gespecificeerd voor 1D en 3D.

De 2D-meetonnauwkeurigheid is niet gespecificeerd.

Uit de resultaten van de deelmetingen (zonder tasterafwijkingen) is een boyengrens voor

de onnauwkeurigheden geschat op basis van voortplanting van afwijkingen waarbij de

afwijkingen onderling als onafhankelijk en onbekend systematisch zijn beschouwd. De

bovengrens voor zowel1D-, 2D- en 3D-ruimte is hieronder aangegeven als 2S-waarde.

Tussen haakjes is voor de 1D en 3D-meetonnauwkeurigheid de specificatie opgegeven,

waarbij als lengtefactor het gehele meetbereik is genomen.

* 1D-meetonnauwkeurigheid:

Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen langs deze assen.

X-richting: ö[x .. 8,7 /-lm.

Y-richting: ö[y .. 3,1 /-lm.

Z-richting: ö[z .. 1,6 /-lm.


(11 ,1 /-lm);

(11,1 /-lm);

(7,0 /-lm).

Het betreft de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen in een vlak.

X-Y vlak: ö[xy = 8,0.

X-Z vlak: ö[xz = 9,4 1-lm.

Y-Z vlak: ö[yz = 3,0 1-lm.


Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen in het meetvolume.

X, Y, Z-ruimte: ö[xyz = 9,2 /-lm. (16,5 /-lm).

- 7 -

5. Conclusies

Ten aanzien van de deelmetingen kan gesteld worden dat geen van de afwijkings

bronnen extreem grote afwijkingen vertoond. Zowel de lD en de 30-meetonnauw

keurigheid, geschat op basis van de bovengrensmethode, vallen dan ook ruim binnen de

specificaties.

- 8 -

6. Bijla&en: Meetresultaten

In bijlage 1 worden de meetresultaten van de deelmetingen gegeven met de

bijbehorende grafische representaties. Van de haaksheidsmetingen en de tastermetingen

zijn geen grafische representaties gegeven.

De eerste set resultaten betreft de translatiemetingen Tij. Hiervan zijn de heen- en de

teruggaande meting weergegeven en het gemiddelde.

Daarna volgen de rotatiemetingen Rij, uitgevoerd op gelijke intervallen langs de assen.

Hier zijn alleen de gemiddelde resultaten weergegeven.

In bijlage 2 zijn de resultaten van de tastercontrole weergegeven.

- 9 -

BULAGE 1

Resultaten van de metingen van de geometrische afwijkingen.

Zei ss WMM UCN Almelo

Type meting = TXX (KKF) Startpositie : y = Omm Meetmiddel = 1 as er z = Omm Datum/Tijd : 6-11-1990 08:30 Temperatuur = 20.80 oe

Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine

X-AS HEEN HEEN HEEN X-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [ J1lll] [mm] [mm] [J1lll] [ J1lll]

0. 3200 0.3194 0.0 0.3200 0.3190 0.4 0.2 50.6203 50.6203 -0.6 50.6203 50.6191 0.6 0.0

100.4106 100.4108 -0.8 100.4106 100.4104 -0.4 -0.6 150.0509 150.0503 0.0 150.0509 150.0497 0.6 0.3 200.8213 200.8229 -2.2 200.8213 200.8216 -0.9 -1.6 250.8016 250.8027 -1.7 250.8016 250.8026 -1.6 -1.7 300.9619 300.9633 -2.0 300.9619 300.9632 -1.9 -2.0 350.7222 350.7234 -1.8 350.7222 350.7232 -1.6 -1.7 400.7425 400.7433 -1.4 400.7425 400.7432 -1.3 -1.4 450.0928 450.0941 -1.9 450.0928 450.0942 -2.0 -1.9 500.0531 500.0544 -1.9 500.0531 500.0543 -1.8 -1.8 550.1534 550.1549 -2.1 550.1534 550.1543 -1.5 -1.8 600.2838 600.2848 -1.7 600.2838 600.2838 -0.7 -1.2 650.5041 650.5057 -2.2 650.5041 650.5054 -1.9 -2.1 700.5544 700.5564 -2.6 700.5544 700.5561 -2.3 -2.5 750.6447 750.6470 -2.9 750.6447 750.6467 -2.6 -2.8

ZEISS WMM UCN ALMELO 2. Type meting : TXX Datum : 6-11-1990 Tijd : 08:30

1.

,.......,

ê ~ -1. 0 0 . 0 ......... t:: -2. ·~ t:: Cl) OJ) t:: ·~ -3. ~ ·~ ·~

l < -4.

-5.

-6.~----r---~-----4-----+----~----~----4---~

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. X-AS [mm]

x= HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD

Zeiss WMM UCN Almelo

Type meting TYX Startpositie y = Ornm Meetmiddel laser z = Ornm Datum/Tijd 5-11-1990 16:00 Temperatuur = 20.00 oe

Positie Aflezing Aflezing Afwijking Afwijking Afwijking Afwijking machine meetmiddel meetmiddel machine t.o.v. t.o.v. t.o.v.

X-AS HEEN TERUG GEMIDDELD LSQ-1 ijn LSQ-1 ijn LSQ-1 ij n [mm] [ ~Iffi] [ ~Iffi] [~Iffi] HEEN TERUG GEMIDDELD

0.3 -0.4 0.0 0.2 -0.6 -0.2 -0.4 50.6 -0.1 -0.4 0.2 -0.3 -0.6 -0.4

100.4 0.1 -0.3 0.3 0.0 -0.4 -0.2 150.1 0.2 0.0 0.5 0.2 -0.0 0.1 200.8 -0.1 -0.6 0.0 -0.1 -0.6 -0.3 250.8 0.0 -0.2 0.3 0.1 -0.1 0.0 301.0 1.3 1.1 1.6 1.5 1.3 1.4 350.7 1.0 0.9 1.4 1.2 1.1 1.2 400.7 -0.2 -0.2 0.2 0.1 0.1 0.1 450.1 -0.6 -0.5 -0.2 -0.2 -0.1 -0.2 500.0 -0.6 -0.6 -0.2 -0.2 -0.2 -0.2 550.2 -0.9 -1.1 -0.6 -0.4 -0.6 -0.5 600.3 -0.8 -0.9 -0.4 -0.2 -0.3 -0.3 650.5 -0.9 -0.9 -0.5 -0.3 -0.3 -0.3

ZEISS WMM UCN ALMELO 3. Type meting : TYX Datum : 5-11-1990 Tijd : 16:00

2.5

2. r--1

ê 1.5 ~

0 0 . 0 1. ........., t:: ....... t:: (!) 0.5 00 t:: ....... ~ ·~ ....... cè ~

-0.5

-1.

-1.5 -i-----+------+----+------1----+------1-------1

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. X-AS [mm]



Type meting : TZX Startpositie : y = Omm Meetmiddel . laser z = Omm . Datum/Tijd : 5-11-1990 15:00 Temperatuur = 20.00 oC


X-AS HEEN TERUG GEMIDDELD LSQ-lijn LSQ-lijn LSQ-lijn [mm] [ #Jffi] [ #JID] [ #JID] HEEN TERUG GEMIDDELD

0.3 0.0 0.0 0.0 -0.6 -0.6 -0.6 50.6 0.5 0.4 0.4 -0.1 -0.2 -0.1

100.4 0.4 0.3 0.4 -0.1 -0.2 -0.1 150.1 0.7 0.6 0.7 0.3 0.2 0.2 200.8 0.7 0.4 0.6 0.3 0.0 0.2 250.8 0.8 0.5 0.6 0.5 0.2 0.4 301.0 0.8 0.4 0.6 0.6 0.2 0.4 350.7 0.5 0.4 0.4 0.3 0.2 0.3 400.7 0.2 0.1 0.2 0.1 0.0 0.1 450.1 0.0 0.0 0.0 -0.0 -0.0 -0.0 500.0 0.1 -0.1 0.0 0.1 -0.1 0.0 550.2 0.0 -0.2 -0.1 0.1 -0.1 0.0 600.3 -0.4 -0.3 -0.4 -0.2 -0.1 -0.2 650.5 -0.7 -0.7 -0.7 -0.5 -0.5 -0.5

ZEISS WMM UCN ALMELO 1.5 Type meting : TZX Datum : 5-11-1990 Tijd : 15:00

1.

1 0.5

-1.

-1.5 +-----t-----+----i----+----4-------1f--~ 0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700.

X-AS [mm]


Zei ss WMM UCN Almelo

Type meting TYY (KKF) Startpositie x = Omm Meetmiddel laser z = Omm Datum/Tijd 6-11-1990 08:00 Temperatuur = 20.80 oC


Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [ J1IIl] [mm] [mm] [ J1IIl] [ J1IIl]

0.5300 0.5292 0.0 0.5300 0.5277 1.5 0.7 50.5603 50.5593 0.2 50.5603 50.5596 -0.1 0.1

100.4306 100.4300 -0.2 100.4306 100.4264 3.5 1.6 150.4209 150.4208 -0.7 150.4209 150.4201 0.0 -0.3 200.6313 200.6292 1.2 200.6313 200.6294 1.0 1.1 250.8316 250.8293 1.5 250.8316 250.8287 2.1 1.8 300.5019 300.5023 -1.2 300.5019 300.5014 -0.3 -0.8 350.5522 350.5531 -1.7 350.5522 350.5518 -0.4 -1.1 400.9225 400.9237 -2.0 400.9225 400.9223 -0.6 -1.3 450.2428 450.2447 -2.7 450.2428 450.2434 -1.4 -2.0 500.7931 500.7933 -1.0 500.7931 500.7914 0.9 -0.0 550.7834 550.7824 0.2 550.7834 550.7824 0.2 0.2 600.8037 600.8027 0.2 600.8037 600.8021 0.8 0.5 650.5941 650.5930 0.3 650.5941 650.5925 0.8 0.5

ZEISS WMM UCN ALMELO 8. Type meting: TYY Datum: 6-11-1990 Tijd: 08:00

6.

,......., 4.

~ ~

0 0

2 . . 0 ......... t:: ..... t:: Q.)

0. 00 t:: ..... ~ . ....., ...... .l -2. <

-4.

-6.r-----~-----+------r-----~----~----~----~

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. Y-AS [mm]


Zei ss J'MM UCN Almelo

Type meting TYY (GKF) Startpositie : x = Omm Meetmiddel laser z = Omm Datum/Tijd 6-11-1990 08:30 Temperatuur = 20.80 oC


Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [J1I11] [mm] [mm] [ J1II1] [ J1I11]

0.5300 0.5299 0.0 0.5300 0.5300 -0.1 -0.0 50.5603 50.5617 -1.5 50.5603 50.5585 1.7 0.1

100.4306 100.4321 -1.6 100.4306 100.4307 -0.2 -0.9 150.4209 150.4219 -1.1 150.4209 150.4220 -1.2 -1.1 200.6313 200.6321 -1.0 200.6313 200.6296 1.5 0.3 250.8316 250.8321 -0.6 250.8316 250.8310 0.5 -0.1 300.5019 300.5030 -1.2 300.5019 300.5020 -0.2 -0.7 350.5522 350.5533 -1.2 350.5522 350.5527 -0.6 -0.9 400.9225 400.9234 -1.0 400.9225 400.9228 -0.4 -0.7 450.2428 450.2454 -2.7 450.2428 450.2445 -1.8 -2.2 500.7931 500.7949 -1.9 500.7931 500.7918 1.2 -0.3 550.7834 550.7842 -0.9 550.7834 550.7837 -0.4 -0.6 600.8037 600.8047 -1.1 600.8037 600.8041 -0.5 -0.8 650.5941 650.5942 -0.2 650.5941 650.5930 1.0 0.4

ZEISS WMM UCN ALMELO 4. Type meting : TYY Datum : 6-11-1990 Tijd : 08:30

3.

2.

,.......,

ê 1.

~

0 0. 0 . 0 '---'

= -1. •1""'1

= ~ = -2. •1""'1

.!:è: ·~

! -3. ~

-4.

-5.

-6. 0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700.

Y-AS [mm]



Type meting : TXY StartJX>sitie : y = Omm Meetmiddel . laser z = Omm . Daturn/Tijd : 5-11-1990 16:00 Temperatuur = 20.00 oC


X-AS HEEN TERUG GEMIDDELD LSQ-lijn LSQ-1 ijn LSQ-1 ijn [mm] [lllll] [lllll] [lllll] HEEN TERUG GEMIDDELD

0.3 -0.4 0.0 0.2 -0.6 -0.2 -0.4 50.6 -0.1 -0.4 0.2 -0.3 -0.6 -0.4

100.4 0.1 -0.3 0.3 0.0 -0.4 -0.2 150.1 0.2 0.0 0.5 0.2 -0.0 0.1 200.8 -0.1 -0.6 0.0 -0.1 -0.6 -0.3 250.8 0.0 -0.2 0.3 0.1 -0.1 0.0 301.0 1.3 1.1 1.6 1.5 1.3 1.4 350.7 1.0 0.9 1.4 1.2 1.1 1.2 400.7 -0.2 -0.2 0.2 0.1 0.1 0.1 450.1 -0.6 -0.5 -0.2 -0.2 -0.1 -0.2 500.0 -0.6 -0.6 -0.2 -0.2 -0.2 -0.2 550.2 -0.9 -1.1 -0.6 -0.4 -0.6 -0.5 600.3 -0.8 -0.9 -0.4 -0.2 -0.3 -0.3 650.5 -0.9 -0.9 -0.5 -0.3 -0.3 -0.3

ZEISS WMM UCN ALMELO 1.5 Type meting: TXY Datum: 5-11-1990 Tijd: 11:15

1.

,....-, 0.5 ê

'1""""4 0 0 . 0

!......eol

t:= •1""'4

t:= Q)

-0.5 biJ t:=

•1""'4 ~ ·~ •1""'4

~ -1. <

-1.5

-2.~----~-----+------~----~-----+----~r---~

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. Y-AS [mm]



Type meting : TZY Startpositie x = Omm Meetmiddel laser z = Omm Daturn/Tijd : 5-11-1990 13:00 Temperatuur = 20.00 oe


Y-AS HEEN TERUG GEMIDDELD LSQ-1 ijn LSQ-lijn LSQ-lijn [mm] [ llffi] [IJlll] [ IJlll] HEEN TERUG GEMIDDELD

0.5 0.0 0.2 0.1 0.2 0.4 0.3 50.6 0.3 0.6 0.5 0.4 0.7 0.5

100.4 0.5 0.0 0.2 0.4 -0.1 0.2 150.4 0.1 0.6 0.4 -0.1 0.4 0.1 200.6 0.0 0.1 0.1 -0.4 -0.3 -0.3 250.8 0.2 0.3 0.3 -0.3 -0.2 -0.3 300.5 0.0 0.2 0.1 -0.7 -0.5 -0.6 350.5 0.1 0.2 0.2 -0.7 -0.6 -0.7 400.9 0.5 1.1 0.8 -0.5 0.1 -0.2 450.2 0.7 1.2 1.0 -0.4 0.1 -0.2 500.8 1.7 1.5 1.6 0.4 0.2 0.3 550.8 1.3 1.4 1.4 -0.2 -0.1 -0.1 600.8 1.8 1.8 1.8 0.2 0.2 0.2 650.6 2.0 2.0 2.0 0.2 0.2 0.2 700.5 2.3 2.3 2.3 0.4 0.4 0.4

1.5

1.

l 0.5 ~

0 q 0 .........

. s 0. - - - - - -

-1.

ZEISS WMM UCN ALMELO Type meting: TZY Datum: 5-11-1990 Tijd: 13:00

-1.5 +----t-----t---+----+----+-----t----t------1

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. Y-AS (mm]



Type meting TZZ Startpositie x = Omm Meetmiddel laser y = Omm Daturn/Tijd 5-11-1990 10:00 Temperatuur = 20.00 oC


Z-AS HEEN HEEN HEEN Z-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [ Jml] [mm] [mm] [ Jml] [ J1l1l]

0.4300 0.4304 0.0 0.4300 0.4305 -0.1 -0.0 50.1203 50.1197 1.0 50.1203 50.1197 1.0 1.0

100.3006 100.2996 1.4 100.3006 100.3005 0.5 1.0 150.6109 150.6100 1.3 150.6109 150.6105 0.8 1.1 200.7813 200.7805 1.2 200.7813 200.7814 0.3 0.7 250.0216 250.0198 2.2 250.0216 250.0210 1.0 1.6 300.8219 300.8205 1.8 300.8219 300.8210 1.3 1.5 350.6922 350.6915 1.1 350.6922 350.6912 1.4 1.2 400.2925 400.2916 1.3 400.2925 400.2918 1.1 1.2 450.3628 450.3620 1.2 450.3628 450.3617 1.5 1.4

ZEISS WMM UCN ALMELO 4.5 Type meting: TZZ Datum: 5-11-1990 Tijd: 10:00

4.

3.5 ,.......,

ê 3.

~

0 2.5 0 0

0 loo...ol

c:: 2. ·~ c:: Q) 0.0 c:: 1.5 ·~ ~ ·~ ·~

~ 1. ~

0.5

0. - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - .

-0.5 +----+----+----1----+------lf---+-----+---+----+----f

0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. Z-AS [mm]


Zeiss JMM UCN Almelo

Type meting :TXZ Startpositie : x = 300 mm Meetmiddel : haaks blok y = 300 mm Datum/Tijd : 21-1-1991 15:40 Temperatuur = 20.00 oC


Z-AS HEEN TERUG GEMIDDELD LSQ-lijn LSQ-l ijn LSQ-1 ijn [mm] [pro] [pro] [pro] HEEN TERUG GEMIDDELD

0.4 0.0 0.0 0.0 -0.7 -0.7 -0.7 50.1 0.3 0.6 0.5 -0.4 -0.1 -0.2

100.3 0.7 0.6 0.7 -0.0 -0.1 -0.1 150.6 1.0 1.0 1.0 0.2 0.2 0.2 200.8 1.3 1.3 1.3 0.5 0.5 0.5 250.0 1.7 1.7 1.7 0.8 0.8 0.8 300.8 1.0 1.4 1.2 0.1 0.5 0.3 350.7 1.3 1.5 1.4 0.4 0.6 0.5 400.3 0.7 0.8 0.8 -0.3 -0.2 -0.2 450.4 0.0 0.0 0.0 -1.0 -1.0 -1.0

ZEISS WMM UCN ALMELO 2. Type meting: TXZ Datum: 21-1-1991 Tijd: 15:40

1.5

1. ,.......,

ê 0.5 ~

0 0 . 0 ~

c:: ·~ c:: Q) -0.5 00 c:: ·~ ~ ·~ ·~ -1.

~ -1.5

-2.

-2.5 -+-----+-----+---+----+----1----+----+---1-----+--~ 0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500.

Z-AS [mm]



Type meting : TYZ Startpositie : x = 300 mm Meetmiddel : haaks blok y = 300 mm Datum/Tijd : 21-1-1991 15:38 Temperatuur = 20.00 oe


Z-AS HEEN TERUG GEMIDDELD LSQ-lijn LSQ-1 ijn LSQ-1 ijn [mm] [pm] [pm] [pm] HEEN TERUG GEMIDDELD

0.4 0.0 0.0 0.0 -2.1 -2.1 -2.1 50.1 1.0 1.2 1.1 -1.0 -0.8 -0.9

100.3 2.0 2.4 2.2 0.0 0.4 0.2 150.6 3.1 3.7 3.4 1.2 1.8 1.5 200.8 3.9 3.9 3.9 2.0 2.0 2.0 250.0 3.9 2.1 3.0 2.0 0.2 1.1 300.8 3.1 2.3 2.7 1.3 0.5 0.9 350.7 1.0 1.6 1.3 -0.8 -0.2 -0.5 400.3 0.9 1.8 1.4 -0.9 0.0 -0.4 450.4 0.0 0.0 0.0 -1.7 -1.7 -1.7

5.

4.

3.

] 2. '!"'""' 0 0 1. . 0 ........,

-1.

-2.

-3.

-4.

ZEISS WMM UCN ALMELO Type meting : TYZ Datum : 21-1-1991 Tijd : 15:38

-5.~---r--~----+---~--~----+----+----~--4---~

0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. Z-AS [mm]



Type meting RXX Startpositie y = Ornrn Meetmiddel Elektronisch waterpas z = Ornrn Daturn/Tijd 24-10-1990 13:30 Temperatuur = 20.00 oC

Positie Aflezing Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel meetmiddel machine t.o.v.

X-AS HEEN TERUG GEMIDDELD BEGINWAARDE [rnrn] [arcsec] [arcsec] [arcsec] [arcsec]

0.3 0.0 0.0 0.0 0.0 50.6 0.2 0.2 0.2 0.2

100.4 0.4 0.2 0.3 0.3 150.1 0.4 0.2 0.3 0.3 200.8 0.4 0.0 0.2 0.2 250.8 0.4 0.0 0.2 0.2 301.0 0.2 -0.2 0.0 0.0 350.7 0.4 0.0 0.2 0.2 400.7 0.4 0.0 0.2 0.2 450.1 0.4 0.0 0.2 0.2 500.0 0.6 0.0 0.3 0.3 550.2 0.4 0.2 0.3 0.3 600.3 0.2 0.2 0.2 0.2 650.5 -0.2 -0.2 -0.2 -0.2 700.5 0.0 0.0 0.0 0.0 750.6 0.2 0.2 0.2 0.2

1.4

1.2

1.

,......., 0.8 u (J) Cf)

8 ~ 0.6

.s § 0.4 bi)

] :::::;-> 0.2

ZEISS WMM UCN ALMELO Type meting: RXX Datum: 24-10-1990 Tijd: 13:30

~ 0. - - - - - - - - - - - - - _...,.__~

-0.2

-0.4

-0.6 +----t-----t----+----t-----t----+------+------;

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. X-AS [mm]



Type meting RYX Startpositie y = 300 mm Meetmiddel Elektronisch waterpas z = 400 mm Datum/Tijd 21-1-1991 15:51 Temperatuur = 20.00 oC


X-AS HEEN TERUG GEMIDDELD BEGINWAARDE [mm] [arcsec] [arcsec] [arcsec] [arcsec]

0.3 0.0 0.4 0.2 0.2 50.6 0.6 0.8 0.7 0.7

100.4 0.8 1.0 0.9 0.9 150.1 1.0 1.2 1.1 1.1 200.8 1.2 1.4 1.3 1.3 250.8 1.6 1.6 1.6 1.6 301.0 1.9 1.9 1.9 1.9 350.7 2.1 2.1 2.1 2.1 400.7 2.5 2.5 2.5 2.5 450.1 2.7 2.9 2.8 2.8 500.0 2.7 2.9 2.8 2.8 550.2 2.9 3.1 3.0 3.0 600.3 3.1 3.3 3.2 3.2 650.5 3.1 3.3 3.2 3.2 700.5 3.5 3.5 3.5 3.5 750.6 3.5 3.7 3.6 3.6

ZEISS WMM UCN ALMELO 8. Type meting : RYX Datum : 21-1-1991 Tijd : 15:51

6.

,......, u Q) 4. Cl)

~ .s ~ 2. 00 .s ~ ·~

~ 0. - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - .

-2.

-4.~----r---~----~-----+----~----~----~--~

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. X-AS [mm]



Type meting RZX Startpositie y = 300 mm Meetmiddel Autocollimator z = 450 mm Datum/Tijd 21-1-1991 16:00 Temperatuur = 20.00 oC


X-AS HEEN TERUG GEMIDDELD BEGINWAARDE (mm] [arcsec] [arcsec] [arcsec] [arcsec]

0.3 0.0 0.3 0.2 0.2 50.6 0.4 0.5 0.5 0.5

100.4 0.2 0.0 0.1 0.1 150.1 0.0 0.0 0.0 0.0 200.8 0.4 0.6 0.5 0.5 250.8 0.1 0.2 0.2 0.2 301.0 0.3 0.3 0.3 0.3 350.7 0.8 0.9 0.9 0.9 400.7 1.2 1.4 1.3 1.3 450.1 1.3 1.4 1.4 1.4 500.0 1.3 1.4 1.4 1.4 550.2 1.1 1.0 1.1 1.1 600.3 1.2 1.2 1.2 1.2 650.5 1.8 1.9 1.9 1.9 700.5 2.0 1.9 2.0 2.0 750.6 2.1 2.1 2.1 2.1

ZEISS WMM UCN ALMELO 5. Type meting: RZX Datum: 21-1-1991 Tijd: 16:00

4.

3. _.., u Q) r:J'J

2. ~ ~ ..........

. s t:: 1. Q) bO

] ·~ ·~

l <

-1.

-2.

-3.~----~--~-----4-----+----~----~----4---~

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. X-AS [mm]



Type meting RYY Startpositie x = Omm Meetmiddel Elektronisch waterpas z = Omm Datum/Tijd 21-1-1991 15:10 Temperatuur = 20.00 oC


Y-AS HEEN TERUG GEMIDDELD BEGINWAARDE [mm] [arcsec] [arcsec] [arcsec] [arcsec]

0.5 0.0 0.2 0.1 0.1 50.6 -0.2 0.0 -0.1 -0.1

100.4 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 150.4 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 200.6 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 250.8 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 300.5 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 350.5 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 400.9 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 450.2 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 500.8 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 550.8 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 600.8 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 650.6 -0.2 -0.2 -0.2 -0.2 700.5 -0.4 -0.2 -0.3 -0.3

ZEISS WMM UCN ALMELO 0.6 Type meting: RYY Datum: 21-1-1991 Tijd: 15:10

0.4

0.2 ,__... u Q) Cl)

~ ~

.s = -0.2 Q) b.O .s ~ ·~ -0.4 .......

.! <

-0.6

-0.8

-l.r-----~----~----r---~~--~----~-------~-------~

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. Y-AS [mm]



Type meting RXY Startpositie : x = 300 mm Meetmiddel Elektronisch waterpas z = 300 mm Datum/Tijd 21-1-1991 15:57 Temperatuur = 20.00 oe



0.5 0.0 0.0 0.0 0.0 50.6 0.2 0.4 0.3 0.3

100.4 0.4 0.6 0.5 0.5 150.4 0.6 0.8 0.7 0.7 200.6 0.6 1.0 0.8 0.8 250.8 0.8 1.0 0.9 0.9 300.5 0.8 1.0 0.9 0.9 350.5 0.8 1.0 0.9 0.9 400.9 1.0 1.2 1.1 1.1 450.2 1.2 1.2 1.2 1.2 500.8 1.2 1.4 1.3 1.3 550.8 1.4 1.4 1.4 1.4 600.8 1.6 1.6 1.6 1.6 650.6 1.6 1.6 1.6 1.6 700.5 1.9 1.9 1.9 1.9

ZEISS WMM UCN ALMELO 4. Type meting: RXY Datum: 21-1-1991 Tijd: 15:57

3.

1.

0. - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - .

-1.

-Z.r-----~--~-----+-----+----~----4-----+---~

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. Y-AS [mm]



Type meting RXY Startpositie x = 300 mm Meetmiddel Autocollimator z = 400 mm Datum/Tijd 21-1-1991 16:05 Temperatuur = 20.00 oC



0.3 0.0 0.1 0.1 0.1 50.6 0.0 0.0 0.0 0.0

100.4 -0.1 0.0 -0.1 -0.1 150.1 -0.2 0.0 -0.1 -0.1 200.8 -0.2 -0.1 -0.2 -0.2 250.8 -0.3 -0.1 -0.2 -0.2 301.0 -0.4 -0.2 -0.3 -0.3 350.7 -0.3 -0.2 -0.3 -0.3 400.7 -0.4 -0.2 -0.3 -0.3 450.1 -0.4 -0.3 -0.4 -0.4 500.0 -0.5 -0.4 -0.5 -0.5 550.2 -0.6 -0.6 -0.6 -0.6 600.3 -0.8 -0.8 -0.8 -0.8 650.5 -1.0 -1.0 -1.0 -1.0 700.5 -1.1 -1.1 -1.1 -1.1

ZEISS WMM UCN ALMELO 0.5 Type meting : RXY Datum : 21-1-1991 Tijd : 16:05

~ u -0.5 Q) rJ:J

8 cd .........,

.s t:: -1. Q) b.O .s ~ ._, ·-~ -1.5 <:

-2.

-2.5 +-----+----+-----+-----lf------+----+----+----1 0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800.

Y-AS [mm]



Type meting : RZY Startpositie : x = 300 mm Meetmiddel : Autocollimator z = 400 mm Datum/Tijd : 21-1-1991 16:08 Temperatuur = 20.00 oe



0.3 0.0 0.0 0.0 0.0 50.6 0.0 0.0 0.0 0.0

100.4 0.0 -0.1 -0.1 -0.1 150.1 0.0 -0.2 -0.1 -0.1 200.8 0.1 0.1 0.1 0.1 250.8 0.1 0.1 0.1 0.1 301.0 0.2 0.2 0.2 0.2 350.7 0.3 0.2 0.3 0.3 400.7 0.5 0.3 0.4 0.4 450.1 0.4 0.4 0.4 0.4 500.0 0.3 0.4 0.4 0.4 550.2 0.6 0.5 0.6 0.6 600.3 0.7 0.6 0.7 0.7 650.5 0.7 0.7 0.7 0.7 700.5 0.7 0.7 0.7 0.7

ZEISS WMM UCN ALMELO 1.4 Type meting: RZY Datum: 21-1-1991 Tijd: 16:08

1.2

1.

,........, u 0.8 (l) Cl)

8 ~

l.o.-I

.s 0.6 c (l) bi)

0.4 .s ..:..:: •--a ·~

l 0.2 < 0.

-0.2

-0.4 +-----i----+------1-------1-----+----+----+-----f

0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. Y-AS [mm]



Type meting RZZ Startpositie x = Omm Meetmiddel haaks blok van gran y = Omm Datum/Tijd 21-1-1991 15:35 Temperatuur = 20.00 oC


Z-AS HEEN TERUG GEMIDDELD BEGINWAARDE [mm] [arcsec] [arcsec] [arcsec] [arcsec]

0.4 0.0 -0.7 -0.3 -0.3 50.1 -0.7 -0.7 -0.7 -0.7

100.3 0.0 -0.7 -0.3 -0.3 150.6 -0.7 -0.7 -0.7 -0.7 200.8 -0.7 -0.7 -0.7 -0.7 250.0 -1.4 -1.4 -1.4 -1.4 300.8 -1.4 -2.2 -1.8 -1.8 350.7 -1.4 -1.4 -1.4 -1.4 400.3 -1.4 -1.4 -1.4 -1.4 450.4 -1.4 -1.4 -1.4 -1.4

ZEISS WMM UCN ALMELO 3. Type meting : RZZ Datum : 21-1-1991 Tijd : 15:35

2.

1. ,......,

~ ~ (). - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - .

~

.s c: -1. Q) bJ) .s ~ . .....,. ·- -2.

~ -3.

-4.

-5.+----r---;----+----r--~----~---+----~--,_ __ _, (). 5(). 1()(). 15(). 2()(). 25(). 3()(). 35(). 4()(). 45(). 5()().

Z-AS [mm]



Type meting RXZ Startpositie x = Omm Meetmiddel Elektronisch waterpas y = Omm Datum/Tijd 21-1-1991 15:03 Temperatuur = 20.00 oC



0.4 0.0 0.2 0.1 0.1 50.1 0.0 0.2 0.1 0.1

100.3 0.2 0.4 0.3 0.3 150.6 0.4 0.6 0.5 0.5 200.8 0.4 0.6 0.5 0.5 250.0 0.4 0.6 0.5 0.5 300.8 0.4 0.4 0.4 0.4 350.7 0.4 0.4 0.4 0.4 400.3 0.4 0.4 0.4 0.4 450.4 0.4 0.4 0.4 0.4

ZEISS WMM UCN ALMELO 1.4 Type meting: RXZ Datum: 21-1-1991 Tijd: 15:03

1.2

1.

0.8 ,......., <:) Q) en 0.6 ~ ~

"--'

.s 0.4 c: Q) OJ) 0.2 .s

..!lt:

f 0.

< -0.2

-0.4

-0.6

-0.8 0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500.

Z-AS [mm]


RXZ Autocollimator


Startpositie Type meting Meetmiddel Datum/Tijd 21-1-1991 15:18 Temperatuur

Positie Aflezing Aflezing machine meetmiddel meetmiddel

Z-AS HEEN TERUG [mm] [arcsec] [arcsec]

0.4 0.0 0.2 50.1 0.0 0.2

100.3 -0.2 0.0 150.6 -0.2 0.0 200.8 0.0 0.2 250.0 0.3 0.3 300.8 0.4 0.5 350.7 0.5 0.6 400.3 0.7 0.8 450.4 0.8 0.9

Afwijking Afwijking machine t.o.v.

GEMIDDELD BEGINWAARDE [arcsec] [arcsec]

0.1 0.1 0.1 0.1

-0.1 -0.1 -0.1 -0.1 0.1 0.1 0.3 0.3 0.5 0.5 0.6 0.6 0.8 0.8 0.9 0.9

x = 300 mm y = 300 mm

= 20.00 oC

ZEISS WMM UCN ALMELO 2. Type meting: RXZ Datum: 21-1-1991 Tijd: 15:18

1.5

,......, u (]) 00

8 1. ~

.s c: (]) bi) .s

..!:t: 0.5 ·~ ......

~

-0.5 -t-----+----+---t----t-----t---11----+-----+----+----l

0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. Z-AS [mm]

x=HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD


Type meting RYZ Startpositie x = Omm Meetmiddel Autocollimator y = Omm Datum/Tijd 21-1-1991 15:14 Temperatuur = 20.00 oC



0.4 0.0 0.2 0.1 0.1 50.1 0.5 0.7 0.6 0.6

100.3 1.1 1.3 1.2 1.2 150.6 1.6 1.8 1.7 1.7 200.8 2.2 2.3 2.3 2.3 250.0 3.0 3.0 3.0 3.0 300.8 3.5 3.7 3.6 3.6 350.7 4.0 4.1 4.1 4.1 400.3 4.2 4.3 4.3 4.3 450.4 4.2 4.2 4.2 4.2

ZEISS WMM UCN ALMELO 10. Type meting: RYZ Datum: 21-1-1991 Tijd: 15:14

8.

6. ~

u Q) (/)

8 4. cd ......... . s

2.

0. - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - .

-2.

-4.

-6.~--~--~----+---~--~~--~---+----r---,_--~

0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. Z-AS [mm]


BULAGE2

Resultaten van de tastennetingen.

lD-controle van het tastersysteem d.m.v. eindmaatmetingen in de drie as richtingen.

In onderstaande tabellen geeft de eerste kolom de door de machine gemeten waarde weer en de tweede kolom het verschil met de nominale eindmaatlengte van 30,0000 mm.

* x-as: a ~a

29.9996 0.0004 29.9996 0.0004 29.9996 0.0004 29.9996 0.0004 29.9996 0.0004

range : R = ~a - ~a . = 0.0000 mm max mtn

* y-as: a ~a

29.9992 0.0008 29.9992 0.0008 30.0002 -0.0002 29.9992 0.0008 29.9992 0.0008

range : R = ~a - ~ . = 0.001 mm max mtn

* z-as: a Aa

29.9991 0.0009 29.9991 0.0009 29.9991 0.0009 29.9991 0.0009 29.9991 0.0009

range : R = Aamax- Aamin = 0.0000 mm

2D-controle van het tastersysteem d.m.v. meting ijkring.

Hierbij is gebruik gemaakt van een ring die in 50 punten aangetast is. In onderstaande tabellen geeft de eerste kolom de door de machine gemeten diameter van de ring weer en de tweede kolom de range (4S) voor de meetpunten.

d 4S

17.4998 0.0010 17.4997 0.0010 17.4998 0.0010 17.4997 0.0010 17.4999 0.0010

Periodieke controle van een Zeiss WMM 850 3D ...numerieke en grafische presentatie. Hieronder wordt...

Documents

Transcript of Periodieke controle van een Zeiss WMM 850 3D ...numerieke en grafische presentatie. Hieronder wordt...