真空システム用関連機器 - SMC...

真空レギュレータ：lRV10・20 P.1402

P.1403

P.1412

P.1404P.1406P.1407P.1408

P.1415P.1419

P.1409P.1410P.1411

P.1414P.1414P.1414P.1414

真空レギュレータ

電子式真空レギュレータ：lTV209□

電子式真空レギュレータ

方向制御機器選定ガイド（エジェクタシステム／真空ポンプシステム）V100・SYJ／VQZ／VK・VKF／VX2／VX3VT・VP／VG／VNB／VEX3VQD／VQD1000-V／SJ3A6

方向制御機器

ZSE30A,ZSE40A,ZSE80,ZSE3ZSE1,ZSE2,PS1100／1200,ZSP1,PSE200PSE300,530,540,PFM,PFMV

真空用圧力スイッチ

真空用圧力計：GZ46・GZ46E

真空用圧力計

絞り弁：ASチェックバルブ：AKワンタッチ管継手付チェックバルブ：AKHチェックバルブブッシュタイプ：AKB

流量制御機器

絞り弁付真空破壊弁：SY5A2R絞り弁付真空破壊弁：SV1A4R-X8

オーダーメイド仕様

真空システム用関連機器

1401

SP

ZCUK

AMJ

AMVZH-X185関連機器関連機器

詳細は、Best Pneumatics No.tをご参照ください。

標準仕様

型式使用流体設定圧力範囲注1）

耐圧力注2）

大気吸込消費量注3）

ハンドル分解能周囲温度および使用流体温度VAC.側チューブ外径SET.側チューブ外径

質量（付属品なし）

空気－100～－1.3kPa

100kPa（圧力計付を除く）0.6L/min（ANR）以下0.13kPa以下5～60℃

135g（IRV10-C08）125g（IRV10A-C08）

250g（IRV20-C10）250g（IRV20A-C10）

型式表示方法

IRV20IRV10

真空ラインの圧力調整が可能。

RoHS

ø6, ø8ø1/4", ø5/16"

ø6, ø8, ø10ø1/4", ø5/16", ø3/8"

標準配管仕様一面配管仕様

IRV 20 C08

接続チューブ外径

付属品q［同梱］

管継手ボディサイズ

1020

最大流量140L/min（ANR）最大流量240L/min（ANR）

標準配管仕様

無記号L

ストレートエルボ

無記号BL

なしブラケット付底面ブラケット付

C06C08C10N07N09N11

ミリ

インチ

ø6ø8

ø10ø1/4"

ø5/16"ø3/8"

記号チューブ外径 IRV10●●―●●―

IRV20●●●●●●

IRV 20 A C08

接続チューブ外径

付属品q［同梱］

管継手

ボディサイズ

一面配管仕様

無記号L

ストレートエルボ

無記号BL

なしブラケット付底面ブラケット付

C06C08C10N07N09N11

ミリ

インチ

ø6ø8

ø10ø1/4"

ø5/16"ø3/8"

記号チューブ外径 IRV10A●●―●●―

IRV20A●●●●●●

A 一面配管仕様

一面配管仕様

オーダーメイド仕様詳細は、Best Pneumatics No.tをご参照ください。記号X1

仕様／内容パネルマウント用デジタル圧力スイッチ一体型

1020

最大流量140L/min（ANR）最大流量240L/min（ANR）

付属品w［同梱］

付属品w［同梱］

注1）真空ポンプの圧力により変化しますのでご注意ください。注2）圧力計付の場合、正圧を入力しますと圧力計が破損します。また、正圧が加わった場合、本真空レギュレータは破損す

ることはありませんが、主弁部が"開"の状態になり、真空ポンプまで正圧が導入されることとなりますので、真空ポンプが故障する恐れがあります。吸着搬送システムなどで、本真空レギュレータをご使用の際は下記配管例を参考にして真空ポンプまで正圧が導入されないようご注意ください。なお、本真空レギュレータでは正圧の調圧はできません。

エルボストレート

エルボストレート

標準配管仕様

一面配管仕様

ブラケット

底面ブラケット

ブラケット

底面ブラケット

注1）ゲージポートにはプラグナット2ヶ取付済です。Rc1/8ポートが必要な場合、オプションのゲージナットAss'y P601010-18を別途手配してください。（Best Pneumatics No.tをご参照ください）

注2）プラグナット1ヶ、ゲージナット（Rc1/8）1ヶ、クリップ2ヶが同梱となります。圧力計、デジタル圧力スイッチは付属しません。

注3）圧力計の精度±3％フルスパン注4）プラグナット、ゲージナットが付属します。（詳細

はBest Pneumatics No.tをご参照ください）

注1）ゲージポートにはプラグナット取付済です。Rc1/8ポートが必要な場合、オプションのゲージナットAss'y P601010-18を別途手配してください。（Best Pneumatics No.tをご参照ください）

注2）ゲージナット（Rc1/8）1ヶ、クリップ1ヶが同梱となります。圧力計、デジタル圧力スイッチは付属しません。

注3）圧力計の精度±3％フルスパン注4）ゲージナットが付属します。

（詳細はBest Pneumatics No.tをご参照ください）

真空ユニットZBシリーズ真空レギュレータ

IRVシリーズ真空パッドZPシリーズ

コンプレッサ冷凍式エアドライヤ

IDFシリーズエアフィルタAFシリーズ

ミストセパレータAMシリーズ

レギュレータARシリーズ

真空ポンプ

注3）常時大気から空気を取込んでいます。

真空システム用関連機器真空レギュレータ：lRV10・20

無記号GNGZNZPZAZB

NPNオープンコレクタ1出力PNPオープンコレクタ1出力NPNオープンコレクタ2出力PNPオープンコレクタ2出力

なし注1）

ゲージナットAss'y注2）

圧力計（IRV10：GZ33-K-01、IRV20：GZ43-K-01）注3）注4）

ZSE30A-01-N-ML付ZSE30A-01-P-ML付ZSE30A-01-A-ML付ZSE30A-01-B-ML付

デジタル圧力

スイッチ

注4）

無記号GNGZNZPZAZB

NPNオープンコレクタ1出力PNPオープンコレクタ1出力NPNオープンコレクタ2出力PNPオープンコレクタ2出力

なし注1）

ゲージナットAss'y注2）

圧力計（IRV10：GZ33-K-01、IRV20：GZ43-K-01）注3）注4）

ZSE30A-01-N-ML付ZSE30A-01-P-ML付ZSE30A-01-A-ML付ZSE30A-01-B-ML付

デジタル圧力スイッチ

注4）

1402

型式表示方法［オプション］

ITV 209 0 0 1 2 5SCEマーキング対応無記号

Q非対応対応

圧力レンジ9 －1.3～－80kPa

01

DC24VDC12～15V

電源電圧

接続ねじ種類無記号

NTF

RcNPTNPTFG

付属品（ブラケット）無記号

BC

ブラケットなしフラットブラケットL形ブラケット

ケーブルコネクタの種類SLN

ストレート型3mライトアングル型3mケーブルコネクタなし

注）通信用ケーブル（RS-232C以外）は別途手配してください。下記ご参照ください。

5 kPa

圧力表示の単位

注）通信仕様(CC, DN, PR, RC)の場合は圧力表示がないため、無記号のみの選択となります。

2 1/4

接続口径

RoHS

入力信号／通信信号

0

1

23

電圧形DC0～5V電圧形DC0～10V

電流形DC4～20mA（シンクタイプ）電流形DC0～20mA（シンクタイプ）

40

52

53

CCDNPRRC

プリセット入力

CC-LinkDeviceNet™PROFIBUS DPRS-232C通信

モニタ出力

1

2

3

4

アナログ出力DC1～5V

スイッチ出力・NPN出力

スイッチ出力・PNP出力アナログ出力DC4～20mA（シンクタイプ）

無記号なし16点プリセット入力（スイッチ出力・PNP出力）

16点プリセット入力（スイッチ出力・NPN出力）

注）通信仕様（16点プリセット入力, CC-Link, Dev i ceNe t™ , PROF IBUS DP, RC-232C）の場合はDC24Vのみ。

詳細は、Best Pneumatics No.tをご参照ください。

出力圧力 kPa

0

－20

－40

－60

－80

1

0.5

0

－0.5

－1

リニアリティ

ヒステリシス

0　 25 50 75 100

0　 25 50 75 100

入力信号　％F.S.

入力信号　％F.S.

出力偏差率　％F.S.

復路

往路

流量特性

50 100 150流量　L/min（ANR）

設定圧力　kPa

0

－10

－20

－30

－40

－50

－60

－70

－80

－90

供給真空圧力：－100kPa

ストレート型ケーブルコネクタ

ライトアングル型ケーブルコネクタ

電気信号に比例して真空圧力を無段階に制御します

標準仕様

電源

最低供給真空圧力注1）最高供給真空圧力設定圧力範囲

入力信号

リニアリティヒステリシス繰返し性感度温度特性

出力圧力表示

周囲温度および使用流体温度保護構造質量注7）

入力インピーダンス

出力信号注4）（モニタ出力）

電圧消費電流

電流形注2）電圧形プリセット入力電流形電圧形プリセット入力

アナログ出力

スイッチ出力

精度単位

DC1～5V（出力インピーダンス：約1kΩ）DC4～20mA（シンクタイプ）（負荷インピーダンス：250Ω以下）

出力精度±6％以内（F.S.）

電源電圧DC24Vタイプ：0.12A以下注6）　電源電圧DC12～15Vタイプ：0.18A以下設定圧力－13.3kPa

－101kPa－1.3～－80kPa

DC4～20mA, DC0～20mA（シンクタイプ）DC0～5V, DC0～10V

4点（ネガティブコモン）、16点（コモン極性なし）250Ω以下注3）約6.5kΩ

電源電圧DC24Vタイプ：約4.7kΩ　電源電圧DC12Vタイプ：約2.0kΩ

NPNオープンコレクタ出力：最大30V, 80mA　PNPオープンコレクタ出力：最大80mA±1％以下（F.S.）0.5％以下（F.S.）±0.5％以下（F.S.）0.2％以下（F.S.）

±0.12％以下（F.S.）／℃±2％F.S.±1digitkPa注5）最小表示：1

0～50℃（ただし、結露なきこと）IP65350g

ITV2090 ITV2091DC24V±10％ DC12～15V

型式

注1）最低供給真空圧力は、設定する真空度の最大値より13.3kPa低い真空圧力を供給してください。注2）2線式DC4～20mAは、不可です。電源電圧（DC24VまたはDC12～15V）が必要となります。注3）過電流回路を含めない状態の値です。過電流回路を考慮すると入力電源によって入力インピーダンスが

変わります。入力電流DC20mAの場合は350Ω以下です。負荷インピーダンス100kΩ未満でITVのDC1～5Vアナログ出力を計測する場合、アナログモニタ出力は出力精度±6％以内（フルスパン）を得られない可能性があります。±6％以内が必要な場合、別途対応しますのでお問合せしてください。なお、出力圧力に影響はありません。

注4）アナログ出力またはスイッチ出力のいずれか一方の選択となります。また、スイッチ出力の選択においても、NPN出力またはPNP出力のいずれか一方の選択となります。プリセット入力タイプには出力信号の機能はついておりませんのでご注意ください。

注5）その他の圧力単位表示については別途お問合せください。注6）通信仕様の場合、最大消費電流は0.16A以下です。注7）通信仕様の場合、質量は約80g（PROFIBUS DPの場合100g）増加します。注8）上記特性は静的な状態に限られ、出力側ではエアを消費する場合には圧力が変動する場合があります。

真空システム用関連機器電子式真空レギュレータ：lTV209□

1403

SP

ZCUK

AMJ


システム対応別ソレノイドバルブの機種選定ガイドエジェクタ/真空ポンプシステムの制御を行うためのソレノイドバルブ（2・3ポート弁）のラインアップ

システム対応

回路構成

標準品外部

パイロット仕様（R）

真空仕様（V）

標準品外部


真空仕様（V）

真空破壊弁供給弁

エジェクタシステム

弁構造

V100

VQZ100・200・300

SYJ300・500・700

ソレノイドバルブ

小型3ポートソレノイドバルブV100, SYJコンパクトサイズ：10mm幅（V100, SYJ300）　　　　　　　　 15mm幅（SYJ500）　　　　　　　　 18mm幅（SYJ700）低消費電力：0.1W

3ポートソレノイドバルブVQZ10mm幅：VQZ10015mm幅：VQZ20018mm幅：VQZ300

3ポートソレノイドバルブVKVKF小型2ポートソレノイドバルブVX2

3ポートソレノイドバルブVTVT307・317・325

3ポートソレノイドバルブVPVP300/500/700

3ポートソレノイドバルブVG342

－－－

－－－

－

－

VQD1000

VQD100

3・4ポートソレノイドバルブVQDVQD1000/VQD100

－－－

－－

－－

－

－－－

－－－

－－－

－－－－

－－－－

－－－－

真空・破壊ユニットVQD1000-V －－－－－－

図の見方弁構造は標準品（一般用）、外部パイロット仕様、真空仕様があり、回路構成および有効断面積に合わせて最適機種をご選定ください。各機器の詳細仕様については別途力夕ログをご参照ください。

小型3ポートソレノイドバルブVX31・32・33 －－－

真空パイロット形2ポートバルブVNB□□□□V

3ポジションバルブVEX3

絞り弁付真空破壊弁SJ3A6 　　

　　　　

　　　

－

－

－

－－

－

－

－

－

－

－－

－

真空システム用関連機器方向制御機器

2（A）x（ブランキング）

3（R）

1（P）2（A）3（R）

1（P）

1404

真空切換弁真空加圧エアのデバイダ弁

真空ポンプシステム機種選定上のご注意

注意●真空破壊弁、真空切換弁は2ポート弁または、3ポート弁のRポートにプラグ栓をご使用ください。（VEX3は除く）1）真空保持用電磁弁とは、用途が異なりますのでご注意ください。2）流量特性につきましては、Best Pneumatics No.qをご参照ください。

標準品外部


真空仕様（V）

標準品外部


真空仕様（V）

管接続口径

M3×0.5M5×0.8　・　

Best Pneumatics

No.q－－－－

－－－－

－－－－

－－－－

－－－－

－－－－

－－－－

1 8 1 4

M5×0.8 No.q－－－－

－－－－

M5×0.8　・　 1 8 1 4

No.q

M5×0.8 No.q1 8

　～　 1 8 3 8

　～　 No.q

No.q

1 8 3 8

　～　 1 8 1 2

No.u

－－－－3 4　～　 1 2

No.q　1 　

－－－－－ No.qM5×0.8

－－ No.u　～　 1 8 3 8

－　　　－　 No.u

－　　　－　 No.q

－　　－－－ No.qM5×0.8

　～23 8

　～　 1 8 1 2

方向制御機器／真空システム用関連機器

2（A）

3（R）

1（P）2（A）

x（ブランキング）

3（R）

1（P）

1405

SP

ZCUK

AMJ


小型3ポートソレノイドバルブ V100, SYJ真空に使用可能－100kPaまでコンパクトサイズ：10mm幅（V100, SYJ300）

15mm幅（SYJ500）18mm幅（SYJ700）

低消費電力0.1W (節電回路付）

直接配管形ベース配管形

電磁弁型式管接続口径SYJ312・322SYJ512・522SYJ712・722V114・124（A）SYJ314・324SYJ514・524SYJ714・724

M3×0.5M5×0.8

M5×0.8M5×0.8

・

直接配管形

ベース配管形(サブプレート付)

1 8

1 81 8 1 4

配管仕様型式

・1 8

1 8

1 4

・1 4 3 8

M5×0.8M5×0.8

※ 真空仕様:使用圧力範囲－101.2kPa～0.1MPa※ 低ワット(DC2W)、長期通電用も別途あります。

詳細は、Best Pneumatics No.qをご参照ください。

3ポートソレノイドバルブ VKコンパクトサイズ：18mm幅真空使用可能


電磁弁型式管接続口径

直接配管形


1 81 8

配管仕様型式

3ポートソレノイドバルブ VQZ100・200・300

ベース配管形



配管仕様型式／メタルシール・弾性体シール形

VQZ115VQZ215VQZ235VQZ225VQZ245VQZ315VQZ335VQZ325VQZ345

VQZ200

VQZ100

VQZ300



VK332※真空用／ VK332V

VK334※真空用／ VK334V

M5×0.8M5×0.8

※ 真空仕様:使用圧力範囲－101.2kPa～0.1MPa※ 低ワット（DC2W）、長期通電用も別途あります。

3ポートソレノイドバルブ VKFコンパクトサイズ：18mm幅真空使用可能



直接配管形


1 81 8

配管仕様型式


VKF332※真空用／ VKF332V

VKF334※真空用／ VKF334V

小型2ポートソレノイドバルブ VX2 中真空

型式詳細は、Best Pneumatics No.uをご参照ください。

型式

詳細は、Best Pneumatics No.uをご参照ください。

バキュームパット用型式

管接続口径Rc

VXV313　

オリフィス径ø加圧側真空側1.5 32.2 42.2 4

・1 8 1 4

・1 4 3 8VXV324　VXV334　

型式

VX214

VX224

VX234

サイズ

1

2

3

管接続口径オリフィス径mmø23547581010

1/8, 1/4

1/4, 3/8

1/4, 3/8

1/2

型式

VX31□□

VX32□□

VX33□□

サイズ

1

2

3

管接続口径オリフィス径mmø1.52.232.2342.234

1/8, 1/4

1/4, 3/8

1/4, 3/8

小型3ポートソレノイドバルブVX3オプションV, M 中真空・ノンリーク用

MV

MV

MV

真空システム用関連機器方向制御機器／ソレノイドバルブ

1406

P1

3（R）

1（P）

2（A）

サクションフィルタ

3（R）

1（P）

2（A）

バキュームパッド真空ポンプ

加圧エア

型式／弾性体シール形

3ポート電磁弁 VG3423ポート電磁弁 VT・VP

型式／弾性体シール形

詳細は、Best Pneumatics No.uをご参照ください。

真空パイロット形2ポートバルブ VNB□□□□V

仕様（真空パイロット形）

配管仕様管接続口径

※　：低ワット（DC2W）長期通電用も別途あります。※※：長期通電用も別途あります。V　：真空仕様：使用圧力範囲－101.2kPa～0.1MPa

※※

※

電磁弁型式VT325（V）

直接配管形

直接配管形

ベース配管形

直接配管形

VT307（V）VT317（V）

・VP342 1 8 1 4

・VP542 1 4 3 8

・VP742 3 8 1 2

・VP344 1 8 1 4

・VP544 1 4 3 8

・VP744 3 8 1 2

・　・VP3145 3 8 3 41 2

・1・1VP3165 3 4 1 4

1　・1　・2VP3185 1 4 1 2

・1 4 3 8・1 8 1 41 4

配管仕様管接続口径

※使用圧力範囲：－101.2kPa～0.9MPa

電磁弁型式

VG342直接配管形

※真空用／ VG342R

VT325VP542

VT317

VG342

～　 1

3 41 2

～　 1

3 41 2

真空

－101～－47.9kPa

使用流体－101kPa～大気圧

パイロット圧力範囲使用圧力範囲

加圧エアが得られず、メインの真空で弁を作動させたい場合に使用します。

管接続口径ねじ込み

オリフィス径ø［mm］

型式

3 8

1 2

3 4

VNB2□4□-10AVNB2□□□-10AVNB2□4□-15AVNB2□□□-15AVNB3□4□-20AVNB3□□□-20A

111511151420

型式管接続口径オリフィス径

ø［mm］型式

VNB4□4□-25AVNB4□□□-25AVNB5□4□-32AVNB5□□□-32AVNB5□4□-32FVNB5□□□-32FVNB6□4□-40AVNB6□□□-40AVNB6□4□-40FVNB6□□□-40FVNB7□4□-50AVNB7□□□-50AVNB7□4□-50FVNB7□□□-50F

ねじ込みフランジ

50

－

40

－

32

－

－1625223222322840284033503350

1 4

1 2

1

1

－

2

－

－

1


3ポジションバルブ VEX3 型式



真空吸着と真空破壊に真空吸着と真空破壊の他に休止（クローズド）がとれる3ポート3ポジションのダブルソレノイドにより、同一の回路に多数のバルブを使用するシステム構成に最適

¡順次切換動作が、真空ポンプ系への加圧エアの流入を防ぎます。

¡クローズドセンタによりAポートの真空を保持する場合、真空パッドおよび配管などからの漏れにより、真空度の低下がありますのでご注意ください。なお緊急遮断弁には使用できません。

注意

エアオペレート形

内部パイロット電磁形／外部パイロット電磁形　

管接続口径1/81/41/43/81/21/21/81/41/43/81/2

型式管接続口径

型式

VEX312□-01VEX312□-02VEX332□-02VEX332□-03VEX332□-04VEX350□-04VEX322□-01VEX322□-02VEX342□-02VEX342□-03VEX342□-04

VEX350□-06VEX350□-10VEX370□-10VEX370□-12VEX390□-14VEX390□-20

3/411

1 1/41 1/22

直接配管形直接配管形

ベース配管形（サブプレート付）

方向制御機器／電磁弁／真空システム用関連機器

1407

SP

ZCUK

AMJ


真空・破壊ユニット VQD1000-V

仕様

絞り弁付真空破壊弁 SJ3A6

弁構造使用流体

吸着（OFF）破壊（ON）吸着（ON）破壊（OFF）

吸着（負圧）破壊（正圧）使用圧力範囲

応答時間注）

直動ポペット形空気、不活性ガス／低オゾン対策品

0～－100kPa0～0.7MPa2±1msec4±1msec4±1msec2±1msec

注）JIS B8375-1981による。（クリーンエアのこと）

¡応答速度　13msec（500mm時※）/　18.5msec（1000mm時※）　※ユニットからワークまでの距離（配管内径ø2.5）

¡オーバーシュートのない　滑らかなワークの離脱　破壊エアによるワークの吹き飛ばしなし。

¡真空・正圧の切換タイミングの調整不要　（シングル信号制御）

¡破壊エアの絞り回路不要

接続ポートワーク：A（パッドまたはノズル）

VQD1151W（切換用）

10-VQ110（破壊エア充填用）

〈N.O.仕様〉

真空圧（吸着エア）：V

正圧（破壊エア）：P


N.O.仕様

N.C.仕様

マニホールドバルブ仕様

内蔵タンク

弁構造使用流体

使用圧力範囲　MPa

絞り弁付3位置3ポート弁空気

0.25～0.7－100kPa～0.7注1）

0.25～0.7注2）

破壊圧力ポート1（P）真空圧ポート3/5（E）パイロットXポート

吸着搬送システム回路例

スプール弁を2本内蔵。バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。

3・4ポートソレノイドバルブ VQD抜群の高速で安定した応答性（ON:4ms、OFF:2ms、バラツキ精度±1ms）真空に使用可能(－101.2kPaまで)

¡消費電力0.15W（節電回路付）

¡幅10mm　（SJ3000シリーズと同等サイズ）。

¡破壊エアーの流量調整ができる絞り弁付。

¡真空側、破壊側それぞれに交換可能な　フィルタを内蔵。

¡圧力スイッチなどを接続できる　圧力検出ポート付。

¡4ポートソレノイドバルブSJ2000/　3000との混載可能（オーダーメイド）。　（詳しくは当社にご確認ください。）

¡1（P）ポートと3/5（E）を異なる正圧に　して2系統の圧力切換が可能。　（この場合、Pポート側のみ流量調整が可能。）

注1）用途に応じて正圧での使用可能。注2）パイロットXポートの圧力は破壊ポート1（P）の圧力と同圧以上でご使用ください。


2（B）真空パットポート

X1（P）破壊圧ポート

SOL.aSOL.b

圧力スイッチなど

真空圧切換弁

フィルタ真空側

フィルタ破壊側

SJ3A6

破壊圧切換弁（絞り弁内蔵）

3/5（E）真空圧ポート

方向制御機器／電磁弁／真空システム用関連機器

ベース配管形直接配管形

型式配管仕様管接続口径

※標準品は使用圧力範囲:0～0.7MPa、真空仕様は－101.2kPa～0.7MPa

電磁弁型式

VQD1000ベース配管形

（サブプレート付）VQD100

直接配管形 VQD1121VQD1151VQD1251VQD115

M5×0.8


1408

型式定格圧力範囲表示／設定圧力範囲耐圧力設定・表示分解能使用流体電源電圧消費電流スイッチ出力

最大負荷電流最大印加電圧残留電圧応答時間短絡保護

空気・非腐食性・不燃性ガスDC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）

40mA以下

80mA28V（NPN出力時）

1V以下（負荷電流80mA時）2.5ms以下（チャタリング防止機能時：20、100、500、1000、2000ms選択）

装備

NPNまたはPNPオープンコレクタ出力 1出力、NPNまたはPNPオープンコレクタ出力 2出力（選択）

－100.0～100.0kPa－105.0～105.0kPa

0.0～－101.0kPa10.0～－105.0kPa

ZSE30A（真空圧） ZSE30AF（連成圧）

500kPa0.1kPa


型式定格圧力範囲表示／設定圧力範囲耐圧力設定圧力分解能適用流体電源電圧消費電流スイッチ出力

500kPa0.1kPa

空気・非腐食性・不燃性ガスDC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）

45mA以下NPNまたはPNPオープンコレクタ出力 2出力（選択）

80mA28V（NPN出力時）

1V以下（負荷電流80mA時）2.5ms（チャタリング防止機能時：20、100、500、1000、2000ms選択）

装備

ZSE40A（真空圧） ZSE40AF（連成圧）

型式定格圧力範囲表示／設定圧力範囲耐圧力適用流体電源電圧消費電流スイッチ出力


500kPaSUS630、SUS304を腐食させない流体

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接保護付）45mA以下

NPN1出力　NPN2出力　PNP1出力　PNP2出力80mA

28V（NPN出力時）1V以下（負荷電流80mA時）

2.5ms（チャタリング防止機能時：20、100、500、1000、2000ms選択）装備

ZSE80（真空圧）

詳細は、Best Pneumatics No.yをご参照ください。

0.0～－101.3kPa10.0～－105.0kPa

－100.0～100.0kPa－105.0～105.0kPa

0.0～－101.0kPa10.0～－111.1kPa

ZSE80F（連成圧）－100.0～100.0kPa－110.0～110.0kPa

2色表示式高精度デジタル圧力スイッチ ZSE30A（F）

2色表示式高精度デジタル圧力スイッチ ZSE40A（F）

汎用流体用2色表示式デジタル圧力スイッチ ZSE80

LCD表示形デジタル圧力スイッチ ZSE3型式圧力設定範囲最高使用圧力設定圧力分解能適用流体電源電圧消費電流

ZSE3

0～－101kPa200kPa1kPa

空気・非腐食性ガス・不燃性ガスDC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）

25mA以下

真空システム用関連機器真空用圧力スイッチ

1409

SP

ZCUK

AMJ



0～－101kPa500kPa

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）ON時点灯（赤）

17mA以下（DC24V ON時）0～60

。C（結露および凍結しないこと）

01：R／、M5×0.8、T1：NPTF ／、M5×0.80X：サクションフィルタ付（ZMエジェクタ取付形）、0R：ベースマウント形（ZRエジェクタ取付形）

型式圧力設定範囲耐圧力温度特性電源電圧消費電流管接続口径使用温度範囲

ZSE10～－101kPa500kPa±3％F.S.

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）17mA以下（DC24V ON時）、2出力仕様は25mA以下（DC24V ON時）01：R／、M5×0.8、T1：NPTF ／、M5×0.8、00：ZMエジェクタ取付

0～60。C（結露および凍結しないこと）

81

81

型式圧力設定範囲耐圧力電源電圧動作表示灯消費電流使用温度範囲

管接続口径

ZSE2

81

81

小型圧力スイッチ ZSE1

小型圧力スイッチ ZSE2

エアチェッカ電子式圧力確認スイッチ PS1100/1200

吸着確認スイッチ ZSP1

多チャンネルコントローラ PSE200

型式スイッチ出力最高使用圧力設定圧力範囲適用流体動作表示灯温度特性繰返し精度応差負荷電圧負荷電流漏れ電流内部降下電圧使用温度範囲

現在圧力≦設定圧力：ON

空気、非腐食性ガス、不燃性ガスON時：赤LED点灯±3％F.S.±1％F.S.

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接保護付）5～40mA1mA以下5V以下

0～60℃（結露しないこと）

200kPa－100～0kPa

10％F.S.以下

1MPa－0.1～0.4MPa

4％F.S.以下

PS1100 PS1200

型式適用流体定格圧力範囲適用吸着ノズル径応差内部オリフィス径電源電圧スイッチ出力

空気－20～－101kPa

0.5kPa

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）NPNオープンコレクタ30V 80mA以下

ZSP1-S

ø0.3～ø0.7

ø0.5

ZSP1-B

ø0.5～ø1.2

ø0.8

型式スイッチ出力電源電圧消費電流センサ供給電源電圧センサ供給電源電流

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）55mA以下（ただし、センサ部消費電流を除く）

［電源電圧］－1.5V最大40mA（ただし、センサ4入力時の総電源電流は最大100mA）

PSE200

NPNオープンコレクタPSE201

PNPオープンコレクタ

真空用圧力スイッチ／真空システム用関連機器

1410

型式

表示／設定圧力（差圧）範囲

圧力レンジ設定注１）

定格圧力（差圧）範囲

電源電圧消費電流

－101～101kPa

連成圧用真空圧用低圧用正圧用微差圧用

10～－101kPa

－10～100kPa

－0.1～1MPa

－50～500kPa

－0.2～2kPa

－100～100kPa

0～－101kPa

0～100kPa

0～1MPa

0～500kPa

0～2kPa

PSE30□

型式定格圧力範囲耐圧力適用流体電源電圧消費電流出力仕様

0～－101kPa500kPa

空気・非腐食性ガス・不燃性ガスDC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）

15mA以下アナログ出力（1～5V 出力インピーダンス：約1kΩ）

PSE531-M5

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）50mA以下（ただし、センサ部消費電流を除く）


圧力センサコントローラ PSE300

プレッシャセンサ PSE530

小形空気圧用圧力センサ PSE540

2色表示式デジタルフロースイッチ PFM

フローセンサ PFMV

型式定格圧力範囲耐圧力適用流体電源電圧消費電流出力仕様

500kPa空気・非腐食性ガス・不燃性ガス

DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接続保護付）15mA以下

アナログ出力（1～5V 出力インピーダンス：約1kΩ）

0～－101kPa －100～100kPaPSE541 PSE543

　　型式

適用流体

定格流量範囲（流量レンジ）

0.2～10L/min0.2～5L/min

0.5～25L/min0.5～12.5L/min

1～50L/min1～25L/min

2～100L/min2～50L/min

PFM725

PFM525

PFM3□□

PFM750

PFM550

PFM711

PFM511

PFM710

PFM510

乾燥空気、N2、ArCO2

一体型分離型センサ部分離型モニタ部

乾燥空気、N2、Ar、CO2（空気の品質等級はJIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2、ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2）

シリーズ

PFMV

特長

0～0.50～10～3

－0.5～0.5－1～1－3～3

設定流量範囲（L/min）

¡微小ワークの吸着確認。¡繰返し精度±2%F.S.以下。¡応答速度5ms以下、耐圧500kPa¡ノングリース、RoHS対応。¡電圧モニタ　一つで全レンジ対応。

真空用圧力スイッチ／真空システム用関連機器

1411

SP

ZCUK

AMJ


GZ46GZ46-K2K

示度精度使用流体接続ねじ注1）

注2）

注4）

形状背面ねじタイプ

空気±3％

ステンレス鋼（黒色メラミン塗装）

黄銅

型式 GZ46E

接流体部脱脂洗浄

GZ46

―

ポリカーボネート（ハードコート処理）品番:G46-00-00-2

ポリカーボネート品番:G46-00-00-3

黄銅（無電解ニッケルめっき）注3)黄銅

部品洗浄ケース（表面処理）透明カバー（表面処理）

株（表面処理）ブルドン管

品番:1305104-1AC品番:1305104-3AC1

材質

アタッチメントカバーリングアセンブリ

R R （オプション：M＝M5×ねじ付）1 41 8

標準仕様

型式（常備品）

注1）最大表示圧力以上に圧力を加えないでください。作動不良の原因となります。

注1）最大表示圧力以上に圧力をかけないでください。作動不良の原因となります。

型式表示単位kPakPakPakPakPa

R ・

接続ねじ備　考

GZ46-K-01～02GZ46-K-01～02-C、C1GZ46-K-01～02MGZ46E-K-01～02MGZ46-K2K-01～02

－100～0－100～0－100～0－100～0－100～200

注1）圧力レンジkPa

1 8 1 4

R ・1 8 1 4

R ・1 8 1 41 8 1 4

―カバーリングアセンブリ付

―――

R ・ M5（めねじ）1 8 1 4R ・ M5（めねじ）

型式（オーダーメイド品）下表以外の品番は納期がかかることがありますので予め御確認ください。型式表示単位

kPa ―R ・

接続ねじ備　考

GZ46-K1K-01～02 －100～100

注1）圧力レンジkPa

1 8 1 4

注1）圧力計を取付けする際は、締付け過ぎないように注意ください。破損の原因となります。シール剤はシールテープを使用ください。推奨締付トルク＝R ：7～9N・m、R ：12～14N・mとしてください。

注2）他の流体を使用する場合は、腐食の問題がありますので別途相談ください。注3）圧力計内部の可動部分(ギヤー等)は黄銅製です。注4）X3（接流体部）SUS仕様はありません。

18 14

選定

注意

注意

q本体に直接衝撃や振動がかからないようにしてください。

w圧力の脈動および高頻度作動での使用の場合は当社にご連絡ください。

取付け

q運搬および取付時、落下等による衝撃は加えないようにしてください。

示度精度不良の原因となります。

w取付姿勢は圧力計目盛の零点を下向きにし地面に対して垂直にしてください。

e取付場所は温度および湿度の高い場所には使用しないでください。

作動不良の原因となります。

r圧力計をねじ込む際は、必ず四角二面取り部にスパナをかけてねじ込んでください。

他の部分をもってねじ込むとエア漏れおよび破損の原因となります。

真空システム用関連機器真空用圧力計：GZ46・GZ46E RoHS

1412

外形寸法図

型式表示方法

46ew t y

＋

記号

無記号K

正圧側圧力単位

GZ46―

GZ46E禁油・外部銅系不可

仕様

●●

●●●w

●q内容

―kPa

＋

無記号

C

C1

アタッチメント注2）

● ●

● ●

● ●

●y

＋

無記号注1）M

オプション●●

●●●t ―

M5（めねじ）付

＋

＋

0102

接続ねじ●●

●●●r R1/8

R1/4

無記号12

表示圧力範囲●●●

●●●

●e－100～0kPa－100～100kPa－100～200kPa

カバーリングなし透明カバー突出なし（透明カバー取外不可）透明カバー突出あり（透明カバー取外可能）

注1）M5（めねじ）付は、チューブ配管の際に継手を取付けて使用してください。注2）カバーリングアセンブリ付の場合、配管するためにオプション：Mの選択を推奨します。

GZq

K 01r真空圧力計

負圧側圧力単位（kPa）

カバーリングアセンブリ付の場合（パネルマウント用）

パネルカット寸法板厚Max.3.5

GZ46-□□-01～02（M）GZ46E-□□-01～02（M）

GZ46-□□-01～02（M）-CGZ46E-□□-01～02（M）-C

GZ46-□□-01～02（M）-C1GZ46E-□□-01～02（M）-C1

型式GZ46-□□-01（M）GZ46-□□-02（M）GZ46E-□□-01（M）GZ46E-□□-02（M）

A41.545.540.544.5

B25.525.524.524.5

□C12141214

DR1/8R1/4R1/8R1/4

型式GZ46-□□-01（M）-CGZ46-□□-02（M）-CGZ46E-□□-01（M）-CGZ46E-□□-02（M）-C

A41.545.541.545.5

DR1/8R1/4R1/8R1/4

型式GZ46-□□-01（M）-C1GZ46-□□-02（M）-C1GZ46E-□□-01（M）-C1GZ46E-□□-02（M）-C1

A41.545.540.544.5

DR1/8R1/4R1/8R1/4

≒E6655

1. 圧力計の小ねじ（1カ所）を外してください。2. 圧力計にカバーリングをセットします。3. カバーリングに付属の小ねじで締め付けてください。組付トルクは0.6～0.7N・mとしてください。ただし、再組付の場合は0.5～0.6N・mとする。

カバーリングアセンブリの組付方法

小ねじを外す

真空用圧力計／真空システム用関連機器

48.5R3

26

≒EA3.3

ø57

ø53

A3.3

ø57

ø53

AB

ø42.5

【M5×0.8×5 オプション：Mの場合】

D


D


D M48×2 M48×2

□C

1413

SP

ZCUK

AMJ


・・

型式

AK4000AK6000

AK2000

管接続口径Rc

1 8 1 41 43 4

3 8 1 2

・

・1

5 321 45 163 81 2

型式

04-0006-0008-0010-0012-00

AKH

適用チューブ外径ø4ø6ø8

ø10ø12

型式

03-0007-0009-0011-0013-00

AKH

適用チューブ外径

ミリサイズインチサイズ

機器への直接取付が可能型式

M5管接続口径R

04□06□08□10□12□

AKH

適用チューブ外径ø4ø6ø8

ø10ø12

●●●●●●●●●●●●●

ミリサイズ

1 8 1 4 3 8 1 2

型式おねじR

01□02□03□04□

AKB

めねじRc

●●●

●

Rねじ

1 81 81 43 81 2

1 4 3 8 1 2型式

おねじNPT

01□02□03□04□

AKB

めねじNPT

●●●

●

NPTねじ

1 81 81 43 81 2

1 4 3 8 1 2

型式 10-32UNF

管接続口径NPT

03□07□09□11□13□

AKH

適用チューブ外径

ø5/32ø1/4

ø5/16ø3/8ø1/2

●●●●●●●●●●●●●

インチサイズ

1 8 1 4 3 8 1 2


絞り弁 AS

チェックバルブ AK

ワンタッチ管継手付チェックバルブ AKHハーフユニオンタイプ

チェックバルブ AKBブッシュタイプ

ワンタッチ管継手付チェックバルブ AKHストレートタイプ

真空破壊エアーの制御が可能

ワンタッチ管継手付チューブはワンタッチで着脱でき、しかも本体はご使用機器へ直接ねじ込装着で配管工数は大巾にダウンします。

ユニバーサルタイプ

型式適用チューブ外径mm

エルボタイプAS1301F-M5- -X214AS2301F-01- S-X214AS2301F-02- S-X214AS3301F-03- S-X214AS4301F-04- S-X214

AS1201F-M5- -X214AS2201F-01- S-X214AS2201F-02- S-X214AS3201F-03- S-X214AS4201F-04- S-X214

管接続口径Rc

●ー

●

ーー

M5×0.8●●

●

ーー

●●

●

ー●

●●

ー

ー●

●●

ー

●●

ーー

ー3.2 4 6 8 10 12

●●

1 81 43 81 2

※流量は標準品の制御流れと同等です。

配管途中への設置が容易

大きなバルブ容量低クラッキング圧／0.02MPa

クーラント液、スパッタ等の飛散する雰囲気で使用可能

真空システム用関連機器

流量制御機器

1414

仕様

型式表示方法

¡真空吸着搬送用ライン¡真空破壊用バルブに絞り弁を内蔵¡SS5Y5-20（個別配線タイプ）、　SS5Y5-20P形（フラットケーブルタイプ）マニホールド　での使用が可能¡バルブ有効断面積

OrderMade

絞り弁付真空破壊弁／SY5A2R1

注1）口径については、品番体系をご参照ください。注2）内蔵の絞り弁、全開状態時。

Bポート管接続口径注1）

有効断面積：mm2

C6C8

4.4

4.5

EA→B注2）

6.8

7.0

B→EB

弁の形式

切換方式

使用流体

使用圧力範囲

パイロット弁排気方法

周囲温度および使用流体温度

外部パイロットタイプデュアル2ポートソレノイドバルブ

ノーマルクローズ（N.C.弁）

空気

0.15～0.7MPa

0～0.7MPa

－100kPa～0MPa

パイロット弁個別排気

－10～50℃（ただし、凍結なきこと）

P（外部パイロット圧力）

EA（真空破壊圧力）

EB（真空）

有効断面積、および質量Bポート

管接続口径注1）有効断面積：mm2

C6C8

4.4

4.5

EA→B注2）

6.8

7.0

94

88

B→EB質量［g］

注1）口径については、品番体系をご参照ください。注2）内蔵の絞り弁、全開状態時。

単体：外部パイロットタイプデュアル2ポートソレノイドバルブ

SY5A2R 5 L C6

定格電圧注3）

コイル仕様注3）

リード線取出し方法注3）

ランプ・サージ電圧保護回路注3）

マニュアル注3）Bポート管接続口径

ø6ワンタッチ管継手ø8ワンタッチ管継手

C6C8

ブラケット無記号ブラケットなし

ブラケット（F2）付F2ブラケット品番：SX5000-16-8A

注3）SY5000シリーズのカタログをご参照ください。

SS5Y5 20 08バルブ連数注5）

ねじの種類注4）

CE対応注4）

CE対応注3）

3連

20連

……03

20

マニホールドタイプ個別配線タイプ

フラットケーブルタイプ無記号

P

注4）SY5000シリーズのカタログをご参照ください。注5）20P（フラットケーブルタイプ）の場合は12連までとなります。

P

表示記号

Sol.a

EA（P）

EB（Vac.）

P（X）

Sol.b

B

マニホールド：直接配管形一体ベース（20形、20P形）※マニホールドベース品番の下に搭載するバルブおよびオプションの品番を1連目より順に併記してください。

＊印は組込み記号ですので、必ず搭載する電磁弁等の品番の初めに付けてください。

手配例SS5Y5-20-05…………1set＊SY5A2R-5LOU-C6…5set

真空システム用関連機器オーダーメイド仕様

1415

SP

ZCUK

AMJ


表示記号

Sol.a

EA（P）

EB（VAC.）

P（X）

Sol.b

B

約300（リード線長さ） 62.8

28.135.1

（ACの場合）

28.1

（DCの場合）

12.7

56.8（全開状態）

（ストローク：約3）

（20.0）

（45.0）

（37.0）

（45.2）

（41.7） 16.7

22.6

14.5

（4.9）

44.4

127.0

1.6

20.5

0.8

15.0

11.6

27.2

33 33

36.0

PUSH

LOCK

PUSH

LOCK

-＋-

＋

-＋ -＋

マニュアル（ロック式の場合押してから回してください。）

（2×ø3.2）（取付用）

2×M3×0.5 ねじ深3.5（ブラケット取付用）

EA P

2×ø2.2（マニホールドガスケット位置決め用）

PEポートø2.2

PEポートø2.2

Rc1/8（Pポート）外部パイロット用ポート（X）

Rc1/8（EBポート）真空用ポート（VAC.）

Rc1/8（EAポート）真空破壊用ポート（P）

絞リ弁（調整する場合は0.3N・m以下のトルクで行ってください。）

マニュアル部

ワンタッチ管継手（Bポート）適用チューブ外径：ø6（当社製）　　　　　　　　：ø8（当社製）

BA

EB

（ランプ・サージ電圧保護回路）

2×ø3.2（マニホールド取付用）

マニュアル部詳細

Dタイプの場合 Eタイプの場合

絞り弁付真空破壊弁／SY5A2R1

外形寸法図／単体：SY5A2R

【バルブ単体注記】

注1）電気結線およびランプ、サージ電圧保護回路付の電気回路の詳細につきましては、当社Best Pneumatics No.q SYシリーズをご参照ください。注2）本図は、SY5A2R-□L□□□-□□-（F2）の場合を示します。注3）ブラケット付の場合は、一点鎖線の位置に取付けられています。注4）適用パイロット弁は、V111/V115-□□□です。

オーダーメイド仕様／真空システム用関連機器

1416

1516

1314

1112

910 8

765

41817

2423 3

21

2625

三角マ－ク指示位置コネクタ結線図［例：本図の場合］（ランプ・サージ電圧保護回路は省略しています。）

コモン

コモン

未使用端子

未使用端子

未使用端子

未使用端子

ソレノイドb

ソレノイドa

8連目

ソレノイドb

ソレノイドa

7連目

ソレノイドb

ソレノイドa

6連目

ソレノイドb

ソレノイドa

5連目

ソレノイドb

ソレノイドa

4連目

ソレノイドb

ソレノイドa

3連目

ソレノイドb

ソレノイドa

2連目

ソレノイドb

ソレノイドa

1連目

54.6MAX．83.3

54.6

30

（3.2） 70.9

33.5

62.7

26

7.3

16

5

20

20

2.7

22.8

127

14.5

93.8

16

16.511.5

60

21

21

28.5

-＋

-＋

BA

-＋

-＋

BA

-＋

-＋

BA

-＋

-＋

BA

-＋

-＋

BA

-＋

-＋

BA

-＋

-＋

BA

-＋

-＋

BA

空気圧回路

（ピッチ）P＝17.5

配線ユニット極性表示

PEポート

マニュアル（ノンロック）

（　　　　　　　　　）絞リ弁調整する場合は0.3N・m以下のトルクで行ってください。

4×ø4.5（取付用）

ワンタッチ管継手（Bポート）適用チューブ外径：ø6（当社製）

適用コネクタ：26極 MILタイプストレインリリーフ付（MIL-C-83503 準拠品）

EA

EB

P

EA

EB

P

ランプ・サージ電圧保護回路

三角マーク

Rc1/4（P,EA,EBポート）

SOL.b

SOL.a

B

SOL.b

SOL.a

B

SOL.b

SOL.a

B

SOL.b

SOL.a

B

SOL.b

SOL.a

B

SOL.b

SOL.a

B

SOL.b

SOL.a

B

SOL.b

SOL.a

B

EB（VAC）（VAC）EB

EA（P）P （X）

（P）EA（X） P

（n連目）（1連目）

L1

L2

※適用ブランキングプレートAss'y品番SS5Y5-20-□□の場合：SY5000-26-20A（ビス、ガスケット付属）SS5Y5-20P-□□の場合：SY5000-26-21A（ビス、ガスケットおよびダストキャップ付属）

※本製品をマニホールドで使用する場合、標準品SY5000/500との混載使用はできません。

L：寸法表：mm

L1

L2

□□

3nL77

67

03

n：連数

494.5

84.5

04

5112

102

05

6129.5

119.5

06

7147

137

07

8164.5

154.5

08

9182

172

09

10199.5

189.5

10

11217

207

11

12234.5

224.5

12

外形寸法図／マニホールド：SS5Y5-20P- -□□-□


連数

1417

SP

ZCUK

AMJ


三角マーク

参考図

262524

321

マニホールドの使用について

注意

SS5Y5-20□-□-□／製品個別注意事項ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては、前付35をご確認ください。

〈20P形〉qご使用される空気源中に多量のドレンが含まれていると、PEポートからの排気が直接かかる位置に配線ユニットがあるため電気的なトラブルの原因になりますので、空気源の管理を十分に行ってください。

w10連以上の場合、コモンは2極とも配線してください。

e電磁弁の交換などを行う場合には、必ずソレノイドa側をコネクタ（MILタイプ）側にして取付けてください。

rコネクタに端子番号は表示されていません。

tコネクタ結線図に示す端子番号は、参考図のようにかん合するコネクタのフラットケーブルに、仮に三角マーク側から1、2、3…26とした場合の相関を示します。（参考図、参照）

〈20形、20P形〉標準品と配管ポートが異なります。接続を間違えると正常に作動しません。［Pポート：外部パイロット用ポート、EAポート：真空破壊用加圧ポート、EBポート：真空吸引側ポート］

1418

仕様

外形寸法図

型式表示方法（標準品SV1000シリーズ型式表示方法を参照願います。）

¡真空吸着搬送用¡破壊エアの流量調整ができる絞り弁付（絞り弁は安全を考慮したドライバ操作形を採用）¡破壊エア／真空の同時遮断が可能（3ポジション機能）¡SV1000シリーズマニホールドに対応

絞り弁付真空破壊弁／SV1A4R-X82

共通仕様

注）上記表以外の仕様については標準品SV1000シリーズと同一になります。

SV1A4R F X8定格電圧

ランプ・サージ電圧保護回路

マニュアル

切換方式

弁形式

使用流体

使用圧力範囲

周囲・流体温度

許容電圧変動

リード線取出し方法

質量

内部パイロット式3位置3ポート電磁弁

常時閉（N.C.）

空気

0.15～0.7MPa

－100kPa～0MPa（大気圧）

－10～50℃

－10～＋10％

プラグインタイプ

73g

P（真空破壊圧力）

EB（真空圧力）

注）本製品を標準品5ポート電磁弁とマニホールド上で混載する場合は、当社にご確認ください。

真空破壊用の絞り弁部寸法以外は標準品（SV1000）と同一です。

製品を安全にご使用いただくために、使用前には必ず前付35の「安全上のご注意」の内容を、よくお読みください。

38.4

66.9

28.5

8.5

62.9

23.5

20.5

BAA

B

83.7

8.6

21.4 12.6

54.1

43.3

27.8

マニュアル（ノンロック）A側：オレンジB側：グリーン

絞り弁調整する場合は、0.3N・m以下のトルクで行ってください。

（マニホールド取付用）2×ø2.2

表示記号

Sol.a

EB（Vac.）

P（X）

Sol.b

B


注）搭載するマニホールドには、必ずAポートにプラグを取付けてご使用ください。

（　　　　　　　　　）

1419

SP

ZCUK

AMJ


真空システム用関連機器 - SMC...

Documents

Transcript of 真空システム用関連機器 - SMC...