XL Q - SMC...

ø100, ø160XLF（V）

フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

RoHS

XL□ Series

アルミ製高真空L型バルブ

1109

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

軽量・コンパクト小さなボディで大きなコンダクタンス。フッ素に対する耐食性に優れています。（ボディ）

XL Series

アルミニウム製高真空L型バルブ

A

B

型　式質量kg

　A※mm

40

50

65

70

88

90

108

138

　コンダクタンス※ L/s

XLA-16XLA-25XLA-40XLA-50XLA-63XLA-80XLF-100XLF-160

XL※シリーズの場合Bmm

103

113

158

170

196

235

154

200

0.25

0.45

1.1

1.6

2.9

5.0

10.6

18.5

5

14

45

80

160

200

300

800※全シリーズ共通

高真空L型バルブXL□シリーズの特長XLA／XLAV（ベローズシール・単動）・ベローズ式でダストフリー、クリーン化。・圧力バランス構造。

XLC／XLCV（ベローズシール・複動）・ベローズ式でダストフリー、クリーン化。・圧力バランス構造。

XLF／XLFV（Oリングシール・単動）・高頻度（高速応答）。・軸シール特殊表面処理でダスト減少。

XLG／XLGV（Oリングシール・複動）・高頻度（高速応答）。・軸シール特殊表面処理でダスト減少。

XLD／XLDV（二段制御・単動）・初期排気バルブと主排気バルブを一体化。　（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現。・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止。・ポンプの過負荷運転の防止。・初期排気弁の流量調整可能。

XLH（ベローズシール・手動）・ベローズ式でダストフリー、クリーン化。・圧力バランス構造で、排気方向自由。・低い操作トルク（0.5N・m以下）。・スプリングによる一定のシール荷重。・バルブ開閉時のハンドル高さが一定。・開閉確認用インジケータを標準で装備。

XLS（ベローズ圧力バランス・常時閉電磁式）・金属摺動部がないためダスト減少。・圧力バランス構造で、排気方向自由。・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化。・駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能。

KF25サイズでの比較

均一なベーキング温度熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します。

アウトガスが少ないアウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます。

重金属汚染が少ないNi（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます。

rボディ 2

wベローズ

バルブ

tボディ 3

q

ヒータ

eボディ 1

120℃仕様温度分布

0

20

40

60

80

100

120

140

0 30 60 90時間（分）

温度（

°C）

e・r・t

q・w

1110

シリーズバリエーション

高真空L型バルブ

※スイッチ付にヒータ付、高温仕様はありません。注）標準シール材（FKM）の場合。

型　式

手

　動

電磁式

エアオペレート

弁形式

単動（N.C.）

複動

単動（N.C.）

複動

単動（N.C.）

手動

単動（N.C.）

使用圧力Pa（abs）

軸シール方式

10-6～大気圧

10-5～大気圧

10-6～大気圧

10-6～大気圧

10-6～0.1MPa（G）

10-10

10-10

10-10

10-10

10-8

10-11

10-10

10-11

10-11

10-11

リーク量 Pa・m3/s

内部注）高温仕様

フランジサイズオプション用　途操作

方式

ダストフリークリーン化

ベローズシール

Oリングシール高作動回数

ダスト巻き上げ防止

ポンプの過負荷防止

ダストフリークリーン化

エア不要可搬装置用

高速作動

外部注） 16 25 40 50 63 80 100160 スイッチヒータインジケータ

標準標準

標準

標準

ベローズ・Oリングシール

ベローズシール

（ベローズバランス）

XLA

XLAV（電磁弁付）

XLC

XLCV（電磁弁付）

XLFV（電磁弁付）

XLF

XLGV（電磁弁付）

XLG

XLDV（電磁弁付）

XLD

XLH

XLS

（サイズ16なし）





ページ

P.1112

P.1115〜

P.1116

P.1120〜

P.1122

P.1131〜

P.1132

P.1143〜

P.1144

P.1149〜

P.1152

P.1154〜

P.1150

P.1151〜

1111

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

q w e r t y u

XLA M9N16 A

qフランジサイズサイズ

162540506380

yオートスイッチ数／取付位置記号無記号

ABC

数量オートスイッチなし

2ケ付1ケ付1ケ付

検出位置－弁開閉弁開弁閉

eインジケータおよび操作ポート方向記号無記号

AFGJKLM

インジケータインジケータなし

操作ポート方向

インジケータ付

インジケータなし

フランジ側フランジ側フランジ面左フランジ面裏フランジ面右フランジ面左フランジ面裏フランジ面右

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面裏

記号無記号

M9N（M）（L）（Z）M9P（M）（L）（Z）M9B（M）（L）（Z）

A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

オートスイッチ型式－

D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）D-A90（L）

D-A93（M）（L）（Z）－

オートスイッチなし（内蔵磁石なし）備考

無接点オートスイッチ

オートスイッチなし（内蔵磁石付）

有接点オートスイッチ（フランジサイズ16は対応しておりません）

tオートスイッチの種類

型式表示方法

r温度仕様／ヒータの有無記号無記号

高温タイプH0H4H5

温度範囲5～60℃

5～150℃

ヒータの有無－－

100℃用ヒータ付120℃用ヒータ付

・シ－ル材質変更箇所とリーク量

記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe

リーク量　Pa・m3/s以下注1）内部

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

uボディ表面処理／シール材質およびシール箇所の変更

・シール材質記号無記号

N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1

シール材質FKMEPDMBarrelPerfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※

※三菱電線工業（株）製

注1）常温値、ガス透過を除く注2）シール箇所は構造図P.1114の部品No.をご参照ください。

表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。

無記号（標準）以外を選択される場合、記号の先頭に必ずX（エックス）を記入しボディ表面処理、シール材質、変更箇所の順に並べて表示してください。

・ボディ表面処理記号無記号

A

表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地

外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト

例）XLA-16-M9NA-XAN1A

Barrel Perfluoro® は松村石油（株）の登録商標です。Kalrez® はデュポンパフォーマンスエラストマー社の登録商標です。Chemraz® はグリーン, ツイードアンドカンパニー社の登録商標です。ULTIC ARMOR® は日本バルカ－工業（株）の登録商標です。

記号無記号

D

種類KF（NW）K（DN）

適応フランジサイズ16・25・40・50・63・80

63・80

wフランジの種類

注）サイズ16はH4, H5対応不可、サイズ25はH4対応不可

XLA

XLA・XLAV Series

アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉／ベローズシール

注1）上記オートスイッチは高温タイプへの取付不可です。高温タイプには耐熱オートスイッチD-F7NJ※を使用した準標準品がございますので、当社へお問合せください。

注2）リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。例）-M9NL

RoHS

1112A


162540506380

eインジケータおよび電磁弁方向記号

FGJKLM

インジケータ電磁弁方向



フランジ面左フランジ面裏フランジ面右フランジ面左フランジ面裏フランジ面右

記号無記号

D


適応フランジサイズ16・25・40・50・63・80

63・80


フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ面裏

tオートスイッチ数／取付位置記号無記号

ABC



検出位置－

弁開閉弁開弁閉

1 AC100V 50/60Hz

3

5

AC110V 50/60Hz

DC24V6 DC12V

2 AC200V 50/60Hz

4 AC220V 50/60Hz

－－－－○○

CE対応y定格電圧


記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

oボディ表面処理／シール材質およびシール箇所の変更


N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※






A



例）XLAV-16-M9NA-1G-XAN1A

注1）オプション仕様／組合せインジケータ、オートスイッチおよびK（DN）フランジのオプションはありますが、高温関係のオプションはありません。

注2）使用電磁弁XLAV-16･25･40･50：SYJ319 XLAV-63･80：SYJ519例）SYJ319-1GS等なお、詳細は当社営業へお問合せください。※オプション-Qの場合、使用電磁弁もCE対応品となります。

記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－





rオートスイッチの種類

型式表示方法

エアオペレートタイプ／電磁弁付

XLAV

※サイズ16, 25でJ,Mの場合uM型プラグ　コネクタ（電源AC）は付きません。

リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。例）-M9NL

［オプション］

q w ye ur t i

XLAV M9N16 A GG 1o


!0

!0CE対応

Q CE対応品無記号 ―G グロメット（リード線長さ300mm）

HL

グロメット（リード線長さ600mm）L型プラグコネクタ

M M型プラグコネクタ

uリード線取出し方法

※ACの場合Sタイプはありません。※UはDCのみです。

無記号なしSZ

サージ電圧保護回路付ランプ･サージ電圧保護回路付

U ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）

iランプ･サージ電圧保護回路

アルミニウム製高真空L型バルブ XLA・XLAV Series

1113

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A

《オプション説明》オートスイッチ：

ヒータ　　　　：

インジケータ　：

《作動説明》操作ポートから気圧を加えることにより、ピストンと連結したバルブはスプリング力や圧力による作用力を振切り、開きます。XLAVは、1（P）ポートに気圧を常時加えておき、電磁弁のONでバルブが開き、OFFで閉じます。

磁石でオートスイッチを作動します。オートスイッチ2ヶで"開閉"、オートスイッチ1ヶで"開"または"閉"の位置を検出します。温度の適用は一般用（5～60℃）のみです。サーミスターを用い簡易的に加熱します。バルブのサイズにより異なりますが、100･120℃にボディを加熱します。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なります。高温仕様の場合、ボンネットAss'yは耐熱構成です。電磁弁付には対応しません。バルブ開で銘板中心の面付近に、オレンジ色のマークを目視できます。

構造･作動

弁の形式

使用流体

使用温度　℃

使用圧力　Pa（abs）

コンダクタンス　L/s注1）

フランジの種類

主な材質

表面処理

操作圧力　MPa（G）

操作ポート接続口径

質量　kg

型式 XLA(V)-16 XLA(V)-25 XLA(V)-40

常時閉（加圧開・スプリングシール）

不活性ガス系の真空

5～60（高温タイプの場合： 5～150）

5～50

1×10-6～大気圧

標準材質（FKM）の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く


本体：アルミ合金　　ベローズ：SUS316L　　要部：ステンレス、FKM（標準シール材）

外部：硬質アルマイト　　内部：素地

0.4～0.7

KF（NW）

M5：1（P）・3（R）ポート

XLA(V)-50 XLA(V)-63 XLA(V)-80

内部

外部

XLA

XLAV

XLA

XLAV

XLA

XLAV


5

0.25

0.29

14

0.45

0.49

45

1.1

1.14

80

1.6

1.64

160

2.9

2.96

200

5.0

5.06

M5 Rc1/8

Rc1/8：1（P）ポート、M5：3（R）ポート

KF（NW）・K（DN）

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はP.1155共通オプション仕様z加熱用ヒータをご参照ください。

バルブ側排気 ※保守部品につきましてはP.1161をご参照ください。

ベローズ側排気

インジケータ（オプション）

ヒータ（オプション）

オートスイッチ（オプション）

qボンネットAss'y（保守部品）※　（wtyu含む）

yベローズ（材質：SUS316L）

tバルブ（材質：SUS304）

wバルブシール（保守部品）※

rボディ（材質：A6063）

操作ポート

e外部シール（保守部品）※

uベローズホルダ（材質：SUS304）

磁石（オプション）

電磁弁付の場合

R

P

1（P）ポート（加圧ポート）

3（R）ポート（排気ポート）

電磁弁

仕様

XLA･XLAV Series

1114

XLA／エアオペレートタイプ

XLAV／電磁弁付

外形寸法図

注1）E寸法はヒータ付の場合です。（リード線長さ≒1m）注2）上図㋑、㋺、㋩はヒータの取付位置を示します。

またヒータの取付位置は、ヒータの種類により異なります。詳細はP.1161交換用ヒータ／部品品番の取付位置をご参照ください。

型式

XLA-16XLA-25XLA-40XLA-50XLA-63XLA-80

A40

50

65

70

88

90

B C D Fn Fd G H(mm)

E注1）

103

113

158

170

196

235

38

48

66

79

100

117

1

1

2

2

3

3

－

12

11

11

11

11

30

40

55

75

87

114

－

－

－

－

95

110

17

26

41

52

70

83

40

39

63

68

69

96

※その他の寸法はXLAと同じです。注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

型式

XLAV-50XLAV-63XLAV-80

J57

78.5

87

K25.7

28.7

38.7

L 8.5

12

12

M2.7

4

4

3

2

2

(mm)

N

※その他の寸法はXLAと同じです。注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

型式

XLAV-16XLAV-25XLAV-40

J35.5

40.5

50.5

K13.4

14.9

22.7

L8.5

8.5

8.5

M2.7

2.7

2.7

3

3

3

(mm)

N

A

C D

CE

E



øF

n（KFフランジ）

B

A

MNPポート（加圧ポート）

Rポート（排気ポート）

H

øG

ロ

ハ

イ

J

KL

（Kフランジ）

øF

d

アルミニウム製高真空L型バルブ XLA・XLAV Series

1115

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XLC

q t y

M9N A16

w e r u

XLC M9N A50 1


162540506380


ABC





e操作ポート方向記号無記号

KLM

操作ポート方向フランジ側フランジ面左フランジ面裏フランジ面右

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面裏




5～150℃




記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9



N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※






A



例）XLC-16-M9NA-XAN1A

型式表示方法

XLC16～40

記号無記号

D


適応フランジサイズ16・25・40・50・63・80

63・80


XLC・XLCV Series

アルミニウム製高真空L型バルブ複動／ベローズシール

記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－








フランジサイズ16, 25, 40


RoHS

1116A



162540506380


ABC



検出位置－


※サイズ16, 25でMの場合iM型プラグコネクタ（電源AC）は付きません。※Mはサイズ16, 25, 40のみ。※無はサイズ50, 63, 80のみ。

e操作ポート方向記号

KLM無

電磁弁方向フランジ面左フランジ面裏フランジ面右フランジ面


記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

!0ボディ表面処理／シール材質およびシール箇所の変更


N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※


注1）常温値、ガス透過を除く注2）シール箇所は構造図P.1118の部品No.をご参照ください。　　表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。



A



例）XLCV-16-M9NA-1G-XAN1A

型式表示方法

記号無記号

D


適応フランジサイズ16・25・40・50・63・80

63・80


XLCVq r t

M9N A50 1w ye u

エアオペレートタイプ／電磁弁付i o !1!0

XLCV M9N A16 1 G

1 G

L

注1）オプション仕様／組合せオートスイッチおよびK（DN）フランジのオプションはありますが、高温関係のオプションはありません。

注2）使用電磁弁2位置シングル：XLCV-16･25･40：SYJ3190　XLCV-50･63･80：SY31202位置ダブル　：XLCV-16･25･40：SYJ3290　XLCV-50･63･80：SY3220例）SYJ3190-1GS　SYJ3290-1GS　SY3120-1GS-C4　SY3220-1GS-C4なお、詳細は当社営業へお問合せください。※オプション-Qの場合、使用電磁弁もCE対応品となります。

XLCV

記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－






1 AC100V 50/60Hz

3

5

AC110V 50/60Hz

DC24V6 DC12V

2 AC200V 50/60Hz

4 AC220V 50/60Hz

－－－－○○

CE対応y定格電圧


無記号なしSZ



oランプ･サージ電圧保護回路G グロメット（リード線長さ300mm）HL



iリード線取出し方法無記号 2位置シングル

W 2位置ダブル

u電磁弁作動方式

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ面裏



!1CE対応

Q CE対応品無記号 ―

アルミニウム製高真空L型バルブ XLC･XLCV Series



1117

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A


ヒータ　　　　：

磁石でオートスイッチを作動します。オートスイッチ2ヶで"開閉"、オートスイッチ1ヶで"開"または"閉"の位置を検出します。温度の適用は一般用（5～60℃）のみです。サーミスターを用い簡易的に加熱します。バルブのサイズにより異なりますが、100･120℃にボディを加熱します。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なります。高温仕様の場合、ボンネットAss'yは耐熱構成です。電磁弁付には対応しません。

《作動説明》操作ポートP-1から気圧を加えることにより、ピストンと連結したバルブは圧力による作用力を振切り、開きます。（操作ポートP-2は開放）逆に、操作ポートP-2へ気圧を加えることにより、バルブは閉じます。（操作ポートP-1は開放）XLCVは、1（P）ポートに気圧を常時加えておき、電磁弁のONでバルブが開き、OFFで閉じます。また、ダブルソレノイドの場合、電磁弁をONした側と反対側にバルブが移動します。


バルブ側排気

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はP.1155共通オプション仕様z加熱用ヒータをご参照願います。

弁の形式

使用流体

使用温度　℃




主な材質

表面処理



質量　kg

型式 XLC(V)-16 XLC(V)-25 XLC(V)-40

複動（両作動）・加圧開閉


5～60（高温タイプの場合：5～150）

1×10-6～大気圧





M5：1（P）・3（R）・5（R）ポート

KF（NW）

XLC(V)-50 XLC(V)-63 XLC(V)-80

内部

外部

XLC

XLCV

XLC

XLCV

XLC

XLCV


5

0.28

0.32

14

0.46

0.5

45

1.1

1.15

80

1.4

1.5

160

2.3

2.4

200

4.0

4.1

M5 Rc1/8


P

R1

R2 1（P）ポート（加圧ポート）

プレート


電磁弁


仕様

構造･作動

0.3～0.6 0.4～0.6

5～50 ―

XLC･XLCV Series










操作ポート（加圧：弁閉）P-2

操作ポート（加圧：弁開）P-1



※保守部品につきましてはP.1161を参照してください。

1118A

XLC16, 25, 40／エアオペレートタイプ

XLC50, 63, 80／エアオペレートタイプ

外形寸法図



型式

XLC-16XLC-25XLC-40

A40

50

65

B110

121

171

C38

48

66

D1

1

2

－

12

11

Fn30

40

55

G17

26

41

H40

39

63

(mm)

J26

28

36

E注1）



型式

XLC-50XLC-63XLC-80

A70

88

90

B183

209

250

C 80

100

117

D31

39

45.5

10.5

11

11

Fn 75

87

114

Fd－

95

110

G52

70

83

H77

76.5

105

(mm)

J29

36

44

K10.5

9

9

E注1）

Cロ

EC

E

イ

ハ

D

øF




A

B

A

HJ

øG

C

EC

E

DE

øF


øF

d（Kフランジ）

ロ

イ

ハ

A

B

A

H

K

øG

J

アルミニウム製高真空L型バルブ XLC･XLCV Series

1119

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XLCV／電磁弁付

外形寸法図

※その他の寸法はXLCと同じです。注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

型式

XLCV-16XLCV-25XLCV-40

K14.3

15.8

29

L9.2

9.2

9.2

M6.4

6.4

6.4

N3.5

3.5

3.5

36

41

51

(mm)

P2.7

2.7

2.7

Q17.3

15.8

2.6

R

※その他の寸法はXLCと同じです。注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

型式

XLCV-50XLCV-63XLCV-80

K12.5

17.4

23.5

L9.5

9.5

9.5

M9.5

9.5

9.5

N1

1

1

52.6

62.3

70.8

(mm)

P1

1

1

Q23.5

18.6

12.4

R

R

NP

Pポート（加圧ポート）


KL

Mダブルソレノイドの場合

Q

Q

シングルソレノイドの場合

EB

EA

P

B

A

ダブルソレノイドの場合




KL

M


NPR

XLC･XLCV Series

1120

1121

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

型式表示方法

XLF・XLFV Series

アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉／Oリングシール


162540506380

100160


ABC




記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－






q e r t y u

XLFw

M9N16 A

eインジケータおよび操作ポート方向記号無記号

AFGJKLM

インジケータインジケータなし




フランジ側フランジ側フランジ面左フランジ面裏フランジ面右フランジ面左フランジ面裏フランジ面右

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面裏

EVLAV

MU

HI

UCA

V

HG


記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8



N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※



表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。注3）サイズ16, 25はe箇所（外部シール）の変更不可です。



A



例）XLF-40-M9NA-XAN1A




5～150℃



記号

無記号

D

種類

KF（NW）

K（DN）

適応フランジサイズ16・25・40・50・6380・100・16063・80・100・160


XLF


OrderMade オーダーメイド仕様

(詳細はP.1126～1131をご参照ください。）



RoHS

1122A

型式表示方法



162540506380

100160


ABC



検出位置－


eインジケータおよび電磁弁方向記号

FGJKLM

インジケータ電磁弁方向



フランジ面左フランジ面裏フランジ面右フランジ面左フランジ面裏フランジ面右


記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8



N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※






A



例）XLFV-40-M9NA-1G-XAN1A

記号

無記号

D

種類

KF（NW）

K（DN）

適応フランジサイズ16・25・40・50・6380・100・16063・80・100・160


q e ur t

XLFVw y

M9N16 A 1i o

GG


注1）オプション仕様／組合せインジケータ、オートスイッチおよびK（DN）フランジのオプションはありますが、高温関係のオプションはありません。

注2）使用電磁弁XLFV-16･25･40：SYJ319 XLFV-50･63･80･100･160：SYJ519例）SYJ319-1GSなお、詳細は当社営業へお問合せください。※オプション-Qの場合、使用電磁弁もCE対応品となります。

記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－






XLFV


無記号なしSZ


Uランプ･サージ電圧保護回路付

（無極性タイプ）


フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ面裏

EVLAV

MU

HI

UCA

V

HG

※サイズ16, 25でJ,Mの場合uM型プラグ　コネクタ（電源AC）は付きません。


!0

!0CE対応



y定格電圧1 AC100V 50/60Hz

3

5

AC110V 50/60Hz

DC24V6 DC12V

2 AC200V 50/60Hz

4 AC220V 50/60Hz

－－－－○○

CE対応GHLM

グロメット（リード線長さ300mm）グロメット（リード線長さ600mm）

L型プラグコネクタM型プラグコネクタ


アルミニウム製高真空L型バルブ XLF･XLFV Series

1123

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A

《作動説明》操作ポートから気圧を加えることにより、ピストンと連結したバルブはスプリング力や圧力による作用力を振切り、開きます。XLFVは、1（P）ポートに気圧を常時加えておき、電磁弁のONでバルブが開き、OFFで閉じます。

バルブ側排気


注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はP.1155共通オプション仕様z加熱用ヒータをご参照ください。注3）真空部のシール材摺動部には真空グリース［Y-VAC2］を塗布しております。

弁の形式

使用流体

使用温度　℃




主な材質注3）

表面処理



質量　kg

型式 XLF(V)-16 XLF(V)-25 XLF(V)-40

常時閉（加圧開・スプリングシール）



5～50

1×10-5～大気圧



本体：アルミ合金　　要部：ステンレス、FKM（標準シール材）


0.4～0.7

KF（NW）

Rc1/8：1（P）ポート、M5：3（R）ポートM5：1（P）・3（R）ポート

XLF(V)-50 XLF(V)-63 XLF(V)-80

内部

外部

XLF

XLFV

XLF

XLFV

XLF

XLFV


5

0.25

0.29

14

0.45

0.49

45

1.1

1.14

80

1.6

1.66

160

3.0

3.06

200

4.8

4.86

M5 Rc1/8 Rc1/4


XLF(V)-100

300

10

10.1

XLF(V)-160

800

18

18.1


ヒータ　　　　：

インジケータ　：

磁石でオートスイッチを作動します。オートスイッチ2ヶで"開閉"、オートスイッチ1ヶで"開"または"閉"の位置を検出します。温度の適用は一般用（5～60℃）のみです。サーミスターを用い簡易的に加熱します。バルブのサイズにより異なりますが、100･120℃にボディを加熱します。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なります。高温仕様の場合、ボンネットAss'yは耐熱構成です。電磁弁付には対応しません。バルブ開で銘板中心の面付近に、オレンジ色のマークを目視できます。

シャフト側排気

※保守部品につきましてはP.1161をご参照ください。

ヒータ（オプション） qボンネットAss'y（保守部品）※　（wtyui含む）


yスプリング　（材質：オイルテンパー線／無電解ニッケルめっき）





uシャフト（材質：SUS304）

i軸シール（材質：FKM）

oスクレーパ（材質：FKM）


インジケータ（オプション）

操作ポート（加圧：弁開）

R

P

プレート


電磁弁


仕様

構造･作動

XLF･XLFV Series

1124A

XLF／エアオペレートタイプ

XLFV／電磁弁付

外形寸法図



型式

XLF-16XLF-25XLF-40XLF-50XLF-63XLF-80XLF-100XLF-160

A 40

50

65

70

88

90

108

138

B103

113

158

170

196

235

300

315

C 38

48

66

79

100

117

154

200

D1

1

2

2

3

3

3

3

－

12

11

11

11

11

11

11

Fn 30

40

55

75

87

114

134

190

Fd－

－

－

－

95

110

130

180

G 17

26

41

52

70

83

102

153

H 40

39

63

68

69

96

131

112

(mm)

E注1）

(mm)

型式

XLFV-16XLFV-25XLFV-40XLFV-50XLFV-63XLFV-80XLFV-100XLFV-160

J 35.5

40.5

50.5

67

78.5

87

105.5

128.5

K13.4

15

22.7

21.7

28.7

38.7

49.7

58

L 8.5

8.5

8.5

12

12

12

12

12

M3

3

3

4

4

4

4

4

2.7

2.7

2.7

2

2

2

2

2

N

※その他の寸法はXLFと同じです注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

R

P

Cロ

EC

E

イ

ハ

D


øF



A

B

A

H

øG

J

NM

KL



（Kフランジ）

øF

d

アルミニウム製高真空L型バルブ XLF･XLFV Series

1125

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

バイパス弁付（フランジサイズ：80）

構成部品番号122-13456788-18-2910

ボディボンネットAss'yOリング六角穴付ボルトOリングコンピュータ銘板オートスイッチインジケータバイパス弁OリングOリングOリング六角穴付ボルト

A6063

SUS

SUS

品番欄参照品番欄参照M10、L＝60品番欄参照

オプションオプション品番欄参照品番欄参照品番欄参照品番欄参照M4、L＝40

部品名材質備考

Oリング品番シール材記号無記号

N1P1Q1R1R2R3S1T1U1

外部シールr内部シール 2-1


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1

内部シール 8-1 外部シール 8-2 外部シールo

注）軸シール、スクレイパー、Oリングoに真空グリース（フッ素系グリース：Y-VAC2）を塗布しています。

B2401-V85VB2401-V85-XN1B2401-V85-XP1B2401-V85-XQ1B2401-V85-XR1B2401-V85-XR2B2401-V85-XR3B2401-V85-XS1B2401-V85-XT1B2401-V85-XU1

AS568-045VAS568-045-XN1AS568-045-XP1AS568-045-XQ1AS568-045-XR1AS568-045-XR2AS568-045-XR3AS568-045-XS1AS568-045-XT1AS568-045-XU1




表示記号

EVLAV

MU

HI

UCAV

HG

（40）

（40）

（40）

148.5

117

3117

XLA-16※-X65

e

A

バイパス弁調整ナット（初期排気）調整ピッチ：1mm/回転

操作ポート：Rc1/8

ロックナット対辺13

y

o

8-2

8-1

ø83

0.2

23596

90

ø112

ø114

ø83

0.2

90

ø114

ø112

リード線長：500mm

（Lタイプ：3,000mm）

スクレイパー（FKM）

軸シール（FKM）

操作ポート：M5

utw

i

!0

q

2-1

r

7.5

（MAX13）

アルミニウム製高真空L型バルブ／常時閉／Oリングシール

XLF Series

オーダーメイド仕様q詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。

OrderMade

1126

80XLFR M9N A X

バルブ型式

保守部品

温度仕様記号無記号 5～60℃

5～150℃H0

温度範囲

フランジの種類記号無記号 KF（NW）

K（DN）D

種類

主弁：インジケータおよび操作ポート方向記号無記号インジケータなし



AFGJKLM

インジケータフランジ側フランジ側フランジ面左フランジ面裏フランジ面右フランジ面左フランジ面裏フランジ面右


※フランジ：A

スイッチ数／取付位置記号無記号オートスイッチなし

2ヶ1ヶ1ヶ

ABC

数量―


検出位置

注）高温タイプの場合は、オートスイッチ付はありません。Lタイプ：リード線長3,000mm

オートスイッチの種類（使用温度5～60℃）

シール材質記号無記号 FKM

EPDMBarrel Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM FOR PLASMAULTIC ARMOR®

N1P1Q1R1R2R3S1T1U1

シール材質1349-802101-8070W4079SS592SS630SSE381232-703310-75UA4640

配合No.

ボンネットAss'y

Barrel Perfluoro®は松村石油（株）の登録商標です。Kalrez®はデュポンパフォーマンスエラストマー社の登録商標です。Chemraz®はグリーン、ツイードアンドカンパニー社の登録商標です。ULTIC ARMOR®は日本バルカー工業（株）社の登録商標です。

シール材質変更箇所

記号変更箇所

無記号 1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）

なしABC

リーク量　Pa・m3/s以下注）内部

1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

外部

r2-1 8-1 o8-2

2-1 8-1

r o8-2

注）常温値、ガス透過を除きます。

バイパス弁取付位置および操作ポート方向記号

フランジ面左

フランジ面右

フランジ面裏

1

2

3

記号無記号

KL

無記号LMKLM

取付位置フランジ側フランジ面左フランジ面裏フランジ側フランジ面裏フランジ面右フランジ面左フランジ面裏フランジ面右


※フランジ：A

仕様弁形式軸シール方式使用圧力範囲使用流体使用温度コンダクタンス作動圧力フランジ

主弁：常時閉Oリングシール

大気圧～1×10-5Pa不活性ガス系の真空

5～60℃（オプション：5～150℃）

0.4～0.7MPaKF80

200L/s MAX 25L/s（計算値）

バイパス弁：常時閉ベローズシール

wボンネットAss'y品番

温度範囲インジケータなしインジケータ付インジケータなしインジケータ付

5～60℃

5～150℃

インジケータXLF80-30-1XLF80A-30-1XLF80-30-1HXLF80A-30-1H

品番

XLF80A-30-1H M9NA-XN1

製品型式表示と同一です。

シール材質に変更がない場合は無記号にしてください。

16 X65XLAiバイパス弁品番

操作ポート方向記号無記号ボディ接合部から見て裏

ボディ接合部から見て左ボディ接合部から見て右

KM



5～150℃H0

温度範囲

シール材：バルブ型式のシール材と同一です。

シール材質変更箇所記号無記号なし

ABC

変更箇所

8-1 8-2

8-1

8-2

1K

オーダーメイド仕様 XLF Series

記号

無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

スイッチ

―


D-A93（M）（L）（Z）

スイッチ種類オートスイッチなし（内蔵磁石なし）

無接点

有接点


1127

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A


構成部品番号122-13456788-18-2910


A6063

SUS

SUS





N1P1Q1R1R2R3S1T1U1



N1P1Q1R1R2R3S1T1U1








表示記号

EVLAV

MU

HI

UCAV

HG

154

185（40）

（40）

154

（40）

3

XLA-16※-X65e

A



y


o

8-1

299

108

108

0.2

ø134

ø132

ø102

131

0.2

ø134

ø132

ø102






utw

i

!0

r

q

2-1

7.5

（MAX13）

8-2


XLF Series

オーダーメイド仕様w詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。

OrderMade

1128




5～60℃（オプション：5～150℃）

0.4～0.7MPaKF100

300L/s MAX 31.5L/s（計算値）



XLF100A-30-1 M9NA-XN1


バルブ型式

100XLFR M9N A 1K X




AFGJKLM



※フランジ：A

注1）リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。

注2）高温タイプの場合は、オートスイッチ付はありません。

オートスイッチの種類記号

無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

スイッチ


D-A93（M）（L）（Z）

―


無接点

有接点




Kalrez®

Chemraz®


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1


配合No.



フランジ面左

フランジ面右

フランジ面裏

1

2

3

記号無記号

KL

無記号LMKLM



※フランジ：A

オートスイッチ数／取付位置記号無記号オートスイッチなし

2ヶ1ヶ1ヶ

ABC

数量―


検出位置

保守部品




KM




ABC

変更箇所

8-1 8-2

8-1

8-2


5～150℃H0

温度範囲

温度範囲

5～60℃

5～150℃

インジケータ品番インジケータなしインジケータ付インジケータなしインジケータ付

XLF100-30-1XLF100A-30-1XLF100-30-1HXLF100A-30-1H



5～150℃H0

温度範囲


記号変更箇所

無記号 1.3×10-9（FKM）1.3×10-71.3×10-7

1.3×10-9（FKM）

なしABC


1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

外部

r o2-1 8-1 8-2

2-1 8-1


r o8-2



K（DN）D

種類


1129

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A


構成部品番号122-13456788-18-2910


A6063

SUS

SUS





N1P1Q1R1R2R3S1T1U1



N1P1Q1R1R2R3S1T1U1



B2401-G155VB2401-G155-XN1B2401-G155-XP1B2401-G155-XQ1B2401-G155-XR1B2401-G155-XR2B2401-G155-XR3B2401-G155-XS1B2401-G155-XT1B2401-G155-XU1





表示記号

e

A

200

238（40）

（40）

200

（40）

3

XLA-16※-X65

EVLAV

MU

HI

UCAV

HG

wt

i

!02-1

q

r

u

138

138

315

0.2

ø190

ø188

ø153

112

0.2

ø190

ø188

ø153






y

o




8-1

8-27.5

（MAX13）


XLF Series

オーダーメイド仕様e詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。

OrderMade

1130




5～60℃（オプション：5～150℃）

0.4～0.7MPaKF160

800L/s MAX 31.5L/s（計算値）



XLF160A-30-1 M9NA-XN1


バルブ型式

160XLFR M9N A 1K X




AFGJKLM



※フランジ：A

注1）リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。

注2）高温タイプの場合は、オートスイッチ付はありません。

オートスイッチの種類記号

無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

スイッチ


D-A93（M）（L）（Z）

―


無接点

有接点




Kalrez®

Chemraz®


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1


配合No.



フランジ面左

フランジ面右

フランジ面裏

1

2

3

記号無記号

KL

無記号LMKLM



※フランジ：A

オートスイッチ数／取付位置記号無記号 ―

2ヶ1ヶ1ヶ

ABC



検出位置

保守部品

温度範囲

5～60℃

5～150℃

インジケータ品番インジケータなしインジケータ付インジケータなしインジケータ付

XLF160-30-1XLF160A-30-1XLF160-30-1HXLF160A-30-1H





KM




ABC

変更箇所

8-1 8-2

8-1

8-2温度仕様記号無記号 5～60℃

5～150℃H0

温度範囲


5～150℃H0

温度範囲


記号変更箇所

無記号 1.3×10-9（FKM）1.3×10-71.3×10-7

1.3×10-9（FKM）

なしABC


1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

外部

r o2-1 8-1 8-2

2-1 8-1


r o8-2



K（DN）D

種類


1131

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A

XLG・XLGV Series

アルミニウム製高真空L型バルブ複動／Oリングシール

qフランジサイズ　サイズ

162540506380

100160


ABC





記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－







KLM


フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面裏

EVLAV

MU

HI

UCA

V

HG


記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8



N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※


注1）常温値、ガス透過を除く注2）シール箇所は構造図P.1134の部品No.をご参照ください。　　表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。注3）サイズ16, 25はe箇所（外部シール）の変更不可です。



A



例）XLG-40-M9NA-XAN1A




5～150℃



記号

無記号

D

種類

KF（NW）

K（DN）

適応フランジサイズ16・25・40・5063・80・100・16063・80・100・160


型式表示方法

XLG

XLG

q t y

M9N A16

w e r u

XLG M9N A50 1


フランジサイズ50, 63, 80, 100, 160

OrderMade オーダーメイド仕様

(詳細はP.1138～1143をご参照ください。）



RoHS

1132A


qフランジサイズ　サイズ

162540506380


ABC



検出位置－


e操作ポート方向記号

KLM無

電磁弁方向フランジ面左フランジ面裏フランジ面右フランジ面


記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

!0ボディ表面処理／シール材質およびシール箇所の変更


N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※






A



例）XLGV-40-M9NA-1G-XAN1A

記号無記号

D


適応フランジサイズ16・25・40・50・63・80

63・80


型式表示方法

q e ur t

XLGViw y

M9N50 A 1 GLo !0


XLGV

記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－






無記号 2位置シングルW 2位置ダブル

u電磁弁作動方式G グロメット（リード線長さ300mm）HL



iリード線取出し方法


無記号なしSZ



oランプ･サージ電圧保護回路


注2）使用電磁弁2位置シングル：XLGV-16･25･40：SYJ3190　XLGV-50･63･80：SY31202位置ダブル　：XLGV-16･25･40：SYJ3290　XLGV-50･63･80：SY3220例）SYJ3190-1GS　SYJ3290-1GS　SY3120-1GS-C4　SY3220-1GS-C4なお、詳細は当社営業へお問合せください。※オプション-Qの場合、使用電磁弁もCE対応品となります。

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ面裏

EVLAV

MU

HI

UCA

V

HG

※サイズ16, 25でMの場合iM型プラグコ　ネクタ（電源AC）は付きません。※Mはサイズ16, 25, 40のみ。※無はサイズ50, 63, 80のみ。


XLGV M9N16 A 1 GL

!1

!1CE対応




3

5

AC110V 50/60Hz

DC24V6 DC12V

2 AC200V 50/60Hz

4 AC220V 50/60Hz

－－－－○○

CE対応

アルミニウム製高真空L型バルブ XLG･XLGV Series

1



1133

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

B

《オプション説明》磁石でオートスイッチを作動します。オートスイッチ2ヶで"開閉"、オートスイッチ1ヶで"開"または"閉"の位置を検出します。温度の適用は一般用（5～60℃）のみです。サーミスターを用い簡易的に加熱します。バルブのサイズにより異なりますが、100･120℃にボディを加熱します。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なります。高温仕様の場合、ボンネットAss'yは耐熱構成です。電磁弁付には対応しません。

《作動説明》操作ポートP-1から気圧を加えることにより、ピストンと連結したバルブは圧力による作用力を振切り、開きます。（操作ポートP-2は開放）逆に、操作ポートP-2へ気圧を加えることにより、バルブは閉じます。（操作ポートP-1は開放）XLGVは、1（P）ポートに気圧を常時加えておき、電磁弁のONでバルブが開き、OFFで閉じます。また、ダブルソレノイドの場合、電磁弁をONした側と反対側にバルブが移動します。


弁の形式

使用流体

使用温度　℃




主な材質

表面処理



質量　kg

型式 XLG(V)-16 XLG(V)-25 XLG(V)-40

複動（両作動）・加圧開閉



大気圧～1×10-5



本体：アルミ合金　　要部：ステンレス、FKM（標準シール材）


KF（NW）

XLG-50 XLG-63 XLG-80 XLG-100 XLG-160

内部

外部

XLG

XLGV

XLG

XLGV

XLG

XLGV


5

0.28

0.32

14

0.46

0.5

45

1.1

1.14

80

1.4

1.5

160

2.3

2.4

200

4.1

4.2

300

7.6

800

14.9

M5 Rc1/8

M5：1（P）・3（R）・5（R）ポート ―

―


注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はP.1155共通オプション仕様z加熱用ヒータをご参照願います。注3）真空部のシール材摺動部には真空グリース［Y-VAC2］を塗布しております。

オートスイッチ：

ヒータ　　　　：

バルブ側排気

P

R1

R2

プレート

電磁弁




仕様

構造･作動

0.3～0.6 0.4～0.6

5～50 ―

XLG･XLGV Series

シャフト側排気




y軸シール（材質：FKM）

uスクレーパ（材質：FKM）



操作ポート（加圧：弁閉）

操作ポート（加圧：弁開）





1134

XLG16, 25, 40／エアオペレートタイプ

型式

XLG-16XLG-25XLG-40

A40

50

65

B110

121

171

C38

48

66

D1

1

2

－

12

11

Fn30

40

55

G17

26

41

H40

39

63

(mm)

J26

28

36

E注1）

注1）E寸法はヒーター付の場合です。（リード線長さ≒1m）注2）上図㋑、㋺、㋩はヒーターの取付位置を示します。

またヒーターの取付位置は、ヒーターの種類により異なります。詳細はP.1161交換用ヒーター／部品品番の取付位置をご参照ください。

注1）E寸法はヒーター付の場合です。（リード線長さ≒1m）注2）上図㋑、㋺、㋩はヒーターの取付位置を示します。

またヒーターの取付位置は、ヒーターの種類により異なります。詳細はP.1161交換用ヒーター／部品品番の取付位置をご参照ください。

XLG50, 63, 80, 100, 160／エアオペレートタイプ

型式

XLG-50XLG-63XLG-80XLG-100XLG-160

A 70

88

90

108

138

B183

209

250

270.5

339

C 80

100

117

154

200

D31

39

45.5

55

65

10.5

11

11

11

11

Fn 75

87

114

134

190

Fd－

95

110

130

180

G 52

70

83

102

153

H77

76.5

105

92

124

(mm)

J29

36

44

58

62

K10.5

9

9

9

12.5

E注1）

Cロ

EE

Cイ

ハ

D

øF


A

BA

øG

JH



C

EC

E

DE

øF


øF

d（Kフランジ）

ロ

イ

ハ

A

B

A

H

K

øG

J

アルミニウム製高真空L型バルブ XLG･XLGV Series

外形寸法図

1135

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XLGV／電磁弁付

型式

XLGV-16XLGV-25XLGV-40

N3.5

3.5

3.5

K14.3

15.8

29

L9.2

9.2

9.2

6.4

6.4

6.4

(mm)

P2.7

2.7

2.7

M36

41

51

R17.3

15.8

2.6

Q

※その他の寸法はXLGと同じです。注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

型式

XLGV-50XLGV-63XLGV-80

N1

1

1

K12.5

17.4

23.5

L9.5

9.5

9.5

9.5

9.5

9.5

(mm)

P1

1

1

M52.6

62.3

70.8

R23.5

18.6

12.4

Q

※その他の寸法はXLGと同じです。注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

EB

EA

P

B

A





KL

M


NPR

R

NP



KM

L



Q

Q

外形寸法図

XLG･XLGV Series

1136

1137

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XLA-16□-X65

117

117

148.5

（40）

（40）

（40）

45.5

e

A


スクレーパ（FKM）




（Mタイプ：1,000mm）

（Zタイプ：5,000mm）

（MAX13）

7.5

ø83

ø112

ø114

90

0.2

90

0.2

ø83

ø114

250105

44

9

t

r

w

u

o

q

2-1

ø83

ø110

Kフランジ

KFフランジ

バイパス弁調整ねじ（初期排気）調整ピッチ：1mm/回転



i

7-1

7-2

y


構成部品番号122-1345677-17-289

ボディボンネットAss'yOリング六角穴付ボルトOリングコンピュータ銘板オートスイッチ高真空L型バルブ（バイパス弁）OリングOリングOリング六角穴付ボルト

A6063

SS

SUS

保守部品参照品番欄参照M10、L＝20品番欄参照

オプション保守部品参照品番欄参照品番欄参照品番欄参照M4、L＝40



N1P1Q1R1R2R3S1T1U1



N1P1Q1R1R2R3S1T1U1

内部シール 7-1 外部シール 7-2 外部シールi

注）軸シール、スクレーパ、Oリングiに真空グリース（フッ素系グリース：Y-VAC2）を塗布しています。

表示記号 B2401-V85VB2401-V85-XN1B2401-V85-XP1B2401-V85-XQ1B2401-V85-XR1B2401-V85-XR2B2401-V85-XR3B2401-V85-XS1B2401-V85-XT1B2401-V85-XU1





アルミニウム製高真空L型バルブ／複動／Oリングシール

XLG Series

オーダーメイド仕様q詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。

OrderMade

1138

80XLGR 1K X

バルブ型式


5～150℃――H0

温度範囲ヒータの有無

主弁：操作ポート方向記号無記号

KLM

フランジ側フランジ面左フランジ面裏フランジ面右


※フランジ：A

フランジ種類記号無記号

DKF（NW）K（DN）

種類


2ヶ1ヶ1ヶ

ABC



検出位置

注）高温タイプの場合は、オートスイッチ付はありません。リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。

オートスイッチの種類（使用温度5～60℃）記号

無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

スイッチ


D-A93（M）（L）（Z）

―


無接点

有接点




Kalrez®

Chemraz®


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1


配合No.




記号変更箇所

無記号 1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）

なしABC


1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

外部

r2-1 7-1 i7-2

2-1 7-1

r i7-2



フランジ面左

フランジ面右

フランジ面裏

1

2

3

記号SKLSLMKLM



※フランジ：A

仕様弁形式軸シール方式使用圧力範囲使用流体使用温度コンダクタンス作動圧力フランジ質量

主弁：複動Oリングシール


5～60℃（オプション：5～150℃）

0.4～0.6MPaKF80, K804.9kg

200L/s※ MAX 25L/s（計算値）



温度範囲5～60℃5～150℃

XLG80-30-1-1XLG80-30-1H-1

品番

XLG80-30-1H-1 M9NA-XN1





KM



5～150℃H0

温度範囲

シール材質：バルブ型式のシール材質と同一です。


ABC

変更箇所

7-1 7-2

7-1

7-2

保守部品


1

※コンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値で代表しています。

オーダーメイド仕様 XLG Series

1139

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A

XLA-16□-X65

154

185

154

（40）

（40）

（40）

55

A




7-2

7-1

i

y








7.5

（MAX13）

ø102

ø132

ø134

0.2

ø102

ø134

108

108

9

92

58

270.5

0.2

twe

u

o

r

q

2-1 KFフランジ

ø102

ø130

Kフランジ


構成部品番号122-1345677-17-289


A6063

SS

SUS




Oリング品番シール材記号無記号 AS568-050V

AS568-050-XN1AS568-050-XP1AS568-050-XQ1AS568-050-XR1AS568-050-XR2AS568-050-XR3AS568-050-XS1AS568-050-XT1AS568-050-XU1


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1


Oリング品番シール材記号無記号 AS568-025V

AS568-025-XN1AS568-025-XP1AS568-025-XQ1AS568-025-XR1AS568-025-XR2AS568-025-XR3AS568-025-XS1AS568-025-XT1AS568-025-XU1


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1

内部シール 7-1 外部シール 7-2


外部シールi


表示記号


XLG Series

オーダーメイド仕様w詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。

OrderMade

1140

バルブ型式




5～60℃（オプション：5～150℃）

0.4～0.6MPaKF100, K1008.3kg

300L/s※ MAX 31.5L/s（計算値）





KM




ABC

変更箇所

7-1 7-2

7-1

7-2


XLG100-30-1H-1 M9NA-XN1


温度範囲5～60℃5～150℃

XLG100-30-1-1XLG100-30-1H-1

品番

保守部品


1K X


5～150℃――H0



KLM



※フランジ：A



種類


2ヶ1ヶ1ヶ

ABC



検出位置



無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

スイッチ


D-A93（M）（L）（Z）

―


無接点

有接点




Kalrez®

Chemraz®


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1


配合No.




記号変更箇所

無記号 1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）

なしABC


1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

外部

r2-1 7-1 i7-2

2-1 7-1

r i7-2



フランジ面左

フランジ面右

フランジ面裏

1

2

3

記号SKLSLMKLM



※フランジ：A

1100XLGR



5～150℃H0

温度範囲


1141

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A

XLA-16□-X65

（40）

200

（40）

（40）

200

65

238

A








ø153

ø188

ø153

ø190

0.2

138

138

ø190

339

124

62

12.5

（MAX13）

7.5

0.2

t

r

w

e

u

o

2-1

q

KFフランジ




i

7-2

7-1

y

Kフランジ

ø153

ø180


構成部品番号122-1345677-17-289


A6063

SS

SUS





N1P1Q1R1R2R3S1T1U1



N1P1Q1R1R2R3S1T1U1

内部シール 7-1 外部シール 7-2 外部シールi


表示記号B2401-G155VB2401-G155-XN1B2401-G155-XP1B2401-G155-XQ1B2401-G155-XR1B2401-G155-XR2B2401-G155-XR3B2401-G155-XS1B2401-G155-XT1B2401-G155-XU1






XLG Series

オーダーメイド仕様e詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。

OrderMade

1142

バルブ型式




5～60℃（オプション：5～150℃）

0.4～0.6MPaKF160, K16015.7kg

800L/s※ MAX 31.5L/s（計算値）





KM



5～150℃H0

温度範囲



ABC

変更箇所

7-1 7-2

7-1

7-2

1K X


5～150℃――H0



KLM



※フランジ：A



種類


2ヶ1ヶ1ヶ

ABC



検出位置



無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

スイッチ


D-A93（M）（L）（Z）

―


無接点

有接点




Kalrez®

Chemraz®


N1P1Q1R1R2R3S1T1U1


配合No.




記号変更箇所

無記号 1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）

なしABC


1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

1.3×10-9（FKM）1.3×10-7

外部

r2-1 7-1 i7-2

2-1 7-1

r i7-2



フランジ面左

フランジ面右

フランジ面裏

1

2

3

記号SKLSLMKLM



※フランジ：A

1160XLGR


XLG160-30-1H-1 M9NA-XN1


温度範囲5～60℃5～150℃

XLG160-30-1-1XLG160-30-1H-1

品番

保守部品




1143

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A

型式表示方法

XLDq w e r t y

M9N A25u


2540506380


ABC




注）サイズ25はH4対応不可

記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－




有接点オートスイッチ



KLM


フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面裏

XLD



N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※




A



例）XLD-25-M9NA-XAN1A




5～150℃



記号無記号

D


適応フランジサイズ25・40・50・63・80

63・80



記号

無記号ABC

変更箇所

なしw,e,r,tw,r,t

e


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

注2）注3）


表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。注3）部品NorSバルブシールAss'yのシール材質変更はサイズ25, 40, 50の

みの適応となります。

XLD・XLDV Series

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動／ベローズシール・Oリングシール



RoHS

1144A


型式表示方法


2540506380


ABC



検出位置－


e電磁弁方向記号

KLM

電磁弁方向フランジ面左フランジ面裏フランジ面右


記号

無記号ABC

なしw,e,r,tw,r,t

e


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9



N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※



表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。注3）部品NorSバルブシ－ルAss'yのシール材質変更はサイズ25, 40, 50の

みの適応となります。



A



例）XLDV-25-M9NA-1G-XAN1A

記号無記号

D


適応フランジサイズ25・40・50・63・80

63・80


XLDVq w y

Ge iur t

M9N AL 125o



無記号なしSZ




XLDV

記号無記号


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//



D-A93（M）（L）（Z）－




有接点オートスイッチ



注2）使用電磁弁

なお、詳細は当社営業へお問合せください。※オプション-Qの場合、使用電磁弁もCE対応品となります。

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ面裏

型　式初期排気弁主排気弁例XLDV-25 V114-1GSXLDV-40･50･63･80

V114SYJ314

V114SYJ314-1GS

変更箇所注2）注3）

※サイズ25の場合Mタイプはありません。



!0CE対応


!0


3

5

AC110V 50/60Hz

DC24V6 DC12V

2 AC200V 50/60Hz

4 AC220V 50/60Hz

－－－－○○

CE対応G グロメット（リード線長さ300mm）HL




アルミニウム製高真空L型バルブ XLD･XLDV Series

1145

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

A

注1）主排気弁のコンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値です。初期排気弁のコンダクタンスは"粘性流"での値です。注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はP.1155共通オプション仕様z加熱用ヒータを参照願います。注3）真空部のシール材摺動部（初期排気弁摺動部）には真空グリース［Y-VAC2］を塗布しております。

弁の形式

使用流体

使用温度　℃




主な材質注3）

表面処理



質量　kg

型式 XLD(V)-25 XLD(V)-40

常時閉（スプリング復帰とシール）［主排気・初期排気弁共］



5～50

1×10-6～大気圧





0.4～0.7［主排気・初期排気弁共］

80

2.5～11

1.8

1.9

XLD(V)-50 XLD(V)-63 XLD(V)-80

XLD

XLDV

XLD

XLDV

XLD

XLDV


14

0.5～3

M5

0.5

0.57

45

2～8

1.2

1.3

160

4～18

3.4

3.5

200

4～18

5.6

5.7

Rc1/8

M5：1（P）, 3（R）ポート


内部

外部

主排気弁

初期排気弁

KF（NW）

XLD･XLDV Series

仕様

1146

固定用Oリングt

Mバルブu（材質：SUS304）　

ボディy（材質：A6063）　

Sバルブi（材質：SUS304）　

ベローズo（材質：SUS316L）　

ベローズホルダ!0（材質：SUS304）　


アジャストナット（外周ローレット加工品）初期排気用バルブ開度調整


Sバルブ摺動用Oリング（材質：FKM）

バルブ側排気

rSバルブシールAss'y（保守部品）※　（材質：SUS304＋シール材）

Sバルブ摺動用Oリング

i r

t




操作ポートS（初期排気弁用）

qボンネットAss'y（保守部品）※　（wrtuio!0含む）

操作ポートM（主排気弁用）


"A"

《作動説明》z初期排気用バルブ開度調整ご使用前に操作ポートSに気圧を加えない状態で初期排気量を調整します。アジャストナットを時計回転で回し続け、軽く回転が停止すると、初期排気量はゼロになります。（工具は使用しないでください）反時計回転で初期排気量を設定します。

x初期排気用バルブ（Sバルブ）開操作ポートSに気圧を加えると、SバルブはSバルブシールAss'yから離脱し、調整した開度まで開きます。XLDVは、1（P）ポートに気圧を常時加えておき、初期排気用電磁弁ONで、調整した開度まで開きます。

c主排気用バルブ（Mバルブ）開操作ポートMに気圧を加えると、Mバルブはボディシート部から離脱し、全開します。XLDVは、1（P）ポートに気圧を常時加えておき、主排気用電磁弁ONで、全開します。

v初期排気用バルブ／主排気用バルブ閉操作ポートSおよび操作ポートMの気圧を抜くことによりSバルブおよびMバルブは復帰し、シールします。XLDVの場合、初期排気用電磁弁および主排気用電磁弁をOFFすることにより、SバルブおよびMバルブは復帰し、シールします。

《オプション説明》オートスイッチ：（主排気弁用）

ヒータ　　　　：

磁石でオートスイッチを作動します。オートスイッチ2ヶで"開閉"、オートスイッチ1ヶで"開"または"閉"の位置を検出します。温度の適用は一般用（5～60℃）のみです。サーミスターを用い簡易的に加熱します。バルブのサイズにより異なりますが、100･120℃にボディを加熱します。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なります。高温仕様の場合、ボンネットAss'yは耐熱構成です。電磁弁付には対応しません。

構造･作動

締付けトルク 0.08N・m（0.8kgf・cm）以下 0.3N・m（3kgf・cm）以下

型式 XLD(V)-25 XLD(V)-40 XLD(V)-50 XLD(V)-63 XLD(V)-80

"A"部ねじ締付トルク

注）初期排気用バルブ開度調整後は軽くロックされているため回転はしません。設定後固定する場合には下表のトルクで締付けてください。（過大なトルクを加えますと、部品破損や異音発生原因となります。）



主排気用電磁弁

1（P）ポート（供給ポート）

XLDV-25

初期排気用電磁弁

XLDV-40～80



プレート

主期排気用電磁弁


アジャストナット回転数 n

初期排気弁のコンダクタンス設定

初期排気弁コンダクタンス

L/s（粘性流）

00

10

5

20

25

30

15

0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5 5.5 6 6.5 7

XLD-63XLD-80

XLD-40

XLD-50

XLD-25



1147

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XLD／エアオペレートタイプ



型式

XLD-25XLD-40XLD-50XLD-63XLD-80

A50

65

70

88

90

B123

170

183

217

256

C 48

66

79

100

117

D1

2

2

3

3

12

11

11

11

11

Fn 40

55

75

87

114

Fd－

－

－

95

110

G26

41

52

70

83

H(mm)

41

63

68

72

98

J16

20

20

20

20

K 7.5

15

17.5

20

26.5

E

XLD･XLDV Series

外形寸法図

S

M

C

ECイ

ハヒータ（オプション）


øF


D

E

A

B

A

øG

JK

H

ロ

（Kフランジ）

øF

d

1148

XLDV-25／電磁弁付

型式 A B C Fn G M N(mm)

KXLDV-40XLDV-50XLDV-63XLDV-80

65

70

88

90

170

183

217

256

66

79

100

117

55

75

87

114

－

－

95

110

41

52

70

83

48.5

55

66.5

75

53.5

57.5

72.2

82.6

15

17.5

20

26.5

Fd

XLDV-40～80／電磁弁付 C

C

M

øF


øG

A

B

A


N5.5

M5 1（P）ポート（加圧ポート）

8.58.5



M5 3（R）ポート（排気ポート）

E

C

VLAV

MUU

AV HG

I H

88.5

（38.5）

41.5

3.5

8.52.257.6

55.4

48

74

48



（ACの場合）

（DCの場合）

M5 1（P）ポート（加圧ポート）

M5 3（R）ポート（EXH）（排気ポート）

K

（Kフランジ）

øF

d

注）なお、詳細は当社営業へお問合せください。

（KFフランジ）

ø40

49.4

21

7.5 MAX

123

50

50

ø26


外形寸法図

1149

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL


16254050

wヒータの有無

記号

無記号H4H5

ヒータの有無

－100℃用ヒータ付120℃用ヒータ付

●－－

●－●

●●●

●●●

適応フランジサイズ25 40 5016

型式表示方法

XLHq w e

16高真空L型手動バルブ　　　　　　（ベローズシール）

XLH


記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe


1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

eボディ表面処理／シール材質およびシール箇所の変更


N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1


Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※






A



例）XLH-16-XAN1A

仕様

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はP.1155共通オプション仕様z加熱用ヒータをご参照ください。

型式 XLH-16 XLH-25


5～150

1×10-6～大気圧

標準材質（FKM）の場合　1.3×10-10常温時・ガス透過を除く

標準材質（FKM）の場合　1.3×10-11常温時・ガス透過を除く

KF（NW）



XLH-40 XLH-50

使用流体

使用温度　℃




主な材質

表面処理

操作トルク　N･m

ハンドル回転数

質量　kg

内部

外部

5

0.1≦

5

0.23

14

0.15≦

7

0.41

45

0.35≦

10

1.05

80

0.5≦

13

1.62


XLH Series

アルミニウム製高真空L型バルブ手動／ベローズシール

RoHS


1150

型式

XLH-16XLH-25XLH-40XLH-50

A40

50

65

70

B100.5

114

162.5

179.5

C38

48

66

79

D1

1

2

2

(mm)

G17

26

41

52

H35

41

57

70

F30

40

55

75

－

12

11

11

E注1）



《オプション説明》《作動説明》ハンドルを左に回転させることにより、バルブは開きます。ハンドルは上下しませんがインジケータでバルブの開閉位置を表示します。ハンドルを右に回転させるとバルブは閉じる方向に進み、ハンドルの回転力が急に感じなくなった所で、バルブがシールします。バルブのシール力はスプリングで行い一定です。

ヒータ　　　：

インジケータ：

C

ECイ

Dロ

E

E

ハ

øF

A

B

A

øH

øG

サーミスターを用い簡易的に加熱します。バルブのサイズにより異なりますが、100･120℃にボディを加熱します。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なります。バルブ開で銘板中心の面付近に、オレンジ色のマークを目視できます。

バルブ側排気


※ハンドルAss'y（保守部品）q（wtyu含む）　

インジケータ








アルミニウム製高真空L型バルブ XLH Series

構造･作動

外形寸法図

※保守部品につきましてはP.1161をご参照ください。

1151

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

高真空L型バルブ（ベローズ圧力バランス･電圧2段切り換え型）　　　　　　　

バルブのサイズ

制御電源の有無

1625

KF16KF25

12

AC100VAC200V

5 DC24VP 制御電源付

電圧

G グロメットリード線取出し方法

D DIN形ターミナルT ターミナルC コンジットG グロメットリード線取出し方法

制御電源なしの場合

制御電源付の場合

起動電圧

警告q制御電源なし（XLS-25-□□：DC24- 48-100V）の場合は、起動電圧（コイル裏面に表示）印加方法に従い、0.15～0.2sのみ起動電圧を印加してください。起動電圧を連続印加しますとコイルの焼損または火災発生の原因になります。保持電圧は起動電圧の25%で行います（ソレノイドコイル裏面に印加方式記載）。

起動電圧

例)

電圧 DC6V

0.15～0.2 時間　s

DC24V

保持電圧

注）DC100Vの場合は、DIN形ターミナル（D）のみ対応可。

型式表示方法

Q注） CE対応品無記号 ―CE対応

XLS Series

アルミニウム製高真空L型バルブ電磁式　ベローズ圧力バランス

RoHS

XLS — 25 — P 　1 G

XLS — 25 — 5 G —

注）制御電源付の場合CE対応品はありません。

5 DC24V注1）保持電圧は起動電圧の25％です。注2）その他の定格電圧（DC48V・DC

100V）につきましては当社にご確認ください。

1152

《作動説明》XLS-□-□□（制御電源無し）コイルAss'yに起動電圧を約0.15～0.2s通電することで、バルブoが開きます。その後起動電圧の25％で保持します。起動電圧は0.3s以上加えないでください。コイル焼損原因となります。コイルAss'yへの通電が解除されますとバルブoは閉じます。

XLS-□-P□G（制御電源つき）コイルAss'yに定格電圧を印加しますと、バルブo

が開きます。コイルAss'yへの通電が解除されますと、バルブoは閉じます。

・圧力バランス構造のため、排気方向は自由です。

バルブ側排気


型式 XLS-16 XLS-25 XLS-16-P□G

なしDC24/6・48/12・100/24V

G,C,D,T タイプ

ありDC24V　AC100・200V

Gタイプのみ

XLS-25-P□G弁の形式使用流体使用温度　℃使用圧力　Pa（abs）コンダクタンス　L/s注1）

フランジの種類・サイズ主な材質注2）

表面処理制御電源の有無使用電源電圧許容電圧変動　%リード線取出しコイル絶縁の種類最高作動頻度　Hz質量　kg

内部外部


5

KF16

0.4

8

KF25

0.7

5

KF16

0.7

8

KF25

1.0

常時閉（N.C.）不活性ガス系の真空

5～400.1MPa（G）～1×10-6（abs）

1.3×10-8常温時・ガス透過を除く1.3×10-11常温時・ガス透過を除く

本体：アルミ合金　　要部：ステンレス、PFA、FKM（標準シール材）外部：硬質アルマイト　　内部：素地

±10

B種0.17

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。注2）真空部のバルブシート部には真空グリース［Y-VAC3］を塗布しております。

電力／電圧

型式起動

電力（W）電流（A）電力（W）電流（A）保持

XLS-16-

XLS-25-

□G/C/D/T, P5G

P1G

P2G

□G/C/D/T, P5G

P1G

P2G

0.380.350.270.110.100.5 0.460.360.150.12

4.814.810 4.9 2.3 5.320 13.5 6.7 3.0

1.5

0.47

0.24

2.0

0.62

0.35

36

30.5

30

47

42

45

50Hz60Hz50Hz60Hz

50Hz60Hz50Hz60Hz

定格電圧印加時

qリティナ

wコイルAss'y（保守部品）※

yコアAss'y（保守部品）※

rアーマチャAss'y（保守部品）※（uio含む）

tカバー

oバルブ

!0ボディ

e-zコアOリング（保守部品）※

e-xボンネットOリング（保守部品）※外部シール}

iベローズ

uスプリング

制御電源内蔵部


アルミニウム製高真空L型バルブ XLS Series

仕様

構造･作動

1153

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XLS／制御電源なしの場合

XLS／制御電源付の場合

A(mm)

型式

40

50

40

50

B104

96

128.5

121.5

120.5

121.5

96

121.5

C D

38

48

38

48

E

30

40

30

40

F

35

40

35

40

G

17

26

17

26

J

23

25.5

23

25.5

K－

41

60

95

－

43

63

97

87

89.5

L－

－

48

62

－

－

51

66

66.5

69

M25.5

－

－

－

28

－

－

－

－

－

XLS-16-□GXLS-16-□CXLS-16-□DXLS-16-□TXLS-25-□GXLS-25-□CXLS-25-□DXLS-25-□TXLS-16-P□GXLS-25-P□G

113

129

138.5

154.5

113

138.5

G1/2øG

270±10

L

F

DIN形ターミナル（D）

G1/2

ø6～9

CB

39

J KL

ターミナル（T）コンジット（C）グロメット（G）

530±10

72

41

26

C

B

JK

□□□VINPUTOPERATION

33

CB

G1/2

25

LJ K±2

BC

KJ

øE

D

D

A

AB C

290±10MJ

グロメット（G）

XLS Series

外形寸法図

1154

XL□ Series

共通オプション仕様1 加熱用ヒーターバルブ加熱用ヒーターはXLA･XLC･XLD･XLF･XLG･XLHすべて共通です。下表には消費電力の仕様を示します。

項目

ヒーター定格電圧 AC90～240V

ヒーター Ass'y使用数ヒーター電力　Ｗ（公称値）突入電力／消費電力（オプション記号・使用電圧）

XL□-25

－

－

－

1個

200/40

800/40

XL□-40

1個

200/40

800/40

1個

400/70

1600/80

XL□-50

1個

200/50

800/50

1個

400/80

1600/80

XL□-63

1個

400/100

800/100

1個

600/130

2400/130

XL□-80

1個

600/150

2400/150

2個

800/180

3200/180

XL□-100

2個

800/220

3200/220

3個

1200/300

4800/300

XL□-160

3個

1200/350

4800/350

4個

1600/400

6400/400

ヒーター Ass'y数

ヒーター Ass'y数

100V

200V

100V

200V

H4100°C

H5120°C

※ヒーターの突入電流は100V使用時に数十秒、200V使用時には数秒流れますが暫時減少します。※ヒーターAss'yを複数使用しているバルブでは突入電流が大きいため、各ヒーターAss'yへの電源投入を同時に行わず、30秒程度間をあけて順次投入してください。※数量／タイプの詳細につきましては保守部品P.1161をご参照ください。

突入電流の流れる時間（目安）

0 5 1510 20 25 30時間(秒）

200V

100V

電流

1155

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

1 シール材

3 応答時間･作動時間

弁開操作用電磁弁へ電圧印加後バルブ（XL□）のストロークが、90%移動するまでの時間を弁開応答時間、弁開作動時間はストローク開始から90%移動する時間を示します。両者とも操作圧力が高いほど早くなります。

弁閉操作用電磁弁への電源を切ってからバルブ（XL□）のストロークが、90%復帰するまでの時間を弁閉応答時間、弁閉作動時間は弁開から90%復帰するまでの時間を示します。両者とも操作圧力が高いほど遅くなります。

XL□ Series

用語解説

記載内容は一般的な特徴であり、プロセス条件により変わります。詳細はシール材メーカーにお問合せください。

FKM（フッ素ゴム）ガス放出・圧縮永久歪・ガス透過量も少なく高真空用シール材質として普及しています。SMC高真空L型弁の標準材質は、三菱電線工業（株）製（配合No 1349-80）を使用。O2プラズマによる重量減少率を改善した配合（3310-75）もあり、用途により選定することが望ましい。

Kalrez®（カルレッツ®）デュポンエラストマー社の登録商標です。耐熱性・耐薬品性が優れたパーフロロエラストマー（FFKM）ですが、圧縮永久歪につきましては注意が必要です。耐プラズマ性（O2,CF4）を改善した配合や耐ダスト改善品もあり、用途により種類を選定することが望ましい。配合No 4079：優れた耐ガス性・耐熱特性を有する標準カ

ルレッツ材料。

Chemraz®（ケムラッツ®）グリーン,ツイードアンドカンパニー社の登録商標です。耐薬品性・耐プラズマ性に優れたパーフロロエラストマー（FFKM）。耐熱性もFKMよりやや高くなります。使用されるプラズマやその他の条件により選定することが望ましい。配合No SS592：優れた物理特性を持ち、特に運動部での使

用に効果的。配合No SS630：固定部・運動部どちらにも使用でき、幅広

い用途に対応。配合No SSE38：高密度プラズマ装置用に開発された、ケム

ラッツ®の中で最もクリーン度が高い材質。

Barrel Perfluoro®（バーレルパーフロ®）松村石油（株）の登録商標です。配合No 70W：金属充填材を含まないパーフロロエラストマ

ー（FFKM）。NF3・NH3に耐性あり。ドライプロセス環境下でパーティクルの発生が少なく、圧縮永久歪も比較的少ない。

ULTIC ARMOR®（アルティックアーマー®）日本バルカー工業（株）の登録商標です。金属充填材を含まないフッ素系ゴム。耐プラズマ性・低放出ガス特性・耐熱性を付与したシール材質。

Silicone（シリコーンゴム, VMQ）比較的安価で耐プラズマ性が良いが、ガス透過が大きくなります。SMC高真空L型弁（シール材オプション）では、三菱電線工業（株）製（配合No 1232-70 白）を使用。O2プラズマ・NH3ガスに対して、低重量減少率・低パーティクル特性を持つ。

EPDM（エチレンプロピレンゴム）比較的安価で耐候性・耐薬品性・耐熱性に優れるが一般の鉱油には全く耐性が無い。SMC高真空L型弁（シール材オプション）では、三菱電線工業（株）製（配合No 2101-80）を使用。NH3ガスなどに耐性を有する。

2 軸シール方法

ベローズダストの発生およびガス放出が最も少なく、クリーンなシール方式です。主流は成型ベローズと溶接ベローズ。前者はダスト発生が少なく比較的ダストに強く、後者はストロークは大きくとれるが、ダスト発生とダストに弱い面があります。耐久性はストロークと速度にも左右されるので注意してください。

Oリング等ガス巻込み、ダスト発生など真空性能はベローズ式よりやや劣りますが、高速作動が可能で比較的耐久性が高くなります。軸シール部には一般的にフッ素系グリースが塗布されております。

1156

表面リークシール面とシール材表面の接触面からのリークで、弾性体シール（エラストマー）の場合は試験後数分以内の値を示します。温度は20～30℃での値で通常のリーク量です。

ガス透過弾性体シール材の内部を拡散してリークとなり、温度が高い程透過量は増大し表面リークより大きくなる場合が多くなります。透過量はシールの断面積（cm2）に比例し、シール幅（大気と真空側の距離）に反比例します。金属ガスケットの場合は水素の拡散以外は考慮不要です。

5 Heリーク

活性化エネルギー（E）が小さく吸着時間（τ）の短い、酸素窒素などは早く排気されますが、活性化エネルギーの大きい水の場合は排気が進まず、温度（絶対温度 T）を上げ吸着時間を短くして早く排気させます。Rがガス定数、τ0=（約）10-13secで、τ=τ0 exp（E/RT）となります。例えば水の吸着時間は20˚Cでは5.5×10-6secで、150℃では2.8×10-8secで約1/200になり、特に吸着時間の長い水を早く排気させる事が目的です。

9 ベーキング

4 分子流コンダクタンス

孔のコンダクタンス極薄板にøA（cm2）の孔がある場合のコンダクタンス"C"は、Vを気体の平均速度 Rはガス定数 Mは分子量 Tを絶対温度とした場合C=VA/4=（RT/ 2πM）0.5Aとなり、20℃の空気の場合は、コンダクタンスC=11.6A（L/sec）となります。

円筒のコンダクタンス長さL（cm）直径D（cm）でL≫Dの場合、C=（2πRT/M）0.5D3/6Lから、20℃の空気の場合は、コンダクタンス C=12.1 D3/L （L/sec）となります。

短い管のコンダクタンス下図（クラウジング係数の図）のクラウジング係数Kと孔のコンダクタンスCから、短い管のコンダクタンスCKを簡易的に求めると、CK=KCとなります。

コンダクタンスの合成それぞれのコンダクタンスをC1 C2・・・ Cnとした場合の合成コンダクタンスΣCは、　　直列配管の場合　 ΣC=1/（1/C1+1/C2+・・・ +1/Cn）　　並列配管の場合　 ΣC=C1+C2+・・・ +Cnとなります。

A cm2

金属などの表面や極浅い内部に付着や吸着しているガスが、圧力の低下と共に表面から離脱し真空中に飛出す現象です。表面の滑らかさや酸化膜の緻密さにより低減します。

6 ガス放出

ガス放出Qgとリーク量Q（L）の和をQ（Pa・m3/s）、排気速度S（m3/s）の場合の到達圧力P（Pa）は、P=Q/Sとなります。到達圧力は上記、Qg Q（L）Sの外にポンプ自身の到達圧力から定まり、圧力が低い場合は、ポンプ自身の排気特性が大きく左右します。ポンプ自身の汚れによる排気特性の低下、大気リークによる水の侵入は特に影響が大きくなります。

7 到達圧力

8 排気時間（低･中真空）

リークのない容積V（L）のチェンバを排気速度S（L/sec）のポンプで、圧力P1からP2へ排気する時間（∆t）は容積のみが排気負荷となり、∆t=2.3（V/S）log（P1/P2）となります。高真空の場合は表面層（ガス放出）からの排気負荷となり、チェンバの表面状態と表面積およびポンプの排気速度との勝負となります。

V

SP1→P2

10.950.90.850.80.750.70.650.60.550.50.450.40.350.30.250.20.150.10.0500.1

L/D図1 クラウジング係数

1 10

K

K

用語解説

1157

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XL Series製品個別注意事項qご使用の前に必ずお読みください。

　注意¡全体共通q高湿度の雰囲気の場合は、配管直前まで梱包状態を維持してください。

wスイッチ付および電磁弁付の場合は、リード線に充分な曲率をもたせ、無理な力が加わらない状態で固定してください。

eフランジ部に過大な力が加わらないように配管してください。重量物や取付け品が振動する場合は、フランジに直接トルクがかからないように固定してください。

取付

　注意qフランジシール面およびOリングは、エタノールなどでクリーニングしてから取付けてください。

wフランジシール面保護のため0.1～0.2mmの凹になっていますが、シール面に傷などが付かないように取扱ってください。

e排気方向動作上、排気方向は自由ですが、排気による流れが生ずる場合には耐久性は低下する場合があります。下図排気方向（ベローズ側排気）を推奨します。使用条件により寿命は異なりますので、充分な確認をお願いいたします。

配管

　警告¡全体共通qボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。　真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型式表示方法確認ください）の選択が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。

w操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適したものを選定してください。

¡オートスイッチ付／XLA(V)･XLC(V)･XLD(V)･XLF(V)･XLG(V)qスイッチ部の温度は60℃以下にしてください。

¡ヒータ付／XLA･XLC･XLD･XLF･XLGqヒータ（サーミスター）付をご使用の場合は、温度過昇防止機構を設置してください。

¡電磁弁付／XLAV･XLCV･XLDV･XLFV･XLGVq電磁弁付の場合は、電磁弁部の温度を50℃以下にしてください。

設計上のご注意

L型エアオペレートバルブ／XLA(V)･XLC(V)･XLD(V)･XLF(V)･XLG(V)シリーズ

選定

　注意¡全体共通qフラットパネルディスプレー用製造装置など大型装置の主排気ラインに使用される高真空バルブにおいて、より耐久性を向上させるためOリングシール方式のXLF（V）・XLG（V）シリーズを推奨します。。

wバルブの応答性を管理する場合は、配管サイズと長さおよび操作用電磁弁の流量特性にご注意ください。

e操作圧力は規定内でご使用ください。0.4～0.5MPaを推奨します。

r使用圧力範囲内でご使用ください。

t作動用ピストン室およびベローズ室［XLF（V）・XLG（Ｖ）は除く］は大気と直接接続しています。ダストの排出に対し、問題のない環境下でご使用ください。（ダストの放出を避ける必要がある場合には、当社へご確認ください。）

¡高温タイプ／XLA･XLC･XLD･XLF･XLGqデポジットの多いガスの場合は、ボディを加熱するかヒータ付を使用し、バルブへのデポジットを防止してください。

　注意r誤作動しない耐振動は30m/s2（45～250Hz）となっておりますが、振動が継続する場合には耐久性低下の恐れがあります。過大な振動や衝撃が加わらないよう配管してください。

¡高温タイプ（XLA･XLC･XLD･XLF･XLG／型式　温度仕様／H0 H2 H3）qヒータ（サーミスター）付の場合は、リード線および結線部の絶縁部分に損傷を与えないようにご注意ください。

wヒータ付の設定温度は、無風状態で保温材なしでの目安です。保温処理、他の配管の加熱などの条件により変化します。微調整はできません。

eヒータ取付品の設置またはヒーターを取付けた場合は、実際の使用温度で絶縁抵抗を確認してください。漏電ブレーカーなどの設置を推奨します。

rバルブを保温する場合は、ボンネット部を除きボディ部のみを保温してください。

tヒータ付の場合、ヒータ加熱中は、バルブ全体が高温になります。素手で触ると火傷をしますのでご注意ください。

取付

チャンバ

真空ポンプ

ベローズ側

バルブ側

推奨排気方向［ベローズ側に真空ポンプ接続］

1158

XL Series製品個別注意事項wご使用の前に必ずお読みください。

　注意qデポジットを除去する場合は、各部品に傷を付けないようにしてください。

w耐久回数に近づいた場合は、ハンドルAss'y部を交換してください。

e耐久回数前でも損傷が予想される場合は、早めに保守と点検をしてください。

r保守部品は当社規定品をご使用ください。構造図／交換部品／保守部品表をご参照ください。

tシール材（バルブ・外部）を外す際は、シール面に傷を付けないように充分ご注意ください。バルブシールの装着時は、Oリングのねじれがないように取付けてください。

保守点検

　警告qボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型式表示方法確認ください）の選択が可能です。使用材質を確認の上、支障のない流体をご使用ください。

wヒータ（サーミスター）付をご使用の場合は、温度過昇防止機構を設置してください。


　注意q使用圧力範囲内でご使用ください。

wデポジットの多いガスの場合は、ボディを加熱するかヒータ付を使用しバルブへのデポジットを防止してください。

選定

L型手動バルブ／XLHシリーズ

　注意qヒータ（サーミスター）付の場合は、リード線および結線部の絶縁部分に損傷を与えないようにご注意ください。

wヒータ付の設定温度は、無風状態で保温材なしでの目安です。保温処置、他の配管の加熱などの条件により変化します。微調整はできません。

eヒータ取付品の設置またはヒータを取付けた場合は、実際の使用温度での絶縁抵抗を確認してください。漏電ブレーカまたはヒューズを設置してください。

rバルブを保温する場合は、ハンドル部を除きボディのみを保温してください。

t高湿度の雰囲気の場合は、配管直前まで梱包状態を維持してください。

yヒータ付の場合、ヒータ加熱中はバルブ全体が高温になります。素手で触ると火傷をしますのでご注意ください。

uフランジ部に過大な力が加わらないように配管してください。重量物や取付品が振動する場合は、フランジに直接トルクがかからないように固定してください。

取付

　注意qフランジのシール面およびOリングは、エタノールなどでクリーニングしてから取付けてください。

wフランジのシール面保護のため、0.1～0.2mmの凹になっていますが、シール面に傷などが付かないように取扱ってください。アウターリングご使用の場合は、Oリングに充分なツブシ代のある事を確認してください。（アウターリングでも基本的には問題ありません。）

配管

L型エアオペレートバルブ／XLA(V)･XLC(V)･XLD(V)･XLF(V)･XLG(V)シリーズ

　注意qデポジットを除去する場合は、各部品に傷を付けないようにしてください。

w耐久回数に近づいた場合は、ボンネットAss'y部を交換してください。

e耐久回数前でも損傷が予想される場合は、早めに保守と点検をしてください。

　注意r保守部品は当社規定品をご使用ください。構造図／交換部品／保守部品表をご参照ください。

tシール材（バルブ・外部）を外す際は、シール面に傷を付けないように充分ご注意ください。バルブシールの装着時は、Oリングのねじれがないように取付けてください。

保守点検保守点検

1159

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XL Series製品個別注意事項eご使用の前に必ずお読みください。

　警告qボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部金属材質は13Crステンレス、SUS304、A2017、シール材はFKMです。また真空部のアーマチャ Ass'yにはフッ素系樹脂（PFA）を使用しております。真空部のバルブにはフッ素系グリースを塗布しております。使用材質を確認の上、支障のない流体をご使用ください。

w操作電源なしの場合は、起動電圧は0.15～0.2sのみ印加し、その後は必ず保持電圧（起動電圧の25％）を印加してください。怠りますとコイル焼損、火災などの原因になります。

e電源供給回路には必ずヒューズまたは漏電ブレーカーを設置してください。


　注意q使用圧力範囲内でご使用ください。

選定

　注意q高湿度の雰囲気の場合は、配管直前まで梱包状態を維持してください。

wリード線に充分な曲率をもたせ、無理な力が加わらない状態で固定してください。

DIN形ターミナルコネクタの取出口変更要領ターミナルブロックとハウジングを分離した後、ハウジングを任意の方向（90°ごとに4方向）に組付けることによりケーブル取出口を変更できます。

取付

L型電磁弁／XLSシリーズ

　注意　qフランジシール面およびOリングは、エタノールなどでクリーニングしてから取付けてください。

wフランジはシール面保護のため0.1～0.2mmの凹になっていますが、シール面に傷などが付かないように取扱ってください。アウターリングご使用の場合は、Oリングに充分なツブシ代のある事を確認してください。（アウターリングでも基本的には問題ありません。）

配管

　注意　q耐久回数に近づいた場合は、コアおよびアーマチャ Ass'y部を交換してください。

w耐久回数前でも損傷が予想される場合は、早めに保守と点検をしてください。

e保守部品は当社規定品をご使用ください。詳細はP.1161の保守部品をご参照ください。

保守点検

1160A

XL Series製品個別注意事項rご使用の前に必ずお読みください。

保守部品

L型エアオペレートバルブ・手動バルブqシール材の材質変更を行う場合にはボンネットAss'yもしくはハンドルAss'yにて交換してください。ご使用されている製品のシール材質と異なる場合には、適用できない場合があります。

注意ボンネットAss'y ハンドルAss'y

交換用ヒータ

表1　シール材質追記号

注5）ご使用されている製品のシール材質と異なる場合には、シール材質のみの変更では適応できない場合があります。＊三菱電線工業（株）製

記号シール材質配合No.

EPDM2101-80＊

-XN1Barrel Perfluoro®

70W

-XP1Kalrez®

4079

-XQ1

SS592Chemraz®

-XR1

SS630

-XR2

SSE38

-XR3VMQ

1232-70＊

-XS1FKM for Plasma3310-75＊

-XT1ULTIC ARMOR®

UA4640

-XU1

L型電磁弁

コイルAss'yコアー Ass'yアーマチャAss'yOリングOリング

品名wyre-1e-2

構造部品番号 XLS-16-□□※XLS16-20-□G･C･T･D

XLS-16-P□□※XLS16-20-P□G

XLS-25-□□※XLS25-20-□G･C･T･D

XLS-25-P□□※XLS25-20-P□G

XLS16-30-1XLS16-30-2AS568-018VAS568-025V

XLS25-30-1XLS25-30-2AS568-018VAS568-030V

外部シール／（M）バルブシール／SバルブシールAss'y

注3）シール材質が標準（FKM：配合No.1349-80：三菱電線工業（株）製）以外の場合は、シール材質追記号（下表1参照）を品番末尾（□の箇所）に付けてください。注4）構造部品番号につきましては各シリーズの構造図を確認ください。

バルブサイズ材質型式品名

構造部品番号標準特殊標準特殊標準特殊

標準

特殊

外部シールe

外部シールe

バルブシールw

SバルブシールAss'yr

XLA（V） XLC（V）XLD（V） XLHXLF（V）XLG（V）

各型式共通

XLD（V）

16AS568-025VAS568-025□XLF16-6－

B2401-V15VB2401-V15□

－

－

25AS568-030VAS568-030□XLF25-6－

B2401-V24VB2401-V24□

AS568-009V

AS568-009□

40AS568-035VAS568-035□AS568-035VAS568-035□B2401-P42VB2401-P42□XLD40-2-9-1AAS568-016VXLD40-2-9-1A□AS568-016□

XLD50-2-9-1AAS568-016VXLD50-2-9-1A□AS568-016□ XLD63-2-9-1A□ XLD80-2-9-1A□

50AS568-039VAS568-039□AS568-039VAS568-039□AS568-227VAS568-227□

63AS568-043VAS568-043□AS568-043VAS568-043□AS568-233VAS568-233□

XLD63-2-9-1A

80AS568-045VAS568-045□AS568-045VAS568-045□B2401-V85VB2401-V85□

XLD80-2-9-1A

100－－

AS568-050VAS568-050□AS568-349VAS568-349□

－

－

160－－

AS568-167VAS568-167□B2401-G155VB2401-G155□

－

－

注1）バルブシール材質が標準（FKN：配合No.1349-80：三菱電線工業（株）製）以外の場合は、シール材質追記号（下表1参照）を品番末尾に付けてください。注2）オートスイッチ用磁石は装着しておりません。オートスイッチ用磁石付の場合、-M9//を品番末尾に付けてください。（高温用にはありません）注3）オートスイッチや電磁弁は付属しておりません。オートスイッチや電磁弁のセットで必要な場合には、製品型式表示のオートスイッチ以降の記号を品番末尾に付けてください。

ボンネットAss'y／ハンドルAss'y構造部品番号q

バルブサイズインジケータ型式温度仕様

一般用

高温用

一般用

一般用高温用一般用

一般用

高温用

一般用

一般用高温用一般用一般用高温用一般用標準

16XLA16-30-1XLA16A-30-1XLA16-30-1HXLA16A-30-1HXLAV16-30-1XLAV16A-30-1XLC16-30-1XLC16-30-1HXLCV16-30-1XLF16-30-1XLF16A-30-1XLF16-30-1HXLF16A-30-1HXLFV16-30-1XLFV16A-30-1

－

XLG16-30-1XLG16-30-1HXLGV16-30-1XLH16-30-1

25XLA25-30-1XLA25A-30-1XLA25-30-1HXLA25A-30-1HXLAV25-30-1XLAV25A-30-1XLC25-30-1XLC25-30-1HXLCV25-30-1XLF25-30-1XLF25A-30-1XLF25-30-1HXLF25A-30-1HXLFV25-30-1XLFV25A-30-1XLD25-30-1XLD25-30-1HXLDV25-30-1XLG25-30-1XLG25-30-1HXLGV25-30-1XLH25-30-1

40XLA40-30-1XLA40A-30-1XLA40-30-1HXLA40A-30-1HXLAV40-30-1XLAV40A-30-1XLC40-30-1XLC40-30-1HXLCV40-30-1XLF40-30-1XLF40A-30-1XLF40-30-1HXLF40A-30-1HXLFV40-30-1XLFV40A-30-1XLD40-30-1XLD40-30-1HXLDV40-30-1XLG40-30-1XLG40-30-1HXLGV40-30-1XLH40-30-1

50XLA50-30-1XLA50A-30-1XLA50-30-1HXLA50A-30-1HXLAV50-30-1XLAV50A-30-1XLC50-30-1-1XLC50-30-1H-1XLCV50-30-1XLF50-30-1XLF50A-30-1XLF50-30-1HXLF50A-30-1HXLFV50-30-1XLFV50A-30-1XLD50-30-1XLD50-30-1HXLDV50-30-1XLG50-30-1-1XLG50-30-1H-1XLGV50-30-1XLH50-30-1

63XLA63-30-1XLA63A-30-1XLA63-30-1HXLA63A-30-1HXLAV63-30-1XLAV63A-30-1XLC63-30-1-1XLC63-30-1H-1XLCV63-30-1XLF63-30-1XLF63A-30-1XLF63-30-1HXLF63A-30-1HXLFV63-30-1XLFV63A-30-1XLD63-30-1XLD63-30-1HXLDV63-30-1XLG63-30-1-1XLG63-30-1H-1XLGV63-30-1

－

80XLA80-30-1XLA80A-30-1XLA80-30-1HXLA80A-30-1HXLAV80-30-1XLAV80A-30-1XLC80-30-1-1XLC80-30-1H-1XLCV80-30-1XLF80-30-1XLF80A-30-1XLF80-30-1HXLF80A-30-1HXLFV80-30-1XLFV80A-30-1XLD80-30-1XLD80-30-1HXLDV80-30-1XLG80-30-1-1XLG80-30-1H-1XLGV80-30-1

－

100－－－－－－－－－

XLF100-30-1XLF100A-30-1XLF100-30-1HXLF100A-30-1HXLFV100-30-1XLFV100A-30-1

－－－

XLG100-30-1-1XLG100-30-1H-1

－－

160－－－－－－－－－

XLF160-30-1XLF160A-30-1XLF160-30-1HXLF160A-30-1HXLFV160-30-1XLFV160A-30-1

－－－

XLG160-30-1-1XLG160-30-1H-1

－－

無有無有無有無無無無有無有無有

標準

無無無標準

XLA

XLAV

XLC

XLCV

XLF

XLFV

XLD

XLDV

XLG

XLGVXLH

注1）コイルAss'yの場合、□※の箇所に電圧記号を付けてください。□※後のGはグロメット、Cはコンジット、Tはターミナル、DはDINを示します。

注2）構造部品番号につきましては構造図を確認ください。

例）XL□-80-H5の交換用ヒータの場合、XLA25-80S-2が2セット必要となります。

バルブサイズ25

温度仕様

－XLA25-60S-1

40XLA25-60S-1XLA25-60S-2

50XLA25-60S-1XLA25-60S-2

63XLA25-60S-2XLA25-60S-3

80XLA25-60S-3

XLA25-60S-2（2セット）

100XLA25-60S-2（2セット）XLA25-60S-2（3セット）

160XLA25-60S-2（3セット）XLA25-60S-2（4セット）

H4（100℃用ヒータ）H5（120℃用ヒータ）

1161

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XL

XL Q - SMC...

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