CLEAN ROOM ソリューションカタログ · 0.4 0.3 0.2 0.1 0 0 1.2 2.4 3.6 4.4 5.6 6.8 8.0 9.2...

23 24C L E A N R O O MC L E A N R O O M

装置用 F F U

Field

1

装置用FFUの特長

機能・特長から選ぶ風量・風速から選ぶ

特長1 薄型

限られたスペースへの設置を考慮して業界最高レベルの薄型を実現（MIN115mm)

特長3 RoHS・CE・SEMI準拠

海外への輸出対応のため各種規格に準拠。また輸出貿易管理令該非判定（自主判定書）も発行可能

特長4 アウトガス対策

本体、吹出口、フィルタ、シール材など構成部材を厳選しアウトガス発生を低減

特長5 通信機能

DCブラシレスモータの優れた制御性を最大限に引き出すため、通信によりモータを可変速し風量制御が可能

特長2 省エネ・風量可変

全シリーズDCブラシレスモータを採用、モータの可変速により最適風量で省エネ運転が可能。従来型FFUと比較して約30%の消費電力低減（当社比）を実現

機能と特長、また風量で最適な答えを探せる

装置用FFUF i e l d 1

装置用FFUは製造装置に付帯するため、製造装置の一部として様々な機能が求められます。当社の装置用FFUはお客様の様々な要望を具現化します。

耐熱（超薄型）

耐熱（高風速型）

ケミカル

F-Stage（HEPA t=50mm）

F-Stage（HEPA t=40mm）

F-Cube-N（ULPA）

F-Cube-N（HEPA）

風速[m/s]

風量[CMM]

シリーズ

F-Cube-N

F-Stage

耐熱FFU（超薄型）

耐熱FFU（高風速型）

ケミカルFFU

機能・特長厚　さ規　格

0.9

0.8

0.7

0.6

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

00 1.2 2.4 3.6 4.4 5.6 6.8 8.0 9.2 10.4 11.6 12.8 14.0 15.2 16.4 17.6 18.8 20 21.2

P.25

P.27

P.27

P.28

WLFG

WLFH

WLFI

WLFJ

WLFK

F-Adjust

P.29　

ＷＬＦＬ

RoHSCE※3

RoHS（オプション）

RoHS

RoHS

-

-

製造中止

製造中止

※1 即納とは注文後、1週間程度です　※2 フィルター高さ含まず

115mm※2

150mm

105mm

190mm

230mm

170mm※2

1φ200V・3φ200V即納対応※1

フィルタ選択可能

1φ100V即納対応※1通信機能

高温環境（50℃）アウトガス対策

高温環境（50℃）アウトガス対策風速0.65m/s

ケミカルフィルタ搭載アウトガス対策通信機能

1φ220V風量30CMM通信機能NEW


装置用 F F U

Field

1

F-Cube-N 1Φ100V 一般コンセントで使用可能なコンパクトFFU

WLF H 40 U D

外形寸法図

標準付属品オプション型式説明例

状態電源OFF異常時正常時

出力××○

［○:導通,×:非導通］

記号UH

フィルタULPA（標準）HEPA※1

記号-PDKACHTV

オプション※2なし

プレフィルタ差圧計＋ピトー管ピトー管のみ異常信号出力天吊金具（4個）水平金具

FFU監視システム※31φ200V※1 HEPA仕様はサイズ61 および122のみ対応

※2 オプションを複数選択時は並記ください。※3 F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。

フィルタ内蔵構造高性能ULPAフィルタを内蔵しており高精度なクリーン環境を実現。フィルタ面は保護網付なので、据付時にフィルタを傷つける心配がありません。

電源工事不要一般コンセント電源（1φ100V）で運転でき、面倒な電気工事は一切必要ありません。運転はコンセントから電源を供給し、スイッチを入れるだけという簡単さです。（オプションで1φ200Vも可能）

小規模ＦＦＵ監視システムを組合せることにより、FFU風量可変・故障監視が可能です。※F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。

異常信号出力異常信号出力ケーブル（オプション）を使用すると故障信号の出力が可能です。

風量簡単調整風量は調整ダイヤルにより連続的に調整が可能。運転状態を表示ランプで確認できます。（オプションで調整ダイヤルの外部設置も可能）

識別30405061122

サイズ300×300400×400500×500610×610610×1220

F-Cube-N-30UWLFH-30U□

300300

270270

2.20.52450

5


400400

370370

4.10.53755

6.4


500500

470470

6.60.56355

11.5


610610150580580

10.10.58758

13.5

RoHS（オプション）


6101220

5801190

DCブラシレスモータ100W

16.60.510359

20.5有り（オプション）

F-Cube-N-61HWLFH-61H□

610610

580580

10.10.56851

13.5

F-Cube-N-122HWLFH-122H□

6101220

5801190

16.60.57657

20.5

DWHXY

品　名型　式フィルタ集塵効率

寸法[mm]　　設置・　　

開口寸法[mm]　　

電　源モータ

風量[m3/min]風　速[m/s]消費電力[W]騒　音[dB(A)]本体材質重　量[kg]通信機能環境規制

ULPA99.999%以上（0.1μm）

1Φ100V 50/60Hz　/　1Φ200V（オプション）DCブラシレスモータ87W

アルミ（側面）＋SUS（インレット部）

無し

HEPA99.99%以上（0.3μm）

■ 電源コード（2.0m） ■ 固定金具（4個）

（カッコ内はオプション識別番号）

■ プレフィルタ（P） ■ 異常信号出力（A)

■ 差圧計＋ピトー管（D） ■ 天吊金具（C） ■ 水平金具（H） ■ ピトー管（K)

■ 本体

F-Cube-N-30～61 F-Cube-N-122電源SW風量調節つまみ外部信号端子電源ソケット

脱落防止金具（据え付け型or吊下げ型）

150

7.5

●設置・開口寸法 30 30

4040

4-　7

電源SW風量調節つまみ外部信号端子電源ソケット脱落防止金具

（据え付け型or吊下げ型）

150

7.5

●設置・開口寸法

40 40

3030 4-　7

CAN

例

仕様表

WLFH

D

Y

Y

HH

D

W

X

X

■ FFU監視システム FMC100/200（T）

FFU監視システムFMC100/200

通信機能（個別制御／グループ制御／高速・低速切替／一括故障出力）

FMC200 接続台数 :max.254台(4ポート)FMC100 接続台数 :max.100台(1ポート)

W


装置用 F F U

Field

1

耐熱FFU ケミカルFFU高温（50℃）環境で使用可能適合規格 RoHS・SEMI（準拠）アウトガス対策ボリュームによる風量可変・故障出力リレー付

高温環境で使用可能拡散炉などの高温環境（50℃）での使用に耐えうる設計。

アウトガス対策本体材質：ポリエステル樹脂塗装吹出口　：SUS３０４ BA（パンチング板）F i l t e r 　：ボロンフリーフィルタ（PTFE）シール材　：低シロキ酸タイプ。

RoHS・SEMI（準拠）EU圏への輸出を考慮してRoHS規格（準拠）に対応。また生産装置の規格であるSEMIにも適合。

超薄型タイプ高静圧ファンの採用により高さ105～120mmの超薄型を実現しました。

高風速タイプ高静圧ファンを複数台使用することにより吹出し風速0.65m/sを実現しました。

装置への収納を考慮した薄型（本体H=230mm ＋ケミカルH=150ｍｍ)コータ・デベロッパなどの製造装置のケミカル汚染対策に最適アウトガス対策通信機能による風量可変・故障監視が可能

アウトガス対策本体材質：SUS430BAF i l t e r：ボロンフリーフィルター（PTFE）シール材：低シロキ酸タイプ

通信機能（個別制御／グループ制御／高速・低速切替／一括故障出力）小規模ＦＦＵ監視システムを組合せることにより、FFU風量可変・故障監視が可能です。

超薄型タイプ高風速タイプ（0.65m/s）

薄型２３０mm薄型ファンの開発により、高さ230mmを実現しました。

230mm

ケミカルFFU P-Q 特性

空気量（CMM）0.00 5.00 10.00 15.00 20.00 25.00

200.00180.00160.00140.00120.00100.0080.0060.0040.0020.000.00

N=1420rpm　　　N=1300rpm　　　N=1200rpm　　　N=1100rpm　　　N=1000rpm　　　N=900rpmN=800rpm　　　　N=700rpm　　　N=600rpm　　　N=500rpm　　　N=ケミカルフィルタ圧損

鯛焼き構造

仕様表内　　容項　　目

品　名型　式フィルタ集塵効率

FFU外形寸法[mm]

電　源風　量[m3/min]機外静圧[Pa]騒　音[dB(A)]本体材質重　量[kg]

耐熱FFU（超薄型タイプ）WLFIULPAフィルタ　ろ材：PTFE　99.9999%以上 0.1μm1453W×481D×105H（ファン部160mm）1φ115V 50/60Hz6.0（0.32m/s）070鋼板（ポリエステル樹脂塗装）38

耐熱FFU（高風速タイプ）WLFJULPAフィルタ　ろ材：PTFE　99.9999%以上 0.1μm

1000W×350D×190H

1φ115V 50/60Hz11.3（0.65m/s)073鋼板（ポリエステル樹脂塗装）24

仕様表内　　容項　　目

品　名型　式フィルタ集塵効率FFU外形寸法[mm]電　源風　量[m3/min]全静圧[Pa]最大消費電力[W]騒　音[dB(A)]本体材質重　量[kg]

ケミカルFFUWLFKULPAフィルタ　ろ材：PTFE　99.9999%以上 0.1μm1050W×750D×230H3φ200V 50/60Hz16.0（0.45m/s)16014065±2SUS430BA65

ケミカルフィルタケミカル汚染物質を除去するケミカルフィルタは、短時間で容易に交換できる鯛焼き構造を採用しています。

WLF I WL F J WLFK

CAN

FFU監視システムFMC100/200

FMC200 接続台数 :max.254台(4ポート)FMC100 接続台数 :max.100台(1ポート)


装置用 F F U

130

50

140

Field

1

F-Adjust設備運用のままFFUのリプレイスが可能ファン・モータ・コントローラのモジュール化により、既存FFUのフレームとフィルタを再利用FFUを取り外すことなく、天井裏での交換作業が可能

WLF L

省エネ既存インダクションモータ（ACモータ）をF-Adjustに置き換えることで省エネが実現

ファンモジュール仕様表

風量（CMM）

全静圧（Pa）

0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50

400

350

300

250

200

150

100

50

0

P-Q特性カーブ

内　　容項　　目電　源モータファン風　量全静圧通　信重　量

１φ220V 50/60HzBLDC 280W斜流ファン　30CMM180PaModbus13kg

ターミナルユニット外形寸法図

断面形状比較

300mm

狭いスペースにも設置可能斜流ファン採用により超薄型コンパクト設計を実現（本体300⇒70mm）狭所での風路を確保し、圧力損失を低減水平・垂直を問わず設置可能

従　来　品 F-Adjust

シロッコファンターボファン斜流ファン

or

70mm

170mm

既存ACファン

薄型対応ファンモジュール

① 撤去既設ファンモータ撤去

ファンモジュールターミナルユニット（オプション）

1500

1300

1100

900

700

500

④ 通信接続 ③ 電源接続

既存FFUフレーム

既存フィルタ

② 取付

441

97.6 70

10

538260 260

260

260

538AIR AIR

ROTATION

名称内容

単相 200-220V 入力M4端子に接続

運転・停止時（緑点灯）異常時（赤点灯）

ＲＪ45コネクタストレートＬＡＮケーブル

ローダにより回転数等設定【ローダ別売】

※取付のための開口寸法は、40x120mm

電源入力端子台

ＬＥＤ表示灯

通信接続コネクタ

ローダ接続コネクタ

④

④

②

②

①①

③ ③

③

監視システムＦ-SITE-FMR500

LS I FFU 1

Modbus

FFU外形寸法図

通信接続方法

FFU 2 FFU 3

P.57

ファンモジュール取付（ターミナルユニット付）

電源ケーブル接続（端子台）

通信ケーブル接続（RJ45コネクタ）

Ethernet Modbus

※サイズ一例

ターミナルユニット仕様

CCC認証取得CCC認証（中国強制認証制度）

取得モータを使用

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