XM・XY Series

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ

XM SeriesL型

XM Series XY Seriesストレート型

XY Series

軽量・コンパクト

A

B

A

型　式 質量kg

　A※mm

50

65

70

90

40

コンダクタンスL/s

XMA-16

XMAシリーズKF(NW)フランジの場合

XMA-25XMA-40XMA-50

88

Bmm

113

158

170

235

103

196

0.61

1.40

2.00

6.20

0.33

3.60

14

45

80

200

5

160XMA-63XMA-80※：A寸法は全XMシリーズ同一寸法

●ボディ材質：SCS13(SUS304相当)

●ガス溜まりのない精密鋳造一体構造●アルミ製高真空L型バルブXLシリー ズと互換性のある取付(XMシリーズ)

バルブ組合せによるフットスペースの確保

配管例

1175

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

用途

ダストフリー

大気圧～10-6

ベローズシール

軸シール方式型式

弁形式L型 ストレート型

使用圧力 フランジサイズ

Pa 16

オプション

スイッチ インジケータ 高温仕様25 40 50 63 80

注）ストレート型にサイズ16はありません。電磁弁付につきましては当社にご確認ください。

単動（NC）

ダスト巻上げ防止ポンプ過負荷防止

ベローズ・Oリングシール

XMD XYD

大気圧～10-6手動ダストフリー ベローズシール

XMH XYH

エアオペレート

手動タイプ

単動（NC）

XMA XYA

複動

XMC XYC

• ベローズ式でダストフリー、クリーン化。 • 圧力バランス構造。

• 初期排気バルブと主排気バルブを一体化。（流量二段制御バルブ） • システムのコンパクト化および省配管化を実現。 • 排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止。 • ポンプの過負荷運転の防止。 • 初期排気弁の流量調整可能。

• ベローズ式でダストフリー、クリーン化。 • 圧力バランス構造で、排気方向自由。 • 低い操作トルク（0.5 N･m以下） • スプリングによる一定のシール荷重。 • バルブ開閉時のハンドル高さが一定。 • 開閉確認用インジケータを標準で装備。

ベローズシール・単動／XMA・XYAベローズシール・複動／XMC・XYC

ベローズシール･手動／XMH・XYH

二段制御・単動／XMD・XYD

シリーズバリエーション

注）

注）

注）標準

標準

標準

PAT. PAT.

1176

qフランジサイズ　サイズ

162540506380

XMA●●●●●●

XYA―●●●●●

r温度仕様記号無記号

H0

温度範囲5～60℃5～150℃

yオートスイッチ数／取付位置記号無記号

ABC

数量オートスイッチなし

2ケ付1ケ付1ケ付

検出位置―弁開閉弁開弁閉

・シ－ル材質変更箇所とリーク量

記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe

リーク量　Pa・m3/s以下注1）内部

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

uシール材質およびシール箇所の変更

eインジケータおよび操作ポート方向XMA記号無記号

AFGJKLM

インジケータインジケータなし

操作ポート方向

インジケータ付

インジケータなし

フランジ側フランジ側フランジ面 左フランジ面 裏フランジ面 右フランジ面 左フランジ面 裏フランジ面 右

XYA記号無記号

AFJKM

インジケータインジケータなし

操作ポート方向

インジケータ付

インジケータなし

フランジ面 裏フランジ面 裏フランジ面 左フランジ面 右フランジ面 左フランジ面 右

・シール材質記号無記号

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

シール材質FKMEPDMBarrelPerfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※

※三菱電線工業（株）製

注1）常温値、ガス透過を除く注2）シール箇所は構造図P.1178の部品No.をご参照ください。

表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。

wフランジの種類

記号無記号

DC

種類KF（NW）K（DN）CF

適応フランジサイズ16・25・40・50・63・80

63・8016（034）・40（070）・63（114）

記号無記号

M9N（M）（L）（Z）M9P（M）（L）（Z）M9B（M）（L）（Z）

A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

オートスイッチ型式―

D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）D-A90（L）

D-A93（M）（L）（Z）―

オートスイッチなし（内蔵磁石なし）備考

無接点オートスイッチ

オートスイッチなし（内蔵磁石付）

有接点オートスイッチ（フランジサイズ16は対応しておりません）

無記号D K（DN）

KF（NW） 25・40・50・63・8063・80

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面 裏

XMA

tオートスイッチの種類

XYA

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面 裏

無記号（標準）以外を選択される場合、記号の先頭に必ずX（エックス）を記入しシール材質、 変更箇所の順に並べて表示してください。例）XMA-16-M9NA-XN1A

Barrel Perfluoro® は松村石油（株）の登録商標です。Kalrez® はデュポンパフォーマンスエラストマー社の登録商標です。Chemraz® はグリーン, ツイードアンドカンパニー社の登録商標です。ULTIC ARMOR® は日本バルカ－工業（株）の登録商標です。

高温仕様（温度仕様 H0）の場合にはオートスイッチ取付不可です。リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。例）-M9NL

型式表示方法

ストレート型

XMAXYA

L型

q w e r t y

M9N16 AAM9N25

u

XMA・XYA Series

ステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ常時閉／ベローズシール

1177

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

A

仕様

構造図

オートスイッチ（オプション）

※qボンネットAss'y（保守部品）（wtyu含む）

XMA／L型 XYA／ストレート型

磁石（オプション）

yベローズ（材質 SUS316L）

tバルブ（材質 SUS304）

※e外部シール（保守部品）

※wバルブシール（保守部品）

rボディ（材質 SCS13）

uベローズホルダ（材質 SUS304）

操作ポート

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの“分子流”での値で代表しています。注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合

型式

フランジ（バルブ）サイズ

弁の形式

使用流体

使用温度 ℃

使用圧力 Pa（abs）

コンダクタンス L/s注1）

リーク量 Pa・m3/s

作動時間 s

フランジの種類

主な材質

操作圧力 MPa（G）

操作ポート接続口径

内部

外部

XMA

XYA

XMA-16XMA-25XYA-25

XMA-40XYA-40

XMA-50XYA-50

XMA-63XYA-63

XMA-80XYA-80

16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80

M5 Rc 1/8

5

0.05

0.33（0.37）

―

KF（NW）, CF KF（NW） KF（NW）, CF KF（NW）KF（NW）, K（DN）, CF

KF（NW）, K（DN）

常時閉（加圧開・スプリングシール）

不活性ガス系の真空

5～60（高温タイプの場合 5～150）

1×10-6～大気圧

標準材質（FKM）の場合 1.3×10-10 常温時・ガス透過を除く

標準材質（FKM）の場合 1.3×10-11 常温時・ガス透過を除く

本体：SCS13（SUS304相当）, ベローズ:SUS316L, 要部：SUS304, FKM（標準シール材）

0.4～0.7

14 45 80 160 200

0.1 0.21 0.24 0.26 0.28

0.61

0.66

1.40（1.76）

1.42

2.00

2.40

3.60（4.96）

4.30

6.20

7.70質量 kg 注2）

※保守部品につきましてはP.1193をご参照ください。バルブ側排気

バルブ側排気

ベローズ側排気

ベローズ側排気

XMA・XYA Series

1178

A

BA

H

øG

C

CD

øG

øFn E

A

B

45°

H

øF

n

C

C D

（KFフランジ）

øL2

øF

d

øF

c

（Kフランジ） （CFフランジ）

L1

（øFc）

øF

d

（Kフランジ）

（KFフランジ）

外形寸法図

XMA／L型

XYA／ストレート型

100.2130 178 209 268

XYA-25XYA-40XYA-50XYA-63XYA-80

型式 A79.5106 119 149 178

B 48 66 79100117

C12233

D23.538 53 61 80

E 40 55 75 87114

Fn――― 95110

Fd2641527083

G 64 84 95118142

H（mm）

405065708890

XMA-16XMA-25XMA-40XMA-50XMA-63XMA-80

型式 A103113158170196235

B 38 48 66 79100117

C112233

D 30 40 55 75 87114

Fn―――― 95110

Fd 34― 70―114―

Fc172641527083

G403963686996

HP.C.D 27

―P.C.D 58.7

―P.C.D 92.1

―

P.C.D L16×ø4.4―

6×ø6.6―

8×ø8.4―

L2（mm）

XMA・XYA Seriesステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ

1179

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

XMCXMC

L型M9N A

A1650 M9N

XYCXYC

q t y

M9N A251

150w e r

M9Nu

qフランジサイズサイズ

162540506380

XMC●●●●●●

XYC―●●●●●

r温度仕様記号無記号

H0

温度範囲5～60℃5～150℃

yオートスイッチ数／取付位置記号無記号

ABC

数量オートスイッチなし

2ケ付1ケ付1ケ付

検出位置―弁開閉弁開弁閉

・シ－ル材質変更箇所とリーク量

記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe

リーク量　Pa・m3/s以下注1）内部

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

uシール材質およびシール箇所の変更

・シール材質記号無記号

N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1

シール材質FKMEPDMBarrelPerfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※

e操作ポート方向XMC

記号無記号

KLM

操作ポート方向フランジ側フランジ面 左フランジ面 裏フランジ面 右

記号無記号

KM

操作ポート方向フランジ面 裏フランジ面 左フランジ面 右

XYC

※三菱電線工業（株）製

注1）常温値、ガス透過を除く注2）シール箇所は構造図P.1181の部品No.をご参照ください。

表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。

無記号（標準）以外を選択される場合、記号の先頭に必ずX（エックス）を記入しシール材質、 変更箇所の順に並べて表示してください。例）XMC-16-M9NA-XN1A

wフランジの種類

記号無記号

DC

種類KF（NW）K（DN）CF

適応フランジサイズ16・25・40・50・63・80

63・8016（034）・40（070）・63（114）

記号無記号

M9N（M）（L）（Z）M9P（M）（L）（Z）M9B（M）（L）（Z）

A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

オートスイッチ型式―

D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）D-A90（L）

D-A93（M）（L）（Z）―

オートスイッチなし（内蔵磁石なし）備考

無接点オートスイッチ

オートスイッチなし（内蔵磁石付）

有接点オートスイッチ（フランジサイズ16は対応しておりません）

無記号D K（DN）

KF（NW） 25・40・50・63・8063・80

XMC

tオートスイッチの種類

XYC

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面 裏

フランジ面

右

フランジ面

左

フランジ側

フランジ面 裏

型式表示方法

XMC・XYC Series

ステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ複動／ベローズシール

高温仕様（温度仕様 H0）の場合にはオートスイッチ取付不可です。リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。例）-M9NL

フランジサイズ16, 25, 40

フランジサイズ50, 63, 80

フランジサイズ25, 40

フランジサイズ50, 63, 80

ストレート型A

1180A

仕様

構造図

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの“分子流”での値で代表しています。注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合

型式

フランジ（バルブ）サイズ

弁の形式

使用流体

使用温度 ℃

使用圧力 Pa（abs）

コンダクタンス L/s注1）

リーク量 Pa・m3/s

作動時間 s

フランジの種類

主な材質

操作圧力 MPa（G）

操作ポート接続口径

内部

外部

XMC

XYC

XMC-16XMC-25XYC-25

XMC-40XYC-40

XMC-50XYC-50

XMC-63XYC-63

XMC-80XYC-80

16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80

M5 Rc 1/8

5

0.08

0.36（0.40）

―

KF（NW）, CF KF（NW） KF（NW）, CF KF（NW）KF（NW）, K（DN）,CF

KF（NW）,K（DN）

複動（両作動）・加圧開閉

不活性ガス系の真空

5～60（高温タイプの場合 5～150）

1×10-6～大気圧

標準材質（FKM）の場合 1.3×10-10 常温時・ガス透過を除く

標準材質（FKM）の場合 1.3×10-11 常温時・ガス透過を除く

本体：SCS13（SUS304相当），ベローズ：SUS316L，要部：SUS304，FKM（標準シール材）

0.3～0.6 0.4～0.6

14 45 80 160 200

0.15 0.35 0.4 0.54 0.7

0.62

0.67

1.40（1.76）

1.42

2.10

2.50

3.80（5.16）

4.50

※保守部品につきましてはP.1193をご参照ください。

6.30

7.80

XMC／L型 XYC／ストレート型

オートスイッチ（オプション）

操作ポート（加圧 弁閉）

操作ポート（加圧 弁開）

※qボンネットAss'y（保守部品）（wtyu含む）

磁石（オプション）

※e外部シール（保守部品）

yベローズ（材質 SUS316L）

uベローズホルダ（材質 SUS304）

tバルブ（材質 SUS304）

※wバルブシール（保守部品）

rボディ（材質 SCS13）

質量 kg 注2）

バルブ側排気

バルブ側排気

ベローズ側排気

ベローズ側排気

XMC・XYC Seriesステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ

1181

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

XMC-50～80／L型

405065

XMC-16XMC-25XMC-40

型式 A110120171

B384866

C112

D304055

Fn34―70

Fc172641

G403963

H J262836

P.C.D 27 ―

P.C.D 58.7

P.C.D L16×ø4.4―

6×ø6.6

L2（mm）

708890

XMC-50XMC-63XMC-80

型式 A183209250

B 80100117

C31　39　45.5

D 75 87114

Fn― 95110

Fd―114―

―P.C.D 92.1

―

Fc527083

G　77

　　76.5105

293644

10.59 9

H J KP.C.D L1―

8×ø8.4―

L2（mm）

A

AB

øG

JH

øF

n

C

C D

（KFフランジ）

外形寸法図

XMC-16～40／L型

øF

n（KFフランジ）

C

C

B

K

HJ

A

D

（Kフランジ） （CFフランジ）

øF

d

øF

c

L1

øL2

A

øG

øL2

øF

c

（CFフランジ）

L1

（øFc）

XMC・XYC Series

1182

178209268

XYC-50XYC-63XYC-80

型式 A121148177

B 80100117

C31　39　45.5

D536180

E　75　87114

Fn― 95110

Fd527083

G104126150

293644

10.59 9

78 99116

H J K M（mm）

外形寸法図

XYC-25, 40／ストレート型

100.2130

XYC-25XYC-40

型式 A 85115

B4866

C12

D23.538

E4055

Fn2641

G6484

2836

H J（mm）

øFn E

A

45°

B

J

C

CD

øG

H

（KFフランジ）

C

C

D

（Kフランジ）

øF

d

øG

K

HJ

øM

øFn E

A

45°

B

（KFフランジ）

XYC-50～80／ストレート型

XMC・XYC Seriesステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ

1183

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

型式表示方法

ストレート型

XMDXYD

L型

q w e r t y

M9N A25M9N A25

u

qフランジサイズサイズ

2540506380

XMD●●●●●

XYD●●●●●

r温度仕様記号無記号

H0

温度範囲5～60℃5～150℃

yオートスイッチ数／取付位置記号無記号

ABC

数量オートスイッチなし

2ケ付1ケ付1ケ付

検出位置―弁開閉弁開弁閉

・シ－ル材質変更箇所とリーク量

記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,e,r,tw,r,t

e

リーク量　Pa・m3/s以下注1）内部

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

uシール材質およびシール箇所の変更

・シール材質記号無記号

N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1

シール材質FKMEPDMBarrelPerfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※

Sバルブの摺動部材質はFKMです。 ※三菱電線工業（株）製

注1）常温値、ガス透過を除く注2）シール箇所は構造図P.1185の部品No.をご参照ください。

表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。

wフランジの種類

記号無記号

DC

種類KF（NW）K（DN）CF

適応フランジサイズ25・40・50・63・80

63・8040（070）・63（114）

記号無記号

M9N（M）（L）（Z）M9P（M）（L）（Z）M9B（M）（L）（Z）

A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

オートスイッチ型式―

D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）D-A90（L）

D-A93（M）（L）（Z）―

オートスイッチなし（内蔵磁石なし）備考

無接点オートスイッチ

オートスイッチなし（内蔵磁石付）

有接点オートスイッチ

無記号D

KF（NW）K（DN）

25・40・50・63・8063・80

XMD

tオートスイッチの種類

XYD

e操作ポート方向XMD

記号無記号

KLM

操作ポート方向フランジ側フランジ面 左フランジ面 裏フランジ面 右

記号無記号

KM

操作ポート方向フランジ面 裏フランジ面 左フランジ面 右

XYDフランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面 裏

フランジ面

左

フランジ面

右

フランジ側

フランジ面 裏

無記号（標準）以外を選択される場合、記号の先頭に必ずX（エックス）を記入しシール材質、 変更箇所の順に並べて表示してください。例）XMD-25-M9NA-XN1A

XMD・XYD Series

ステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ二段制御・単動／ベローズシール・Oリングシール

PAT.

高温仕様（温度仕様 H0）の場合にはオートスイッチ取付不可です。リード線長さは0.5m（標準）。3mの場合はL、1mの場合はM、5mの場合はZを末尾に表示してください。例）-M9NL

1184A

仕様

注1）主排気弁のコンダクタンスは同一寸法のエルボの“分子流”での値で代表しています。初期排気弁のコンダクタンスは“粘性流”での値です。注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合注3）真空部のシール材摺動部（初期排気弁摺動部）には真空グリース［Y-VAC2］を塗布しております。

コンダクタンス L/s注1)

リーク量 Pa・m3/s

作動時間 s

フランジ（バルブ）サイズ

弁の形式

使用流体

使用温度 ℃

使用圧力 Pa（abs）

フランジの種類

主な材質注3)

操作圧力 MPa（G）

操作ポート接続口径

主排気弁

初期排気弁

内部

外部

主排気弁

初期排気弁

XMD

XYD

XMD-25XYD-25

25

M5 Rc 1/8

14

0.10

0.07

0.65

0.71

KF（NW）

常時閉（加圧開・スプリングシール）［主排気・初期排気弁共］

不活性ガス系の真空

5～60（高温タイプの場合 5～150）

1×10-6～大気圧

標準材質（FKM）の場合 1．3×10-10 常温時・ガス透過を除く

標準材質（FKM）の場合 1．3×10-11 常温時・ガス透過を除く

本体：SCS13（SUS304相当），ベローズ：SUS316L，要部：SUS304，FKM（標準シール材）

0.4～0.7 ［主排気・初期排気弁共］

XMD-40XYD-40

40,CF070

45

0.21

0.08

1.50（1.86）

1.52

KF（NW）, CF

XMD-50XYD-50

50

80

0.24

0.09

2.20

2.60

KF（NW）

XMD-63XYD-63

63,CF114

160

0.26

0.23

4.10（5.46）

4.80

KF（NW）, K（DN）, CF

KF（NW）, K（DN）

XMD-80XYD-80

80

200

0.5～3 2～8 2.5～11 4～18 4～18

0.28

0.27

6.80

8.30

型式

質量 kg 注2)

XMD・XYD Seriesステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ

1185

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

XYD／ストレート型

操作ポートS（初期排気弁用）

操作ポートM（主排気弁用）

qボンネットAss'y（保守部品）※ （wtuio!0含む）

アジャストナット（外周ローレット加工品）初期排気用バルブ開度調整

Sバルブ摺動用Oリング

（材質 FKM）

オートスイッチ（オプション）

e外部シール（保守部品）※

wバルブシール（保守部品）※

rSバルブシールAss'y（保守部品） （材質 SUS304＋シール材）Sバルブ

（材質 SUS304）i

ボディ（材質 SCS13）

y

Mバルブ（材質 SUS304）

u

磁石（オプション）

固定用Ｏリングt

ベローズ（材質 SUS316L）

o

ベローズホルダ（材質 SUS304）

!0

アジャストナット（外周ローレット加工品）初期排気用バルブ開度調整

オートスイッチ（オプション）

操作ポートS（初期排気弁用）

操作ポートM（主排気弁用）

※外部シール（保守部品）e

磁石（オプション）

!0ベローズホルダ（材質 SUS304）

oベローズ（材質 SUS316L）

ボンネットAss'y（保守部品） （wtuio!0含む）

q

※バルブシール（保守部品）w

※SバルブシールAss'y （保守部品）r （材質 SUS304＋シール材）　 　

Sバルブ摺動用Oリング（材質 FKM）

t固定用Ｏリング

uMバルブ （材質 SUS304）

yボディ （材質 SCS13）

iSバルブ （材質 SUS304）

《作動説明》 XMD・XYD Series

z初期排気用バルブ開度調整ご使用前に（操作ポートSに気圧を加えない状態）初期排気量を調整します。アジャストナットを時計回転で回し続け、軽く回転が停止すると、初期排気量はゼロになります。（工具は使用しないでください）反時計回転で初期排気量を設定します。アジャストナット回転数（ピッチ1mm）と初期排気弁コンダクタンスの関係は右図参照ください。

x初期排気用バルブ（Sバルブ）開操作ポートSに気圧を加えると、SバルブはSバルブシールAss'yから離脱し、調整した開度まで開きます。

c主排気用バルブ（Mバルブ）開操作ポートMに気圧を加えると、Mバルブはボディシート部から離脱し、全開します。

v初期排気用バルブ／主排気用バルブ 閉操作ポートSおよび操作ポートMの気圧を抜くことにより、SバルブおよびMバルブは復帰し、シールします。

0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.4 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0

20

18

16

14

12

10

8

6

4

2

0

XMD/XYD-63XMD/XYD-80

XMD/XYD-50

XMD/XYD-40

XMD/XYD-25

アジャストナット回転数 n

初期排気弁コンダクタンス L/s （粘性流）

△P＝0.1MPa時　流量を示す

※保守部品につきましてはP.1193をご参照ください。

XMD／L型

構造図

バルブ側排気

ベローズ側排気

バルブ側排気

ベローズ側排気

XMD・XYD Series

1186

外形寸法図

XMD／L型

XYD／ストレート型

5065708890

XMD-25XMD-40XMD-50XMD-63XMD-80

型式 A123170183217256

B 48 66 79100117

C12233

D 40 55 75 87114

Fn――― 95110

Fd― 70―114―

Fc2641527083

G4163687298

H J K1620202020

7.515 17.519.526.5

―P.C.D 58.7

―P.C.D 92.1

―

P.C.D L1―

6×ø6.6―

8×ø8.4―

L2（mm）

100.2130 178 209 268

XYD-25XYD-40XYD-50XYD-63XYD-80

型式 A 86.7114 128 163 193

B 48 66 79100117

C12233

D23.538 53 61 80

E 40 55 75 87114

Fn――― 95110

Fd2641527083

G 66 84 95121144

1620202020

H J 7.515 17.519.526.5

K（mm）

øL2

øF

d

øF

c

（Kフランジ） （CFフランジ）

L1

（øFc）

øF

d

（Kフランジ）

（KFフランジ）

（KFフランジ）

M

S

A

AB

K

CC

øF

n

øG

JH

D

M

S

øFn E

A

45°

B

C

CD

øG

JK

H

XMD・XYD Seriesステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ

1187

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

型式表示方法

ストレート型

XMHXYH

L型

q w e

qフランジサイズサイズ

16254050

XMH●●●●

XYH―●●●

・シ－ル材質変更箇所とリーク量

記号

無記号ABC

変更箇所注2）

なしw,ewe

リーク量　Pa・m3/s以下注1）内部

1.3×10-10（FKM）1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10（FKM）

外部1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

1.3×10-11（FKM）1.3×10-9

eシール材質およびシール箇所の変更・シール材質

記号無記号

N1

Q1R1R2R3S1T1

U1

P1

シール材質FKMEPDMBarrelPerfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

配合NO.1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE381232-70※

3310-75※

※三菱電線工業（株）製

注1）常温値、ガス透過を除く注2）シール箇所は構造図P.1189の部品No.をご参照ください。

表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。

wフランジの種類

記号無記号

C

種類KF（NW）CF

適応フランジサイズ16・25・40・5016（034）・40（070）

無記号 KF（NW） 25・40・50

XMH

XYH

1625

無記号（標準）以外を選択される場合、記号の先頭に必ずX（エックス）を記入しシール材質、 変更箇所の順に並べて表示してください。例）XMH-16-XN1A

XMH・XYH Series

ステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ手動／ベローズシール

RoHS

1188

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの“分子流”での値で代表しています。注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合

フランジ（バルブ）サイズ

弁の形式

使用流体

使用温度 ℃

使用圧力 Pa（abs）

コンダクタンス L/s注1）

リーク量 Pa・m3/s

フランジの種類

主な材質

操作トルク N･m

ハンドル回転数

内部

外部

XMH

XYH

XMH-16

16,CF034

5

KF（NW）, CF

0.1　≦

5

0.31（0.35）

―

手動

不活性ガス系の真空

5～150

1×10-6～大気圧

標準材質（FKM）の場合 1.3×10-10 常温時・ガス透過を除く

標準材質（FKM）の場合 1.3×10-11 常温時・ガス透過を除く

本体：SCS13（SUS304相当），ベローズ：SUS316L，要部：SUS304，FKM（標準シール材）

XMH-25XYH-25

25

14

KF（NW）

0.15　≦

7

0.57

0.62

XMH-40XYH-40

40,CF070

45

KF（NW）, CF

0.35　≦

10

1.35（1.71）

1.37

XMH-50XYH-50

50

80

KF（NW）

0.5　≦

13

2.02

2.42

XMH／L型 XYH／ストレート型

※qハンドルAss'y（保守部品）（wtyu含む）

uベローズホルダ（材質 SUS304）

yベローズ（材質 SUS316L）

tバルブ（材質 SUS304）

※e外部シール（保守部品）

※wバルブシール（保守部品）

rボディ（材質 SCS13）

インジケータ

型式

質量 kg 注2）

※保守部品につきましてはP.1193をご参照ください。

仕様

構造図

バルブ側排気

バルブ側排気

ベローズ側排気

ベローズ側排気

XMH・XYH Seriesステンレス製高真空L型バルブ／ストレート型バルブ

1189

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

外形寸法図

XMH／L型バルブ

XYH／ストレート型

40506570

XMH-16XMH-25XMH-40XMH-50

型式 A100.5114 162.5179.5

B38486679

C1122

D30405575

Fn34―70―

Fc17264152

G35 40.557 70

H18 21.530 35

JP.C.D 27

―P.C.D 58.7

―

P.C.D L16×ø4.4―

6×ø6.6―

L2（mm）

100.2130 178

XYH-25XYH-40XYH-50

型式 A 75.8102.5119

B486679

C122

D23.538 53

E405575

Fn264152

G40.557 70

H21.530 35

J（mm）

A

AB

øHø

Fn

C

C D

øG

J

B

E

A

C

C

D

øG

øFn

J

øH

øL2

øF

c

（CFフランジ）

L1

（øFc）（KFフランジ）

（KFフランジ）

XMH・XYH Series

1190

2 軸シール方法

ベローズダストの発生およびガス放出が少なく、クリーンなシール方式です。主流は成型ベローズと溶接ベローズ。前者はダスト発生が少なく比較的ダストに強く、後者はストロークは大きくとれるが、ダスト発生とダストに弱い面があります。耐久性はストロークと速度にも左右されるので注意してください。

3 応答時間・作動時間

弁開操作用電磁弁へ電圧印加後バルブのストロークが、90％移動するまでの時間を弁開応答時間、弁開作動時間はストローク開始から90％移動するまでの時間を示します。両者とも操作圧力が高いほど早くなります。

弁閉操作用電磁弁への電源を切ってからバルブのストロークが、90％復帰するまでの時間を弁閉応答時間、弁閉作動時間は弁開から90％復帰するまでの時間を示します。両者とも圧力が高いほど遅くなります。

1 シール材

記載内容は一般的な特徴であり、プロセス条件により変わります。詳細はシール材メーカーにお問合せください。

FKM（フッ素ゴム）ガス放出・圧縮永久歪・ガス透過量も少なく高真空用シール材質として普及しています。SMC高真空L型弁の標準材質は、三菱電線工業（株）製（配合No 1349-80）を使用。O2プラズマによる重量減少率を改善した配合（3310-75）もあり、用途により選定することが望ましい。

Kalrez®（カルレッツ®）デュポンパフォーマンスエラストマー社の登録商標です。耐熱性・耐薬品性が優れたパーフロロエラストマー（FFKM）ですが、圧縮永久歪につきましては注意が必要です。耐プラズマ性（O2,CF4）を改善した配合や耐ダスト改善品もあり、用途により種類を選定することが望ましい。配合No 4079：優れた耐ガス性・耐熱特性を有する標準カ

ルレッツ材料。

Chemraz®（ケムラッツ®）グリーン,ツイード アンド カンパニー社の登録商標です。耐薬品性・耐プラズマ性に優れたパーフロロエラストマー（FFKM）。耐熱性もFKMよりやや高くなります。使用されるプラズマやその他の条件により選定することが望ましい。配合No SS592：優れた物理特性を持ち、特に運動部での使

用に効果的。配合No SS630：固定部・運動部どちらにも使用でき、幅広

い用途に対応。配合No SSE38：高密度プラズマ装置用に開発された、ケム

ラッツ®の中で最もクリーン度が高い材質。

Barrel Perfluoro®（バーレルパーフロ®）松村石油（株）の登録商標です。配合No 70W：金属充填材を含まないパーフロロエラストマ

ー（FFKM）。NF3・NH3に耐性あり。ドライプロセス環境下でパーティクルの発生が少なく、圧縮永久歪も比較的少ない。

ULTIC ARMOR®（アルティックアーマー®）日本バルカー工業（株）の登録商標です。金属充填材を含まないフッ素系ゴム。耐プラズマ性・低放出ガス特性・耐熱性を付与したシール材質。

Silicone（シリコーンゴム, VMQ）比較的安価で耐プラズマ性が良いが、ガス透過が大きくなります。SMC高真空L型弁（シール材オプション）では、三菱電線工業（株）製（配合No 1232-70 白）を使用。O2プラズマ・NH3ガスに対して、低重量減少率・低パーティクル特性を持つ。

EPDM（エチレンプロピレンゴム）比較的安価で耐候性・耐薬品性・耐熱性に優れるが一般の鉱油にはまったく耐性が無い。SMC高真空L型弁（シール材オプション）では、三菱電線工業（株）製（配合No 2101-80）を使用。NH3ガスなどに耐性を有する。

XMH・XYH Series

用語解説

1191

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY

XM□／L型

XY□／ストレート型

推奨排気方向［ベローズ側に真空ポンプ接続］

チャンバ

真空ポンプ

ベローズ側

バルブ側

チャンバ

真空ポンプ

ベローズ側バルブ側

XM･XY Series製品個別注意事項qご使用の前に必ずお読みください。

設計上のご注意 配管

警告 注意¡全体共通qボディ材質はSCS13（SUS304相当）、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型式表示方法確認下さい）への変更が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。

w操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適したものを選定してください。

¡オートスイッチ付きqスイッチ部の温度は60℃以下にしてください。

選定

注意¡全体共通qバルブの応答性を管理する場合には、配管サイズと長さおよび操作用電磁弁の流量特性にご注意ください。

w操作圧力は規定内でご使用ください。0.4MPa～0.5MPaを推奨します。

e使用圧力範囲内でご使用ください。

r作動用ピストン室およびべローズ室は大気と直接接続しています。ダストの排出に対し、問題の無い環境下でご使用ください。

¡ 高温タイプqデポジットの多いガスの場合は、ボディを加熱し、バルブへのデポジットを防止してください。

取付

注意¡全体共通q高湿度の雰囲気の場合は、配管直前まで梱包状態を維持してください。

wスイッチ付の場合は、リード線に充分な曲率をもたせ、無理な力が加わらない状態で固定してください。

eフランジ部に過大な力が加わらないように配管してください。重量物や取付け品が振動する場合にはフランジ部に直接トルクが加わらないように固定してください。

r誤作動しない耐振動は30m/s2（45～250Hz）となっておりますが、振動が継続する場合には耐久性低下の恐れがあります。過大な振動や衝撃が加わらないよう配管してください。

¡高温タイプ（温度仕様H0やXMH , XYH）qバルブを保温する場合は、ボンネット部（ハンドル部）を除きボディ部のみを保温してください。

qフランジシール面およびOリングは、エタノールなどでクリーニングしてから取付けてください。

wフランジシール面保護のため0.1mm～0.2mmの凹になっておりますが、シール面に傷などが付かないように取扱ってください。

e排気方向動作上、排気方向は自由ですが、排気による流れが生ずる場合には耐久性は低下する場合があります。下図排気方向（ベローズ側排気）を推奨します。使用条件により寿命は異なりますので、充分な確認をお願い致します。

1192

XM･XY Series製品個別注意事項wご使用の前に必ずお読みください。

保守点検

注意qデポジットを除去する場合は、各部品に傷をつけないようにしてください。

w耐久回数に近づいた場合は、ボンネットAss'y部やOリングを交換してください。

e耐久回数前でも損傷が予想される場合は、早めに保守と点検をしてください。

r保守部品は当社規格品をご使用ください。構造図／保守部品表をご参照ください。

tシール材（バルブシール・外部シールなど）を外す際は、シール面に傷を付けないように充分ご注意ください。バルブシールや外部シールの装着時はOリングのねじれがないように組付けてください。

XMCXYC

XMDXYD

XMHXYH

XMAXYA

一般用

高温用

一般用

高温用

一般用

高温用

標準で高温用

型式バルブサイズ

温度仕様

無

有

無

有

無

無

標準で有

標準で有

インジケータ

ボンネットAss'y ／ハンドルAss'y　構造部品番号：q

16XLA16-30-1

XLA16A-30-1

XLA16-30-1H

XLA16A-30-1H

XLC16-30-1

XLC16-30-1H

―

―

qシール材の材質変更を行う場合にはボンネットAss'yもしくはハンドルAss'yにて交換してください。ご使用されている製品のシール材質と異なる場合には、シール材質のみの変更では適応できない場合があります。

保守部品

表1

注意

XLH16-30-1

25XLA25-30-1

XLA25A-30-1

XLA25-30-1H

XLA25A-30-1H

XLC25-30-1

XLC25-30-1H

XLD25-30-1

XLD25-30-1H

XLH25-30-1

40XLA40-30-1

XLA40A-30-1

XLA40-30-1H

XLA40A-30-1H

XLC40-30-1

XLC40-30-1H

XLD40-30-1

XLD40-30-1H

XLH40-30-1

50XLA50-30-1

XLA50A-30-1

XLA50-30-1H

XLA50A-30-1H

XLC50-30-1

XLC50-30-1H

XLD50-30-1

XLD50-30-1H

XLH50-30-1

63XLA63-30-1

XLA63A-30-1

XLA63-30-1H

XLA63A-30-1H

XLC63-30-1

XLC63-30-1H

XLD63-30-1

XLD63-30-1H

―

80XLA80-30-1

XLA80A-30-1

XLA80-30-1H

XLA80A-30-1H

XLC80-30-1

XLC80-30-1H

XLD80-30-1

XLD80-30-1H

―

注1）バルブシール材質が標準（FKM：配合No.1349-80：三菱電線工業（株）製）以外の場合は、シール材質追記号（下表1参照）を品番末尾（□の個所）に付けてください。注2）構造図番号につきましては各シリーズの構造図を確認ください。

XMA XYAXMC XYCXMH XYHXMD XYD

外部シールe

バルブシールw

SバルブシールAss'yr

型式バルブサイズ品名

構造図番号

標準

特殊

標準

特殊

標準

特殊

材質

外部シール／（M）バルブシール／Sバルブシール Ass'y

16AS568-025V

AS568-025□

B2401-V15V

B2401-V15□

―

―

25AS568-030V

AS568-030□

B2401-V24V

B2401-V24□

AS568-009V

AS568-009□

40AS568-035V

AS568-035□

B2401-P42V

B2401-P42□

XLD40-2-9-1A

AS568-016V

XLD40-2-9-1A□

AS568-016□

50AS568-039V

AS568-039□

AS568-227V

AS568-227□

XLD50-2-9-1A

AS568-016V

XLD50-2-9-1A□

AS568-016□

63AS568-043V

AS568-043□

AS568-233V

AS568-233□

XLD63-2-9-1A

XLD63-2-9-1A□

80AS568-045V

AS568-045□

B2401-V85V

B2401-V85□

XLD80-2-9-1A

XLD80-2-9-1A□

XMD XYD

注）ご使用されている製品のシール材質と異なる場合には、シール材質のみの変更では適応できない場合があります。※三菱電線工業（株） 製

シール材質

配合No.

記号 -XN1 -XP1 -XQ1 -XR1 -XR2 -XR3 -XS1 XT1 -XU1

EPDM

2101-80 ※ 70W

Kalrez®

4079 SS592

Chemraz®

SS630 SSE38

VMQ

1232-70 ※

FKM forPlasma

3310-75 ※ UA4640

シール材質追記号

ボンネットAss'y ハンドルAss'y

BarrelPerfluoro

® ULTICARMOR®

注1）バルブシール材質が標準（FKM：配合No.1349-80：三菱電線工業（株）製）以外の場合は、シール材質追記号（下表1参照）を品番末尾に付けてください。注2）オートスイッチ用磁石は装着しておりません。オートスイッチ用磁石付の場合、-M9//を品番末尾に付けてください。（高温用にはありません）注3）オートスイッチや電磁弁は付属しておりません。オートスイッチや電磁弁のセットで必要な場合には、製品型式表示のオートスイッチ以降の記号を品番末尾に

付けてください。

1193

XL

XLQXMXY

D-

XVD

XGT

CYV

XMXY