●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。

166ヤマト科学www.yamato-net.co.jp 0120-405-525

産業機器

プラズマ装置

恒温培養器

凍結乾燥・冷却トラップ

滅菌器

純水製造装置

恒温液槽

恒温水循環装置

濃縮器

減圧・加圧ポンプ乳化・撹拌・振とう器造粒乾燥装置

洗浄器

フィルター

送液ポンプ

加熱器

恒温・乾燥器/恒温恒湿器

天秤

pH計

表面観察装置内部観察装置分光・発光・蛍光装置

物性計測装置微生物・細胞関連装置遠心分離機冷凍庫・冷蔵庫

合成・前処理装置

試験機器

電池・半導体・LED関連装置

計測機器

環境・プロセス関連装置

液体／ガスクロマトグラフ

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高温炉・

　

パージガス

科学・産業機器

Mass Flow Controllers

マスフローコントローラSEC-E40シリーズ

高精度なマスフロコントローラのベーシックモデル

マスフローコントローラのベーシックモデルです。

■特徴●高精度（フルスケールの±1.0%以内）●高信頼性（オートゼロ機能搭載）　

■主な用途例●パージガスの流量制御●各種実験装置での流量制御●各自動化が要求される流量制御の設備●各ガスの消費量の管理 等

商品コード 型　式 ガス種 流量レンジ 接続継手 価　格260127 SEC-E40MK3（SET） N2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260128 SEC-E40MK3（SET） N2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260129 SEC-E40MK3（SET） N2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260130 SEC-E40MK3（SET） N2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260131 SEC-E40MK3（SET） N2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260132 SEC-E40MK3（SET） N2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260133 SEC-E40MK3（SET） O2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260134 SEC-E40MK3（SET） O2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260135 SEC-E40MK3（SET） O2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260136 SEC-E40MK3（SET） O2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260137 SEC-E40MK3（SET） O2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260138 SEC-E40MK3（SET） O2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260139 SEC-E40MK3（SET） H2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260140 SEC-E40MK3（SET） H2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260141 SEC-E40MK3（SET） H2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260142 SEC-E40MK3（SET） H2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260143 SEC-E40MK3（SET） H2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260144 SEC-E40MK3（SET） H2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260145 SEC-E40MK3（SET） Ar 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260146 SEC-E40MK3（SET） Ar 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260147 SEC-E40MK3（SET） Ar 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260148 SEC-E40MK3（SET） Ar 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260149 SEC-E40MK3（SET） Ar 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260150 SEC-E40MK3（SET） Ar 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500※SCCMは気体が0℃、101.3kPa時の流量（mL/min）。SLMは気体が0℃、101.3kPa時の流量（L/min）になります。※MK3対応ガス種以外の場合は、別途お問い合わせください。※1M、2M、3M、5M以外のケーブルの場合、別途お問い合わせください。

■仕様本体型式 SEC-E40MK3対応ガス種 N2、O2、Air、H2、Ar、Heフルスケール流量

（N2換算）10～500SCCM1～10SLM

バルブ型式 非通電時 閉（C）コントロールバルブ全閉時流量 フルスケールの2%以下流量制御範囲 2～100% F.S流量精度 ±1%F.S使用可能周囲温度 5～50℃（推奨温度15～35℃）応答性 1秒以内（T98）直線性 ±0.5% F.S繰り返し再現性 ±0.2% F.S動作差圧 10SCCM～5SLM：50～300KPa（d）

10SLM：100～300kPa（d）耐圧 1MPa（G）以下外部リークレート 5×10-10Pa・m3/s（He）以下接ガス部材質 SUS316、PTFE、磁性ステンレス、フッ素ゴム標準継手 1/4Swagelokまたは1/4VCR取付姿勢 自由付属品 制御ユニット（PE-D20）、接続ケーブル※

※1M、2M、3M、5Mからお選びください。

（注）掲載価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。

接続ケーブル（1M）

制御ユニット（PE-D20）

本体

■構成マスフローコントローラ本体、制御ユニット、信号ケーブルをセットでご提供いたします。