Mass Flow Controllers 機...
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●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。 166 ヤマト科学 www.yamato-net.co.jp 0120-405-525 産業機器 プラズマ装置 恒温培養器 凍結乾燥・ 冷却トラップ 滅菌器 純水製造 装置 恒温液槽 恒温水 循環装置 濃縮器 減圧・加圧 ポンプ 乳化・撹拌・ 振とう器 造粒 乾燥装置 洗浄器 フィルター 送液ポンプ 加熱器 恒温・乾燥器/ 恒温恒湿器 天秤 pH 計 表面観察 装置 内部観察 装置 分光・発光・ 蛍光装置 物性計測 装置 微生物・細胞 関連装置 遠心 分離機 冷凍庫・ 冷蔵庫 合成・ 前処理装置 試験機器 電池・半導体・ LED 関連装置 計測機器 環境・プロセス 関連装置 液体／ガス クロマトグラフ ❷高温炉・パージガス科学・産業機器Mass Flow Controllers マスフローコントローラ SEC-E40シリーズ 高精度なマスフロコントローラのベーシックモデル マスフローコントローラのベーシックモデルです。 ■特徴 ●高精度（フルスケールの±1.0%以内） ●高信頼性（オートゼロ機能搭載） ■主な用途例 ●パージガスの流量制御 ●各種実験装置での流量制御 ●各自動化が要求される流量制御の設備 ●各ガスの消費量の管理 等 商品コード 型 式 ガス種 流量レンジ 接続継手 価 格 260127 SEC-E40MK3（SET） N2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260128 SEC-E40MK3（SET） N2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260129 SEC-E40MK3（SET） N2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260130 SEC-E40MK3（SET） N2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260131 SEC-E40MK3（SET） N2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260132 SEC-E40MK3（SET） N2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260133 SEC-E40MK3（SET） O2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260134 SEC-E40MK3（SET） O2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260135 SEC-E40MK3（SET） O2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260136 SEC-E40MK3（SET） O2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260137 SEC-E40MK3（SET） O2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260138 SEC-E40MK3（SET） O2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260139 SEC-E40MK3（SET） H2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260140 SEC-E40MK3（SET） H2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260141 SEC-E40MK3（SET） H2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260142 SEC-E40MK3（SET） H2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260143 SEC-E40MK3（SET） H2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260144 SEC-E40MK3（SET） H2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260145 SEC-E40MK3（SET） Ar 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260146 SEC-E40MK3（SET） Ar 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260147 SEC-E40MK3（SET） Ar 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260148 SEC-E40MK3（SET） Ar 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260149 SEC-E40MK3（SET） Ar 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 260150 SEC-E40MK3（SET） Ar 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203 , 500 ※SCCMは気体が0℃、 101.3kPa時の流量（mL/min）。 SLMは気体が0℃、 101.3kPa時の流量（L/min）になります。 ※MK3対応ガス種以外の場合は、別途お問い合わせください。 ※1M、 2M、 3M、 5M以外のケーブルの場合、別途お問い合わせください。 ■仕様 本体型式 SEC-E40MK3 対応ガス種 N2、O2、Air、H2、Ar、He フルスケール流量 （N2換算） 10～500SCCM 1～10SLM バルブ型式 非通電時 閉（C） コントロールバルブ全閉時流量 フルスケールの2%以下 流量制御範囲 2～100% F.S 流量精度 ±1%F.S 使用可能周囲温度 5～50℃（推奨温度15～35℃） 応答性 1秒以内（T98） 直線性 ±0.5% F.S 繰り返し再現性 ±0.2% F.S 動作差圧 10SCCM～5SLM：50～300KPa（d） 10SLM：100～300kPa（d） 耐圧 1MPa（G）以下 外部リークレート 5×10 -10 Pa・m 3 /s （He）以下 接ガス部材質 SUS316、PTFE、磁性ステンレス、フッ素ゴム 標準継手 1/4Swagelokまたは1/4VCR 取付姿勢 自由 付属品 制御ユニット（PE-D20）、接続ケーブル ※ ※1M、 2M、 3M、 5Mからお選びください。 （注）掲載価格には、消費税は含まれておりません。 ●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。 接続ケーブル （1M） 制御ユニット （PE-D20） 本体 ■構成 マスフローコントローラ本体、制御ユニット、信号ケーブルをセッ トでご提供いたします。
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●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
166ヤマト科学www.yamato-net.co.jp 0120-405-525
産業機器
プラズマ装置
恒温培養器
凍結乾燥・冷却トラップ
滅菌器
純水製造装置
恒温液槽
恒温水循環装置
濃縮器
減圧・加圧ポンプ乳化・撹拌・振とう器造粒乾燥装置
洗浄器
フィルター
送液ポンプ
加熱器
恒温・乾燥器/恒温恒湿器
天秤
pH計
表面観察装置内部観察装置分光・発光・蛍光装置
物性計測装置微生物・細胞関連装置遠心分離機冷凍庫・冷蔵庫
合成・前処理装置
試験機器
電池・半導体・LED関連装置
計測機器
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Mass Flow Controllers
マスフローコントローラSEC-E40シリーズ
高精度なマスフロコントローラのベーシックモデル
マスフローコントローラのベーシックモデルです。
■特徴●高精度（フルスケールの±1.0%以内）●高信頼性（オートゼロ機能搭載）
■主な用途例●パージガスの流量制御●各種実験装置での流量制御●各自動化が要求される流量制御の設備●各ガスの消費量の管理 等
商品コード 型 式 ガス種 流量レンジ 接続継手 価 格260127 SEC-E40MK3（SET） N2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260128 SEC-E40MK3（SET） N2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260129 SEC-E40MK3（SET） N2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260130 SEC-E40MK3（SET） N2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260131 SEC-E40MK3（SET） N2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260132 SEC-E40MK3（SET） N2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260133 SEC-E40MK3（SET） O2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260134 SEC-E40MK3（SET） O2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260135 SEC-E40MK3（SET） O2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260136 SEC-E40MK3（SET） O2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260137 SEC-E40MK3（SET） O2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260138 SEC-E40MK3（SET） O2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260139 SEC-E40MK3（SET） H2 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260140 SEC-E40MK3（SET） H2 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260141 SEC-E40MK3（SET） H2 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260142 SEC-E40MK3（SET） H2 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260143 SEC-E40MK3（SET） H2 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260144 SEC-E40MK3（SET） H2 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260145 SEC-E40MK3（SET） Ar 10SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260146 SEC-E40MK3（SET） Ar 100SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260147 SEC-E40MK3（SET） Ar 500SCCM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260148 SEC-E40MK3（SET） Ar 1SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260149 SEC-E40MK3（SET） Ar 5SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500260150 SEC-E40MK3（SET） Ar 10SLM 1/4SWLまたは1/4VCR ¥203,500※SCCMは気体が0℃、101.3kPa時の流量（mL/min）。SLMは気体が0℃、101.3kPa時の流量（L/min）になります。※MK3対応ガス種以外の場合は、別途お問い合わせください。※1M、2M、3M、5M以外のケーブルの場合、別途お問い合わせください。
■仕様本体型式 SEC-E40MK3対応ガス種 N2、O2、Air、H2、Ar、Heフルスケール流量
（N2換算）10～500SCCM1～10SLM
バルブ型式 非通電時 閉（C）コントロールバルブ全閉時流量 フルスケールの2%以下流量制御範囲 2～100% F.S流量精度 ±1%F.S使用可能周囲温度 5～50℃（推奨温度15～35℃）応答性 1秒以内（T98）直線性 ±0.5% F.S繰り返し再現性 ±0.2% F.S動作差圧 10SCCM～5SLM：50～300KPa（d）
10SLM：100～300kPa（d）耐圧 1MPa（G）以下外部リークレート 5×10-10Pa・m3/s（He）以下接ガス部材質 SUS316、PTFE、磁性ステンレス、フッ素ゴム標準継手 1/4Swagelokまたは1/4VCR取付姿勢 自由付属品 制御ユニット（PE-D20）、接続ケーブル※
※1M、2M、3M、5Mからお選びください。
（注）掲載価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。
接続ケーブル（1M）
制御ユニット（PE-D20）
本体
■構成マスフローコントローラ本体、制御ユニット、信号ケーブルをセットでご提供いたします。
![マスターガイド - Razer Inc....Wireless が事前に組み込まれている一部システムでは、[設定] 内の [Bluetooth とその他のデバイ ス] を使用することでヘッドセットのペアリングを行えます。](https://static.fdocuments.nl/doc/165x107/60e03f244e281a3aff1bf8e8/fff-razer-inc-wireless-oeceoeefffe.jpg)
