Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2...

14

Transcript of Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2...

Page 1: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

��

� �

���� � �������������������

��������������� ���!�"�#��$���� �������

Page 2: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� ��

������#���

�����������

�� ����� ���������

��� �����������������������������

��� ������������ �������� ����������� �����������������������������������������������������������������������������������������������������

��� ������������ �������� � ��������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� �������������������� ������� �����������������������������������������������������������������������������������������������

��� ���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� ���� ����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

���� ����������� ���������� ��������������

��� �������������������������������������� ������������������������������������������������������������������������������������

��� ������������������ ����������������� ��������������������������������������������������������������������������������������������

��� ����������� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� ��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� ���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� �

��� ���!��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� �

��� ����!����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� �

�� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������"�

"�� ���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������"�

�#�� �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������"�

���� �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������"�

���� �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������#�

���� �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������#�

���� �����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������#�

��� ���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� �

��� ���� ����������������������������

��� ����������� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� �����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� ���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� ��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

��� �!����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������

�� ���������������

��� ������������������

Page 3: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� &�

� ���#�$�������

���'����(� ��� (�)*�'�� ������ '�� ��(��+� '�� ,��*�)�-��*�.� ��(�� ��� /�0+�� ��� 1��2���� '�(�)*�-*(���(��2�)�+*��1��(�����-�*�2�)�+*��1��(�3.�4�25���0�+(����'�������(.��*�(�'�0*�(�+��2�(�+����+�--*+���������-+�(������*��'��(�2��)�'+��'��2������6+��'��)*�)��(����)�( �75����2*+(�+��2�(������+�0��2�'��+�)��+)���(�+�2��(�8���'�(�,�!�9�+(�'����2�)����3 ��$��(�)���+�0��2.�8��0��(�'*�)�0*�(�-+�(����+� 2�(� '�99�+����(� )�+�)��+�(��1��(� '�(� ,�!�9�+(� '�� (�2�)����3� ���(�� 1��� 2�(� ���-�(� '��9��+�)���*�.� '5���2�(���*�� ��� '5���*0���*�� ���*�+� '�� )�(� ,�!�9�+(� '�� (�2�)����3 � � �(� '�99�+����(���)���1��(����2�(��0*2���*�(�(�+*�����((��-+�(�����(�'��(�2��+�--*+� �

�� ���� ��������� ���!�"�#��

� $�"����������:�5���;���:��� ���� ������<�

��(�2�)����=���2��(�(�2�)*�>��(������2������)����1���'��2��9���22��'�(�)+�(��22*�6��(.�'��(?��*2��������'������+*���*��1���@ ��

$�)*�0�+�� ()�����9�1����������A�@.��B�(�� 2B�2������ 2��-2�(���*�'����'��(� 2�� )+*C��� ��++�(�+���-+6(� 2B*D?�6�� � �2� �B�D�(��� -�(� 4� 2B����� 2��+�.� ���(� (*�(� 9*+��� '�� )*�-*(�(�� (*�(� 9*+��� '��'�*D?'��'��(�2�)����=����>.�2��(�2�)��='��(�2��(��2�.�2��1��+�E>.���������'5���+� ��2��(�����2�(��'�-��(��+6(� 2*�����-(� (*�(� 9*+��� 'B*D?'�� '�� (�2�)���� ��*+-��� =(�2�)�� *�� ����>� )*���� )*�-*(�����((�����2� '�� 0�++�.� '�� )+�(��2� ��� '�� 2�� -*+)�2���� � �2� �� '�-��(� 2����2���� FF��(�6)2�� '�� �*�0���D��(���(� ��� �2�)�+*��1��.� -*�+� 2�� -+*'�)��*�� '�� ����+���D� ��2(� 1��� 2�(� )�+)���(� �����+�(.� 2�(��+��(�(�*+(�*��-*�+�9��+�1��+�'�(�-������D�(*2��+�(�-�*�*0*2��G1��( �

� ��+�)��+�(��1��(�'��(�2�)�����

Page 4: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� @�

H $�"����������:�5���;���:�5���!�"�#�<�

����2�)�+*��1��������)+*;�2�)�+*��1��.����,�!�9�+�3�='��2B���2��(>��(�������+��)���*��������2�����'��(���;)*�'�)���+ ������+����(�����2���������2�(��)*�+�������'��(�2�(�'*�����(�()�����9�1��(�'�-��(�2�(������(�IJ��8�(1�54��*(�8*�+( ��*����2B�(����'����+������2��(�,�!�9�+�3��(��'�0������22������ +�-��'�� '��(� 2�(� �����(� '�� 9��+�)���*�.� 2�� ��+��� 9+��K��(� '�� ,����9+�����3� �5�(��1��(������8����(����2�(� �

�*�+� +�(���+.� ��� ,�!�9�+�3� �(�� ��� �*+)���� �((�E� 9��� )*�-*(�� '�� (�2�)���� �*�*)+�(��22��.�-�+��������'���+�0�+�'�(��+��(�(�*+(.�'�(�(���;)*�'�)���+(�'��-��((��)�����'�(�)�+)���(������+�( ���(�)�+)���(������+�(�(*������(��-+*'���(��+L)�����'�)*�-����'��)���*+)��� �

���� 9��+�)���*�� �(�� +��2�(�� -�+� '�(� ��)���1��(� ��22�(� 1��� 2�� '*-���.� 2�� �+�0�+�.� 2�� '�-*(���*��'B���+�(� ����+���D� =�-���D��.� (-����+���.� '�-M�� )����1��� ��� -��(�� 0�-��+ >� ��� 2��-�*�*2���*�+�-��� ����(���)���1��(�(�+*���-+�(�����(�'��(�2��(�����'��)��+�--*+� ��

� �#��#������N���#� ���$���� ���������$���!�"�#���

��(�2�)����-*((6'��)�+�����(�-+*-+����(�1���'�)*�2������(�����(�+�2�(��,�!�9�+(�'��(�2�)����3 ���(��2�����(�(*���-+�(����(�'��(�2��-+����+�-�+��+�-�� ���(�,�!�9�+(�3�-*((6'����)�+�����(�-+*-+����(�1���(�+*���-+�(����(�'��(�2��'��D�6���-�+��+�-�� �

���� ������

�(�-+*-+����(�'��(�2�)����*���-�+��(�2��)+����*��'5����'��D�6�������+���*��'���+��(�(�*+(.�-��(�2�(� )�+)���(� �����+�( � �B�(�� ��8*�+'B���.� 2B��� '�(� �2�����(� '�� ��(�� '�� 2B�2�)�+*��1��.� )�+� (��)�-�)������)��*2*��1���-�+����'B*�����+�'��(�2�)����-�+�4�-2�(�'��II.III�II�O����'*�)��0*�+�'�(�)*�-*(���(�-*((�'����'�����22��+�(�-�+9*+���)�( �

5�D�+�)��*����2�)����-�+�(��9����4�-�+��+�'5���*D?'��'��(�2�)����*���--�2��(��2��1��+�E��D ����2��)���99��4�P��Q�.�����*������*��'5���(�2�)����-�+�=IJO;IIO>=���R�S���;T����S��R> ���(����.�*��2��'�((*�(� '��(� '�� 25�)�'�� )�2*+?'+�1��� ��� *�� 2�� -�+�9��� -�+� '�(��22���*�( � ��� *������� �2*+(� '���+�)�2*+*(�2���� =*�� '�(�2�)*)�2*+*9*+��>� =����� &� ;T� ��� S� ��� � S��� @> � ��� ��9��� *�� +�'����25�)�����22*�� 4� 25��'�� '5�?'+*�6��� �9��� '5*�����+� '�(� ��++�(� '�� (�2�)��� ���(� ���-�(� -�+��������'5*�����+�'�(���++�(�'��(�2�)����-�+ ��

��(���++�(�(�+*����2*+(�25�2������'����(��'�(�,�!�9�+(�3�'*���2�(�-+*-+����(�����+�2�(�0*���0*�(�U�+��-+�(�����(�'��(�2��-�+��+�-���(��0��� �

� ���!�"�#��

�(� ,�!�9�+(�3� (*��� '�� '�99�+���(� �?-�( � �� ���22�.� 2�� )*C�.� 2�� �*��+�� '�� �+�0�+�� ��� 25�-��((��+�'���+�������2�(�)�+�)��+�(��1��(�'�(�,�!�9�+(�'��(�2�)����3 �

�2(� -��0���� U�+�� '�� '�99�+����(� ���22�(� '�-��(� �-*�)�� =�V.@���>� 8�(1�B4� &������ -*�+� �����-��((��+�'�� 2B*+'+��'���.P��� � �����'��)���(��'5������2�(�+�'�(�-2�(��+��'(�-*((��2�(��9���'��-*�0*�+� �+�0�+� '�0������� '�� -�)�(� (���2�������� � ��� 2������ ���(�� 2�(� -�+��(� (�+� 2�� �*+'� '��-2�1���'B*W�����-+*'�)��*��-2�(���-*+�������0�)�����*��'+��)*C� �

$�� -2�(.� �2(� )*���������� �+�'���*���22������ �����-2��.� '��(� 2�� )�+)2�� (�+� 2�� )M��.� 1��� ��'�1���2B*+�������*�� '�(� -2��(� )+�(��22��( � ���(� -2�(� +�)������.� 2�(� ,�!�9�+(�3� ���2�(���� ���� (��-2��

Page 5: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� V�

��)*)���-*�+���'�1��+�)�����*+�������*� �������*+�������*����������-*+���)��)�+�2�(�)+�(���D�*���'�(�-+*-+����(�(�+�)��+�22�(�����2�)�+*��1��(��+6(�'�-��'����(�'��2��'�+�)��*� �

��9���'��)*�-��.�*����-+����2�(�)�+)���(������+�(.�2�(��+��(�(�*+(����2�(�(���;)*�'�)���+(� '�� -��((��)�� ��� 1��'+�22���� �+6(� (�++�� �9��� 'B�������+�� 2�� -2�(� -*((��2�� (�+� ��� (��2� ,�!�9�+�3 � �(� )�+)���(� (*�������+�2������ �'����1��(� (�+� ����U��� ,�!�9�+�3 �2� �(�� �*��� '���U���-*((��2�� 4� 25��'�� '�� '�99�+����(� ��)���1��(� '�� -2�)�+� '�(� )�+)���(�'�99�+���(�(�+�����U���)*�-*(��� ��

��+� 2�� (����� '�� )����� -+�(������*�.� �*�(� �22*�(� 0*�(� -+�(����+� 2�(�,�!�9�+(� '�� (�2�)���� 3� ���(�+�*���2�(����-�(�'��9��+�)���*��'��)��'�+���+ ������9��.�2�(��0*2���*�(�1���(*������)*�+(�'��(�)��'*��������)��*2*��1�� �

��� �����������$5���!�"�#�$���� ������

$��(�)��-�+��+�-��.�8��0��(�0*�(�-+�(����+�2�(�'�99�+����(����-�(���)�((��+�(�4�25�2��*+���*��'5���,�!�9�+�'�� (�2�)����3 � �� )*���D���'��(� 2�1��2� (*��� +��2�(�(� 2�(�,�!�9�+�3.� (�+*��� ��((�� ��'�1���'��(�)�����-�+����'��+�--*+� �

� �����F���$��#�� ��������$���!�"�#�$���� ������

�*�+� +��2�(�+� ��� ,�!�9�+�3.� �2� �(�� ��)�((��+�� '�� )�� (����� '��(� ��� ��0�+*�������� '����� '��-*22���*� ��5�(��-*�+1�*�.�2��+(�+��2�(���*�(�(��9*���'��(�'�(�(�22�(�'���(�,��2��)���3 ���

����(�22���2��)����(������-�6)��*������(�+���'��-�6)�(�'��(�2�1��22��2��)*�)���+���*��-�+��)�2��+���(����X�+�(�� ���)���(����)�((��+���9���'��������(�+�2B���+*'�)��*�.�2������+���*�.�2��+������*��'��-�+��)�2�(�4�2B����+���+�'��)����(-�)� ����2�(��+*�0������+�2������'��(�2�(�(�)���+(���'�(�+��2�*��'�� 2��+�)��+)�� � �� ���-�+���+�.� 2B����'�������(��1��� 2��-+�((�*��+�2���0��(*�����������(�4������0���� -+�)�(� (�2*�� 2�� �*+��� ���� @J@@; � �2� ?� �� -2�(���+(� �?-�(� '�� (�22�(� �2��)��(.� )*����25��'�1���2�����2����)�;'�((*�( �

��22���2��)���'��2������ �

������ -�6)�� �(�� ��((�� ���2�� )�+� 2�� ����-�2���*�� '�� -+*'���� �*D�1��� ��� '����+��D� (*��� -�+���������+����� '�� 2�� )*�)�-��*�� '5��� ,�!�9�+� '�� (�2�)����3 � ��2�� -�+���� ��((�� '�� -+*����+� 2�(���)���)���(� 9��+�1����� 2�(� ,�!�9�+�3 � ��+� ��� (���� '�(� (�22�(� �2��)��(.� 2�(� �1��-�����(� '��-+*��)��*�(� ��22�(� 1��� '�(� �����(� (-�)���D� (*��� *�2����*�+�� ��� -�+�������� '�� -+*����+� 2�(��)*�-*(���(�9��+�1��(����(���((��2�(��(���+(�'��)�(�(�22�( �$��-2�(�����))6(�+��2�������2������2�(���92���)�(��D��+���+�(����2�(�-�+��+����*�(�1������'�)*�2��� �

Page 6: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� J�

H �������$���#�������$5���!�"�#�$���� ������

�*�+�+��2�(�+����,�!�9�+�'��(�2�)����3.��2�9����+�(-�)��+�'�(�+6�2�(��+6(�-+�)�(�( � ��9+���2�������2��-+�D� �2�0�� '�� (�2�)�����*�*)+�(��22��.� ���+����� ���� -+�-�+���*�� '�(� ,�!�9�+(�3� )�+*�*2*��1����9��� '5�0���+� �*���� )*��+������ -*�0���� 2�(� '�9*+��+� *�� 2�(� �+�(�+ � ��+� ��22��+(.� 2��+(� (�+9�)�(�'*�0���� U�+�� ��((�� -�+9����(� 1��� -*((��2� � ��� '�� -2�(� 2�� �+��������� '�(� �2�����(� )*�-*(����2��,�!�9�+�'��(�2�)����3����'*���-�(�,�-*22��+�3�2���*�*)+�(��2 �

�2��(���2*+(���)�((��+��'��+�(-�)��+�25*+'+��)�+*�*2*��1���(��0����-*�+��*���'5��*+'�2��)+�ation

des supports�'��(�2�(����-�(������ ���(�����2�(��tapes '��&�4�& sont les '����2(�'��2��)+�ation des

composants du ,�!afer�3

�#�������$��!�"�#�

�*�+� )+��+���� ,�!�9�+�3.� �2� 9����-�+��+�'5���� �+����� )+�(��2� '�� (�2�)��� ��22�� �(�� 2��-2�(� (*�0����)+�����+��9�)��22������-�+�������)���1���'B���2*��+���*��4����������-�+���+�������(�+�����+��������&�� �

���� ������� �� ����� �� ��� ������� ������ � ���

��������� ��� ���� ��� ����������� ��� ����

���������������� ����

���-2*���� )����� �+�����'��(���������'�� (�2�)����2�1��'�� �+L)�� 4� ���� ����� ��� �-+6(� 1��� 2B�1��2��+�����+��1��� (*��� �������� 2�� )+�(��22�(���*��)*����)� � �� ����� �*�+��� '��(� 2�� (��(� ��0�+(� ���� ��+�� 2��������� 2�� �+����� 0�+(� 2�� ����.� *��*��������2*+(�������++��'��(�2�)��� � ��)+*�((��)��)+�(��22���� �(�� ���9*+��� )�+� 2�� ����� �(��-�+9��������� )�+)�2��+� � �� (�+�)��+�� '�0������2*+(� �*�*)+�(��22���.� �2� (5����� '*�)� 'B��� �+*(��*+)���� '�� (�2�)���� 1��� �B�(�� 1�B��� (��2� ������1���)+�(��2 �

��� -+*)�((�(� -���� '�+�+� 8�(1�B4��@� ���+�(� ��� 2��'���6�+�� '�� )?2��'+�� *������ (�+�� (�-�+���+� ���'���6�+�� ��)�((��+� � �2� (�+�� '*�)� ��)�((��+�� '�� 2��+�)��9��+� ��� '�)*�-�+� ��� �+��)��( � �22�(� (�+*�����--�2��(� ,�!�9�+�3 � ��� 2�(� '�)*�-�� (��0���� ���'���6�+��'���.��4��.&����'B�-��((��+�����*?���'B����()���)�+)�2��+��'���������'���+��'��-+�)�(�*� ����'*���2�� 9��+�� '��(� 2B���� �9��� 'B�0���+� �*��� �)���99������ ����*���� -*22���*� � �(� '�)���(� ������ ��-*+����(.� 2�(��*��(� (*��� 9�2�+��(� ��� 2�� -*�'+�� '�� (�2�)���� �(��+�)�-�+������+�;���2�(�� �

���������������������������������

Page 7: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� P�

��(����.�*���99�)�������+*'������)���1���-��(�)����1���-*�+�����'B�2�����+�2�(��++���2�+���(�'��(�+9�)�� -+*0*1���(� -�+� 2�(� �+���(� '�� -*�'+�� '�� '������� ��� 2�(� �++���2�+���(� (�+� 2�� )*�)���(�-�+9�)��22�� 1��� -���� �0*�+� ���� -*22��� � ��� -*�+� ��+����+� 2�(� ,��������3(*��� +��)��(�(*�����(���������(�)���(

� �#�������$������:����

�����(1���'��)��1���)*�)���)*++�(-*�'�4����������9�-�*�*�+�-��1��.��2��(��*������������22�������2�(�+�����)*�)���'��)�+*��.�'�-*(��(�+�����-2�1���'��1��+�E��D�+U�������-�+ ����1���)*�)���)*++�(-*�'�4����()������2�)�+*��1���1�B������)���������+-+6��.�)*�0�+�������+�-+*'��� ���)���(���--�2����+���)�2� ����+���+1�����((��1���2���*��+��'��)*�)��(�=�@������D����>�-����U�+����-*+�����(��0����2��)*�-2�D����'��)�+)��� �

& 5�����F�� �

B�-���D���)*�(�(���4�9��+��)+*X�+��'��)+�(��2�(�+�'��)+�(��2� =2�� (�2�)���� '��(� �*�+�� )�(> � �� ��)���1���)*�(�(��� 4����2�(�+� 2�� (��(�+��� *������'��(� 2B���-��-+�)�'�����)*������+���)+�(��22���'��)+*�((��)� ���� 25���2�(�� -*�+� 9��+�� )+*X�+�� 2�� )*�)��� -�+� ����--*+��'B�2�����(�)*�(��������2���*�0�22��)*�)�� ��

��8����*2�)�2��+���(��2����)���1������2�(��-*�+�2�(�,�!�9�+(�3 � �22�� )*�(�(��� 4� ��0*?�+� '�(� �*�(� 4� 2��(�+9�)��'B���(��(�+���'��(����0�'���+6(�-*�((� � ��-+��)�-���(��2B�0�-*+���*��(*�(�0�'��-�+�)���99���.�1���-�+���� 2�� )*��+M2��'�(�)�22�2�(�'B�0�-*+���*� ����)+����2*+(���� 8���'���*2�)�2�(����'�+�)��*��'��(��(�+�� � ������ *-�+���*�� �(�� �+6(� 2����� )�+� 2��0���((�� '�� )+*�((��)�� �(�� '�� 2B*+'+�� '�� ��� -�+������� ���� *������� � ���� �-�;)*�)��� �D�+U�������-�+�.� 'B�--+*D�����0������ &O� '�� 2B�-��((��+�������2�.� '�� ���22��+�(� 1��2���(� 1��� 2�� (�2�)����)*�(��������2��,�!�9�+�3 �

@ �FY$����������F���������

������ ���-�� 4� -*�+� ���� '�� )+��+� 2�� ��(�� '�(� �+��(�(�*+(.� �22�� �5�(�� -�(� ���2�(� -*�+� 2�(� ���+�(�)*�-*(���( � B�-�;)*�)��� �(�� )���99��� -*�+� '�0�2*--�+� ���� )*�)��� 'B*D?'�� '�� (�2�)��� � ���'�-*(���2*+(����0�+��(�-�*�*(��(��2��(�+�25*D?'��-*�+��������22��+��+�(�(���)� ��

Création d'une couche d'oxyde de silicium Dépôt d'un vernis photosensible

Page 8: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� A�

V ������� ����N#�������

�� -�*�*2���*�+�-���� �(�� ���� ��)���1���-�+��������'��-+*8���+�4�2B��'��'B����(*�+)��2������(�.� ���� ������ ��� �+�0�+(� 'B���)�+����� �*��+�� 'B*�8�)��9(� (�+� ��� (�--*+��-�*�*(��(��2���9���'��2B?���-+���+ � ���*��9�4��+��(9�+�+��(��-+�)�(������'�((����-�+����9��()���� 'B�2�)�+*�� (�+� ��� ��(1�� � ����--2�1���'�(��Z �������(�� ��E*���*-�1����(�����(�� -+*8����� (�+� 2�� (��(�+�� � �2� �(�� -2�)��'��(� ��� +�0�2����+.� ���� 9��U�+�� �(�� ���(������+���-�+�)�������)���1�� �

��� ����������� �����������������

J N#�Z�#��

���������-��(���� 2��-�*�*2���*�+�-���.� )�+��22��-�+����'��(����2�(��25���-��-+�)�'���� ��2�����D�(�����(*+��(��2���+�0�+������'�����2���+�0�+��(6)�� ����)�(����?-�(�'���+�0�+��-��0�����0*�+����)�+�)�6+�.�(*����(*�+*-�.�(*������(*�+*-� �

P �F��Z���������$����� �N���

B�D)�0���*�� ��� -2�(��� =1���+�6��� ����� '�� 2������6+�����+��1���(*2�'�.�2�1��'�������E>��(��������)���1��� '�� )+��(���� '�(� E*��(� 1��� *��� �����*�)���(�-�+�2��-�*�*2���*�+�-��� ��

���9*+���2��-2�(���2*+(1�B*��)���99�������E ����*���--2�1������)���-��2�)�+�1���4�)����E����(B�2�)*������� )�+����(� �2�����(� )����1�������+��)��9(.� )*���� 2�� 92�*+�*�� 2��)�2*+�.� 2��-2�(���2��6+�� '�(� �*�(� 1��� -��0���� '�)*�-*(�+� '�(�����+���D� �+6(� +�-�'����� � �2� 9*�+���� ��D�-+*'���(� )����1��(� ���� )��+��� �2�)�+�1��.� 1���2�(� '�+���� 0�+��)�2������ 0�+(� 2�� [�9�+ � ��)��-�+���� 2�� +��2�(���*�� '�� -+*9�2(� 0�+��)��D�1��(������ -�+9���( � �(� E*��(� 'B*D?'�� '��(�2�)���� +�)*�0�+��(� -�+� 2�� 0�+��(� ��� (*��� -�(�

�*'�9���(�'*�)�2��-+*9�2�'��2��)*�)���'B*D?'��'�0��������(���'����1���4�)�22��'��0�+��(�+�(���� �

Page 9: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� I�

A ��� �������������:�� �

���� ��-2������*�� �*��1��� 4� -*�+� *�8�)��9� '�� )��+��+��2�)�+�1������� 2�(� E*��(� '�� (�2�)���� ��(�(� 4� ��� -�+� 2��-��(�� '5�D)�0���*� ���� 25�--�2� -2�(� )*�+�������'*-�������)*�(�(���4���-2����+�0�+��)�2������2�(��*2�)�2�(�(�+�2��(�+9�)�� '�� (�2�)���� -�+� ��� 9��()���� 'B�*�(� '�� �����������(��� � �(� �*�(�-��6�+���� 2�� (�2�)����0�+��)�2���������(��(� ��)���� '�99�(�*�� 2���+�2� � �(� �(-�)�(� 2��+�(� (*���)��+���(� ��� �*�(.� )+����� ���(�� 25�������+� ��� 2�� )*22�)���+�'��(�2��)�(�'5����+��(�(�*+ �

I ��$�����

��'�-M�� �(������ )*�)���)*�'�)�+�)��'�-*(���'��(� 2�(�E*��(� �D)�0��(� '5*D?'�� (�2�)��� � ������ )*�)���)*�'�)�+�)��9�����'��-*2?(�2�)�����(��(�-�+���'��2����(��'��������-�+�����9����)*�)���'�����+�+��'��(�2�)��� ����-���� 2��'�-*(�+�-�+�� Z $� =�����)�2�Z�-*+�$�-*(���*�.�'�-*(���*�� )����1��� ��� -��(�� 0�-��+>.� 2�� ����6+�� �(��-�20�+�(��� (*�(� 9*+��� ��E��(�� ��D� �2���*�+(� '�����\� � ���(� ��((�� -�+� � �� Z $� =2*[� -+�(�+�� � Z $.���((�� -+�((�*�� � Z $>� *�� -�+� � �� =2*[� ���-�+���+��

*D?'���*�.���((�����-�+���+��*D?'���*�> ������9����)*�)���'*���-*�0*�+�2��((�+�-�((�+�2��)���-��������1���)+���-�+�������-�2(�*� ����)���-�)+��+�����)���2�)*�'�)���+����+��25�������+����2��)*22�)���+�2��((�������(��2��)*�+����-�((�+ �

� 5�FY$������

�9��� '5�(*2�+� 2�(� �+��(�(�*+(� 2�(� ��(� '�(� ���+�(.� �2� 9����'�0�2*--�+� 25*D?'�� '�� (�2�)��� � ���� )*�)��� '5*D?'��'��2�)�+�1��� '5�(*2���*�� �(�� ��(����� '�-*(��� �9���'5�(*2�+� 2�(� )*�)��(� '�� )*���)��*�(� ��� -*�+� -*�0*�+�+��2�(�+�2�(�����+)*���)��*�( ��

����#��������������#������������

���0����)+��+�2�(��*+��(�'�(��+��(�(�*+(�'��2���U���)*�)�� ��*���'5��*+'�2��)*�)���'5*D?'��'��2�)�+�1����(��]���22��]�'��2���U���9�K*��1���25*D?'��'�� (�2�)���� ������2�.� �0�)�'�(���(1��(�'�99�+���( � ��(����.� *�� '�-*(�� ���� )*�)���'5�2�������� (�+� 2�� )*�)��� '5*D?'��'��2�)�+�1��� ��� '��(� 2�(� ���� � ��+� 2�� (����.� *��0�+����25�2�����������*��+����2�(��2��-+*)�((�(�'�� -�*�*2���*�+�-���� -*�+� '�� (�--+���+� 2�(�E*��(� *W� 25�2�������� �����2� � �*�+� 9���+.� ����

)*�)���'5*D?'���(��'�-*(���-*�+��(*2�+�)�����)*�)���'��)*�-*(����'�(�)*�)��(�(��0����( ��

Page 10: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� ��

� �� ����N��������:�����������:�� �

�*�+��0*�+�����(�+9�)��-�+9���������-2���.��2�9����-*2�((�+�2��,�!�9�+�3 �������2�(���2*+(������)�2���)����)�2��2���+�E���*��=-*2�((������)���1������)����1��> �����--2�1���'*�)��2��,�!�9�+�3�(�+�'�(� '�(1��(� +*����9(� �9��� '�� '������+� 2�� (�+9�)�.� *�� �))*�-����� )����� *-�+���*�� '5���� -*�+�-+*����+� 2�� ,�!�9�+�3 � �-+6(� 2�� -*2�((���.� 2�� (�+9�)�� '�� 2B�(*2���� �(�� -�+9��������� -2���� ��� -����))���22�+��������+��)*�)���'��)*���D�*������2������� �

& ����#���������������#�� ���������� �

�*�+� +��2�(�+� 2�(� ����+)*���)��*�(� ���+�� 2�(� )*�)��(.�2��)*�)���'5*D?'���(��0�+���.�-��(�-�*�*2���*�+�-���������D)�0�� ���2��)+���'�(��+*�(�1���(�+*���+��-2�(�'������(�6��� *�� '�� ������;����(�6�� � ���� �*�0�22��)*�)���'5�2���������(����(�����'�-*(��.�0�+����-��(��D)�0���������(��'��(�����(��0����2���*��+��'��)*�)��(�'B����+)*���D�*�(���)�((��+�����,�������� �

@ ���������������

$���*��+��D���(�(�(*�����)�((��+�(�-*�+�0�+�9��+�2���*��9*�)��*��������'��,�!�9�+�'��(�2�)���3 �$�� -2�(� 2�� )*C�� '�� 25�--�+��22���.� ���(�� 1��� 2�� )*C�� '�(� ����-�2���*�(� 9*��� -�+���� '�(�)�+�)��+�(��1��(�'�� 25�2��*+���*��'�(� ,�!�9�+(�3 � ��(� �2�����(� (*��� ��((�� 4�-+��'+�� ���)*�-���2*+(�'��2��9��+�)���*��'��)�(�)*�-*(���( �

� ��#�H ������ �������������

*+(�'5����9��+�)���*�.�����*���*��+��'5�++��+�-��0����(��'�)2�+�+����U�+��'���)��� �����99��.��2�-�����D�(��+�����'�99�+��)��(?(������1������+��2��)*���-�?(�1������2��)*���'�((�����'���+�������2��0�2��+�'5���)*�-*(��� ����'��*��+��'���*��+��D�'�9���(�1���(*���(*�0���� +�'*�'��� � �2(�-��0���� 0���+� '�� ���0��(� )���+���� '�� ��(1��(.� '�(� +��2���(� '�(� ��)����(.� ���0��(�(�)*�'���*�(� '�� ��(�� ��� /�0+�� '�(� '�99�+���(� -+*)�'�(� ��� ����� '5���+�( � �*���� 2�(� �++��+(�(��0����(���

�++��+�-�+��D)6(�'��'��*+'������'�(�E*��(�'�99�(��(�

�++��+�-�+�'�9����'���+�0�+��

�++��+�'����)�'5*�(�����

Page 11: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� �

�Z ���$�""�#��������� ���������

$��(�2����)��*2*���.��2��D�(���@��?-�(�'��9�2�6+�(���)��*2*��1��(�1������2�(��)*������(��2��,�!�9�+�'��(�2�)����3 � �����((*�������2�����((*���.�'*���2��-+�(������*��)*++�(-*�'�4�1��21���)�*(��-+6(���D����-�(�'�)+���(�'��(�2��-�+��+�-���-+�)�'��� ����2�(�'��D����+�(�9�2�6+�(.�-+�(�����(�'��(�2��-�+����(��0����.�1���(*���2�(�'*��2�(�)��((*�(�����������2��� � � �

� "� �#�����$��H ����������

�� 9�2�6+�� 4� '*��2�� )��((*���� ��� �.� �(�� ���2�(��� -*�+�*-����(�+� (�-�+������ 2�(� -�+��6�+�(� �2�)�+�1��(�'�(� �+��(�(�*+( ���� +��2�(�� 2�(� ���-�(�'�� )*�)�-��*���'����1��� 1��� 2*+(� '�� 25�2��*+���*�� '5��� )��((*�� '���?-�������������+��'�� �?-��� ����(�*���������-2�)������E*����-���D����(�+�2��(��(�+��.�)�2�����+�����-2�(�'B���-�(�'��9��+�)���*� ���������)���1����(��-+�(�����'��(� 25���2�(���*��'�(�,�!�9�+�'��(�2�)����3����(��22���(���*��(����2�(���)�+��22���(��-2�(�*��+��(� �

H ���� � ��

H����1����2��+��2�(���*�����25���2�(���*��'�(�(���;)*�'�)���+(�'B*D?'������22�1���)*�-2�������+��=�*�-2������+?�����2;�D�'�� ����)*�'�)�*+>�-+�(�����'���*��+��D� �0������.� �2� ?� �� ��((�� ���(�+���D� '�(�0������� '��(� )����� ��)��*2*���.� )5�(�� 2�� )�-�)����)� � �*�+� ?� +���'��+.� '��(� 2�(������(�I�.�'�(�)��+)���+(�'5�H��*���)*����)��4��+�0��22�+�(�+�����(*2���*��-2�(�-�+9*+�����.�������-�+��)�2��+�(�+�2��(�2�)����(�+��(*2����+�=��2�)*������(�2��*+> ��

�#�������$��� � ��

�� )��(�� '�� )����� +�)��+)��� �(�� ���� 9*+��� )�-�)����)��'���4�2��'�99�+��)��'��-*������22�����+��2��(�2�)�������)�(�-�+���(�'5�-�;)*�)����*��(��( �������)�-�)����)��+�2������2�� )���������� '5����� '�� �+��(�(�*+ � �*�+� � +�(*�'+�� )��-+*�26��.�2�(���������+(�*���-2�)������)*�)���'5�(*2�������+�� 25�-�;)*�)��� ��� 2�� (�2�)��� ����(� )�2�� ���+����� ����*�0���� -+*�26��.� -*�+� 9��+�� ��X�+�� 25�-�;)*�)��.�

25�-���D��� '*��� (�� 9��+�� (�+� 2�� (�2�)��� � ��� �-+6(� �2� �(�����-*((��2��'5��(�+�+�25�(*2��� ��

�� �*�0�22�� (*2���*�� �(�� '*�)� '�� 9��+�� ��X�+�� 25�(*2����=*D?'�� '�� (�2�)���>� 4� 25����+���+� '�� (�2�)���� -�+� ������)���1��� '�� (�-�+���*�� -�+� ��-2������*�� 'B*D?�6���� ����������!�"#� ����������$%!��> ���2��)*�(�(���������� ��8�)��*�� 4� �+6(� ������ ���-�+���+�� '5*D?�6���-�+�9��� '��(� 2�� [�9�+ � 5��8�)��*�� �(�� )*��+M2��� �9���'5*�����+� '�(� )*�)��(� '�� �.V^� '5*D?�6��� 1��.� �0�)� 2�����-�+���+�� �2�0��.� (�� )*22�� ��� (�2�)���.� 9*+����� ���(��2�(�9���(�)*�)��(�'5*D?'� ��� �

�������� ����� $"���������������

&����������� '�(!�������� ������

Page 12: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� ��

� #������

�*�+� (��-2�9��+.� 25�2��*+���*�� '�� ,�!�9�+� � � ��3� (�� +�(���� (��0���� 2�(� ���-�(� -+�(�����(� )�;'�((*�( �

& �Z����N����������#��������

�� ��)��*2*��������0�����2������'��-��+���0�)� 2������22�(���*�����)��0+� ���� )��0+���?��������9���2�� +�(�(���)�� �2�)�+�1��� )*��+��+������ 4� 25�2�������.� �2� -�+���� �����*����� ��� 9+�1���)���*��(� ��(�+'��(�� 1�5��� ��)��*2*���� ���� � ��� *��+�.� 25���2�(���*�� '�� )��0+�� +�'��+�� '5��0�+*��&VO�2�(�'�2��(��2�)�+�1���'5����+)*���)��*�(����'������+��2�(�����+9�+��)�(����+��)*�)��(����2�(�-+*�26��(����+��1��( ��5�(������0��������*�����2�����2� �

���(� 25���2�(���*�� '�� 2�� ��)���1��� '�� ��2�)���� (�+� �(*2���� -+�(����� ��� -2�(� '�(� �2�����(�-+�)�'���(.� ��� ����� ��� -�+9*+���)�� �*�� ���2�����2� � ��� �99��.� �2� -�+���� ���� �(*2���*�� '�(��+��(�(�*+(�������.�����'��(����'B�����+���*������������(�-�+���+��=&�O>�1�5��2���*+��2� ����(���((����)��(�-+*�26��(�'��2��)�;�-.�����-2�(��+��'��+�-�'������������������D��+���(�'�)�-2��( �

��2�+�� �*��� )�2�.� �2� -*((6'�� ��((�� '�(� '�(�0������( � ��(� )*��+�����(� (*��� 25��(��)�� '�� '�*'�(�(��(�+��� )�� 1��� +��'�'�99�)�2�� 25��-2��������*�� '��-+*��)��*�� '�� )�+)���� ��� 2�� �+��'��*��+�� '��'�9���� '�� �U��� (��(�+�� � ���(� (�+�*��� 25���2�(���*�� '�(� ���*;��)��*2*���(� ���+�����25����������*��'�(�)*C�(�-*�+�2��9��+�)���*��'��)���?-��'��)*�-*(���(.�)��1���2�(�+��'�*��+��D���8*�+'B�������(�1������'�4�'������+ �

���)*�)2�(�*��'��)�������)���1����+6(��0�������(�.�(�--2����+��2����)��*2*���������'��(�2�(������(��0���+ �

Page 13: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� &�

Z ���� ������

�*�+�)*�)2�+�.� 2��,�!�9�+�'����2�)����3��(��25�2������'����(��'�� 25�2�)�+*��1�� ����(� 2�� 9���+�'��25�2�)�+*��1���-�((����((��-�+�2�(�,�!�9�+(�3 �����99��.�2�(��+��(�(�*+(�(*���2����(��'������)*�-�'��-+*'��� � ��� )*���� 2�� ,�!�9�+�3� �(�� '�� �*(� 8*�+(� 25�2������ )���+�2� '�� 2�� 9��+�)���*�� '�(��+��(�(�*+(.�(*�����2�����5�(��-2�(�4�-+*�0�+ ��

$�� -2�(.� 2�� 9��+�)���*�� +��+*�-�� '�� �*��+��(�(� -��(�(� 9��+�)���*�� )*�-2�D�(��*��+�� 4� 1��2�-*���.� 2������+�(��'�� 2�� ��)���1����(�� �+6(�-+�)�(� � 5���2�(���*��'��-+*'����'����+��D.�*�2���� 2��9��+�)���*��'�(�,�!�9�+(�3����(����'�(�(�22�(��2��)��(����2��+�(-�)��'5���-�(�)�+*�*2*��1��(��+6(�-+�)�(�( � �� 9��+�)���*�� '�� )�(� )*�-*(���(.� �5�(�� -�(� 4� 2�� -*+���� '�� �*��� 2���*�'�����(� '5���-��2�)�)*����((��+ �

�� )*C�� �(�� 1���'� 4� 2��� �((�E� 9���2�� -�+� +�--*+�� 4� 2�� 1�������� -+*'����� '��(� 2*+(� '�� �+��'��'�(�+�����*��'��)*�-*(���.����(�25��0�(��((������(�+�2�(���)����(�'5�2��*+���*���(��)*�(�1���� �

5�0*2���*��0�+(�2�(�� � ���(����8*�+'5���������+)��.�)�+���2�+��2��+�)*�-2�D����'��+��2�(���*�����2��+�)*C��-2�(���-*+����.�2��+�-�+9*+���)��(*���-2�(��'�-������D�����������1���25*��-�����0*�+ ��5�(�� -*�+1�*�.� �*�(� -*�0*�(� '�+�� 1��� '��(� 1��21��(� �����(� 2�(� � � �� ��+*��� (�--2����(� 2����)��*2*�������� �

Page 14: Exposé Wafer Silicium - DoYouBuzz · ˘ ˇ ˆ% j h ˘ ˛$ # ˚ ˜$5˙˜!" #$ ˛˚ ˚ ˚˙ ˘* ++ 2 (+ ,! 9+'( 2 ) ˆ3 . 29 +( -) +'(+6ˇ2( +6(-+) (( 9+ ˇ 2 2 -+ d20' ( 2 ) ˆˆ**

�������������

���!�"�#��$���� ������

���������������%����� � �� @�

Z� H�H ��N#������

����#����

���-�9+ [�_�-�'�� *+�[�_�!�9�+�

���-�9+ [�_�-�'�� *+�[�_�"��+�)���*�`'�(`'�(-*(���9(`O�&O��`(���;)*�'�)���+(�

���-�'�)��*����+� -�-�?0�(���( ���'�9�����*�;!�9�+;&AJ� ����

���-�[[[ DAJ;(�)+�� )*�-*-�-(�+��)2�([��'*[ -�-<�'aJ@�

���-�[[[ -+�(��)�;-) )*���(�(�+��(�(�*+;[�9�+;9���((�;'�;�+�0�+�;�&&�

���-�[[[ 9���+�;()���)�( )*�9+'*)���*2*���'��;)*��+;'�;2�;(�2�)�;'�;(�2�D;��;[�9�+`VJP)&��-�

���-�[[[ �)*;��9* *+�(-�- -�-<�+��)2�����

���-�[[[ '�)2�)-�*�* 9+0�+�E[����`(���(�*+��������(��'�������(�����;[�9�+VV@J;;9+�;"#�����;!�9�+`��'��� 8-��

���-�[[[ �+�����+�1�� 9+�����()-����V�V�V��'`����� 8-��

���-�[[[ ��)�2�)�+*��1�� )*��

[[[ (*���) )*�9+�

���#��

�*�+(`��)��*`)*�-*(`��`���.�����'�#��22���.������������ �

� �*'�2�;!�9�+.���+��;��)�2���+���+.������������ �

�Z#���

����)*�'�)�*+�����+��2(���'��+*)�((���)��*2*�?����'�**_.�N�+?�� ��)���+���

�(����*;��)��*2*���(.�$*����1���Z��)_��