Zijne Excellentie de Heer Maxime VERHAGEN Minister van Buitenlandse Zaken Bezuidenhoutseweg 67 NL - 2500 EB Den Haag

Commission européenne, B-1049 Bruxelles – Belgique/Europese Commissie, B-1049 Brussel – België Telefoon: 00- 32 (0) 2 299.11.11.

EUROPESE COMMISSIE

Brussel, 29.09.2010 C(2010)6476 definitief

Betreft: Steunmaatregel NN 39/2010 – Nederland Individuele O&O-steun aan "Mapper"

Excellentie,

1. PROCEDURE

(1) Nederland heeft de bovengenoemde steunmaatregel bij de Commissie aangemeld bij brief van 12 maart 2010. De brief werd op dezelfde dag geregistreerd.

(2) De Commissie beschouwde de aanmelding als onvolledig en verzocht om aanvullende inlichtingen bij brieven van 31 maart 2010 en van 4 juni 2010. Deze werden door de Nederlandse autoriteiten beantwoord bij brieven van respectievelijk 3 mei 2010, 2 juli 2010 en 15 juli 2010, die alle op dezelfde dag bij de Commissie werden geregistreerd.

2. AANGEMELDE STEUNMAATREGEL

(3) De aangemelde steun betreft individuele steun aan één onderneming, Mapper Lithography B.V. De steun is bedoeld voor onderzoek en ontwikkeling (O&O), en met name de ontwikkeling van een nieuwe machine voor "maskerloze lithografie". Het totale steunbedrag beloopt 21 354 394 EUR. Een deel van dat bedrag is reeds vóór de aanmelding toegekend; de toekenning van nog een deel is gepland. De in aanmerking komende projectkosten bedragen 60 858 832 EUR.

2

2.1. De technologie

(4) Met het betrokken project ontwikkelt Mapper Lithography B.V. (hierna "Mapper") een technologie waarbij door middel van 'maskerloze parallelle elektronenbundels' ('e-beams') wordt geëtst. Deze technologie kan in zogenaamde lithografiemachines worden toegepast. Deze machines schrijven de schakelingspatronen van halfgeleiderchips op siliciumwafers. Normaal wordt in de industrie gebruik gemaakt van fotomaskers. Omdat verwacht wordt dat het aantal transistoren dat goedkoop op een geïntegreerd circuit kan worden geplaatst exponentieel zal groeien met een verdubbeling per twee jaar (volgens "de Wet van Moore"), gaan de Nederlandse autoriteiten ervan uit dat de bestaande lithografieapparatuur zijn fysieke grenzen heeft bereikt en niet in staat is transistoren op kostenefficiënte wijze verder te verkleinen.

(5) O&O op het gebied van maskerloze lithografie richt zich op drie methoden: optische lithografie1, e-beamlithografie2 en nano-imprintlithografie.3 Mapper onderzoekt de e-beammethode. De leidende lithografieleveranciers ASML (Nederland), Nikon (Japan) en Canon (Japan) houden zich bezig met optische lithografie-oplossingen.

(6) In plaats van maskers maakt de e-beamtechnologie gebruik van parallelle elektronenbundels die de blauwdruk van een chip op een wafer "schrijven". Hiermee hoopt Mapper het miniaturisatieprobleem aan te pakken en maskers, waarvan de productie kostbaar en tijdrovend is, af te schaffen. De e-beam-machine zou het leveren van op maat gemaakte chips mogelijk maken. Het uurvermogen van de e-beam-machine, uitgedrukt in wafers per uur (wph) zal evenwel lager zijn dan dat van reguliere maskermachines. Terwijl de e-beam-machine een uurvermogen zou hebben van cira 10 wph heeft een maskermachine een capaciteit van circa 100 à 200 wph.

(7) De Nederlandse autoriteiten zijn van mening dat de maskertechnologie de standaardtechnologie zal blijven voor grootschalige en continue productie van hetzelfde soort chip (bijvoorbeeld geheugenchips). e-beamtechnologie zou meer geschikt zijn voor klanten die kleinere batches van chips vervaardigen, met grotere onderlinge ontwerpverschillen. E-beam-machines zouden derhalve worden gebruikt door producenten van halfgeleiders die niet in staat zijn op economische basis chips te produceren met machines die gebruik maken van maskertechnologie.

__________ 1 Optische lithografie omvat i) immersion double patterning en ii) Extreme Ultra Violet ('EUV'). 2 E-beamlithografie omvaat verschillende methoden: i) een optische kolom/een elektronische beam (zeer

geringe throughput, d.w.z. productiecapaciteit), momenteel ontwikkeld door Advantest en Vistec; ii) een optische kolom/talrijke parallelle elektronische beams, momenteel ontwikkeld door Mapper en KLA Tencor; iii) talrijke kolommen met een beam per kolom, thans ontwikkeld door Multi Beam Systems TEL en Advantest; iv) talrijke kolommen met veel beams per kolom, momenteel ontwikkeld door IMS Nanofabrication.

3 Volgens een technische beschrijving die door de Nederlandse autoriteiten is verschaft is de levensvatbaarheid van Nano-imprint twijfelachtig door aanzienlijke problemen met productgebreken en een zeer beperkte productiviteit. Op het ogenblik is slechts één dergelijke machine in gebruik, bij Toshiba, doch niet voor de vervaardiging van chips maar voor de prototyping van apparaten. Genoemde technologie wordt momenteel ontwikkeld door Molecular Imprints en EV Group.

3

(8) Het project van Mapper is afgestemd op de technologische roadmap van de halfgeleiderindustrie, ITRS4. Deze roadmap evalueert de toekomstige eisen op technologisch gebied waaraan de halfgeleiderindustrie zal moeten voldoen. Zo zou een concurrerende High Volume Manufacturing (HVM) tool voor de 22 nanometer node in 2012 operationeel moeten zijn. Hoe kleiner de nanometerwaarde, hoe hoger de vereiste resolutie voor lithografietechnologie. […]*; hierop zal in het onderstaande nader worden ingegaan.

(9) In 2007 heeft Mapper zijn "Proof of Lithography" (POL) milestone gehaald met een demonstratormachine in een laboratoriumopstelling. Mapper meent dat het bereiken van deze mijlpaal heeft aangetoond dat e-beam een levensvatbare technologie is voor lithografie.

(10) De verkoopprijs van een complete high-volume machine, normaal gesproken uitgerust met 10 e-beam-machines, wordt geschat op circa 50 miljoen euro.

2.2. De begunstigde

(11) Het O&O-project zal worden uitgevoerd door Mapper, een in Nederland gevestigde onderneming. Mapper is een middelgrote onderneming overeenkomstig de MKB-definitie van de Commissie5. Mapper werd in 2000 opgericht als spin-off van de Technische Universiteit Delft, waar de technologie oorspronkelijk werd ontwikkeld.

(12) De kernactiviteit van Mapper is de ontwikkeling en toekomstige productie van een innoverende maskerloze lithografiemachine voor de vervaardiging van microchips. De onderneming is als enige bij het project betrokken. Volgens de Nederlandse autoriteiten heeft de afzet van Mapper betrekking op de levering van twee "research tools", dat wil zeggen experimentele versies van de e-beam-machine, aan TSMC, een onderneming in Zuid-Korea, en aan CEA-LETI, een onderzoeksinstituut in Frankrijk, om te worden getest. Mapper wordt gefinancierd door particuliere risicokapitaalinvesteerders, leveranciers, met behulp van bankleningen en uit openbare middelen. De onderneming heeft momenteel geen marktaandeel op de lithografiemarkt en dient derhalve te worden beschouwd als een potentiële nieuwkomer op de markt.

(13) Indien het project met succes wordt voortgezet verwacht Mapper, mogelijk […], door een grote investeerder te worden overgenomen. Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie is de verkoop van Mapper aan een grote

__________ 4 De International Technology Roadmap for Semiconductors is een officiële, openbare reeks documenten,

opgesteld door een groep deskundigen uit de halfgeleiderindustrie uit de VS, Europa, Japan, Korea en Taiwan, die een belangrijke leidraad vormen inzake de richting van onderzoek op verscheidene technologieterreinen met tijdlijnen tot maximaal 15 jaar in de toekomst. Hierin wordt de stand van zaken kort weergegeven, en wordt ingegaan op belangrijke uitdagingen en mogelijke onderzoektrajecten. Daarnaast bevat deze routekaart een agenda met de startdata voor de productie van verschillende technologieën.

* Zakengeheim 5 PB L 124 van 20.5.2003, blz. 36.

4

investeerder noodzakelijk omdat de lithografiemarkt gekenmerkt wordt door een klein aantal grote afnemers die niet bereid zullen zijn nieuwe, dure technologie van een kleine nieuwkomer op de markt te kopen. Volgens de Nederlandse autoriteiten tonen de afnemers op de lithografiemarkt een duidelijke voorkeur voor grote, gevestigde leveranciers. Mapper zou kunnen worden gekocht door een van de bestaande grote lithografieleveranciers zoals ASML of Nikon, of door een leverancier van andere apparatuur die de lithografiemarkt wil betreden, zoals met name Tokyo Electron, KLA Tencor of Hitachi.

2.3. De concurrenten

(14) Momenteel zijn er slechts drie bedrijven die lithografiemachines produceren: Canon, Nikon (beide uit Japan) en ASML (Nederland). De wereldmarkt voor optische lithografie-apparatuur was in 2008 ruim 6 miljard USD waard, met ASML als marktleider. Wereldwijd waren de gemiddelde marktaandelen in 2008 als volgt: ASML 64,5%, Canon 11,7% en Nikon 23,8%. Zoals reeds is opgemerkt heeft Mapper op dit moment geen marktaandeel.

2.4. Het project

(15) Het betrokken project is in oktober 2007 gestart nadat de eerste "proof of lithography" (POL) was behaald. Het uiteindelijke doel van het project is de ontwikkeling van een High-Volume Manufacturing Tool (HVM-Tool).

(16) Het project is gebaseerd op twee routekaarten (roadmaps) die door Mapper zijn vastgesteld. De ene roadmap bevat de streefdoelen op het gebied van technologisch onderzoek (Technology research roadmap) en de andere de streefdoelen op het gebied van instrumenteel onderzoek (Tool research roadmap). De roadmap voor het technologisch onderzoek bevat de onderwerpen die eerst zullen worden onderzocht en aangetoond in een aparte proefopstelling, hetzij door Mapper, hetzij door een van zijn partners. Wanneer het onderwerp van onderzoek op moduleniveau is getest zal aanvullende O&O worden verricht om te bewijzen dat de zelfstandige technologie in een machine kan worden geïntegreerd overeenkomstig de roadmap voor het instrumenteel onderzoek. De technologie zal vervolgens worden geïntegreerd en getest.

(17) De testmachines van Mapper worden aangeduid als pre-alfa, alfa en beta. De alfa- en beta-machine zijn upgrades van de pre-alfa-machine. Van de ene machine naar de volgende zullen individuele modules worden vervangen door nieuwe modules zoals aangegeven in de roadmap inzake het technologisch onderzoek.

(18) Het totale project is onderverdeeld in verschillende subprojecten op basis van mijlpalen ("milestones") (een overzicht van subprojecten, subsidiabele kosten, steuninstrumenten, steunbedragen en steunintensiteiten is in bijlage 1 bij dit besluit opgenomen):

– 19/10/2007 - 30/9/2008: Ontwikkeling van de pre-alfa-machine: waferstage en subframe; levering aan Leti/TSMC;

5

– 29/7/2008 - 30/4/2009: Ontwikkeling van platforminfrastructuur "asterix": metrologie, subframe, stage; ontwikkeling van alfa-machine-modules: beamstabiliteit, spotgrootte, fabrieksacceptatietest (FAT) bij TSMC;

– 01/5/2009 - 28/2/2010: Ontwikkeling van de pre-alfa-machines: beamstabiliteit, contaminatie, ontwikkeling van de aan TSMC te leveren pre-alfa-machine voor de site- acceptatietest (SAT);

– 01/8/2009 - 31/12/2010: Onderzoek betreffende de beta-machine: werkgebied/bundelstroom;

– van 1/3/2010 - 28/2/2011: Ontwikkeling van de alfa-machine; werkgebied, spotgrootte, stitching, FAT van alfa-machines.

(19) Activiteiten die voor steun in aanmerking komen zijn:

– experimentele ontwikkeling van de pre-alfa-machine en de alfa-machine (in verschillende fasen/werkpakketten); steun is uitgekeerd of zal worden uitgekeerd in de vorm van zachte leningen;

– industrieel onderzoek met betrekking tot de beta-machine; steun is voorgenomen in de vorm van een rechtstreekse subsidie.

(20) De totale subsidiabele kosten van het project bedragen 60,9 miljoen euro. De totale ontwikkelingskosten, na de "proof of lithography", worden geraamd op circa 81 miljoen euro.

(21) Mapper werkt samen met industriële en academische partners en toeleveranciers.

(22) Wat de partners betreft zullen vijf bedrijven aan het project deelnemen: Catena Holding BV, Demcon Advanced Mechatronics BV, Hittech Multin BV, Technolution BV en TU Delft.

(23) Als toeleveranciers zullen de twee volgende categorieën bedrijven bij het project worden betrokken:

(a) onderzoeksinstellingen zullen kennis en technologie beschikbaar stellen, waaronder CEA-LETI (Frankrijk), TNO, technische universiteiten van Delft, Enschede, en Eindhoven (alle in Nederland), universiteit Vorarlberg (Oostenrijk), Fraunhofer Institute en Institut für Mikroelektronik Stuttgart (beide in Duitsland);

(b) daarnaast zal een grote groep kmo's en andere toeleveranciers in de toeleveringsketen van de "original equipment manufacturer" (OEM) aan het onderzoek in het kader van het project deelnemen (uitbesteed onderzoek, prototyping, proefopstellingen, enz.).

(24) Volgens door de Nederlandse autoriteiten verstrekte inlichtingen zijn de volgende voorwaarden van toepassing:

6

– partners worden geselecteerd op basis van hun capaciteiten op het gebied van onderzoek, ontwikkeling en fabricage;

– Mapper richt zich op de ontwerp- en integratiefase;

– partners en toeleveranciers worden volledig vergoed op basis van de reële kosten. Het risico wordt in beginsel door Mapper gedragen;

– toen Mapper problemen had met het aantrekken van voldoende fondsen van investeerders, aanvaardden zijn partners (Catena Holding BV, DEMCON Advanced Mechatronics BV, Hittech Multin BV, Technolution BV en TU Delft) betaling in aandelen in plaats van in contanten, waardoor zij aandeelhouders zijn geworden en een zeker risico op zich nemen;

– Mapper zal eigenaar zijn van alle industriële eigendom op het gebied van e-beamonderzoek en -ontwikkeling (overdracht van intellectuele eigendom zal mogelijk zijn tegen eind 2011, wanneer voltooiing van het project wordt verwacht);

– de partners moeten in staat zijn reeksen kleine machines te produceren en te integreren (5 à 20 eenheden per jaar);

– de partners dienen over te schakelen op high-volume manufacturing (HVM).

2.5. Steuninstrumenten, steunbedrag, subsidiabele kosten, steunintensiteit en financieringsvoorwaarden

(25) De staatssteun voor het betrokken project bedraagt 21 354 394 euro en wordt verleend in de vorm van:

– vier zachte leningen, waarvan drie reeds zijn toegekend en een is gepland; de projectfase die met de eerste twee leningen is gecofinancierd, is afgerond en deze twee leningen moeten onvoorwaardelijk worden afgelost;

– een rechtstreekse subsidie, voorgenomen.

2.5.1. Zachte leningen

(26) De eerste zachte lening, UK07031, was toegekend op basis van de steunmaatregel 'Uitdagerskrediet'. De twee daaropvolgende zachte leningen, IK08003 en IK09002, werden toegekend op basis van de steunmaatregel 'Innovatiekrediet', de opvolger van 'Uitdagerskrediet'. De Nederlandse autoriteiten deelden de Commissie mee dat deze steunmaatregelen niet bij de Commissie behoeven te worden aangemeld6.

__________ 6 Overeenkomstig de vroegere Verordening (EG) nr. 70/2001 van de Commissie van 12 januari 2001

betreffende de toepassing van de artikelen 87 en 88 van het EG-Verdrag op staatssteun voor kleine en middelgrote ondernemingen (verstreken), PB L 10 van 13.1.2001, blz. 33 dan wel de huidige Verordening (EG) nr. 800/2008 van de Commissie van 6 augustus 2008 waarbij bepaalde categorieën steun op grond van de artikelen 87 en 88 van het Verdrag met de gemeenschappelijke markt verenigbaar worden verklaard ("algemene groepsvrijstellingsverordening"). Vanaf 1 december 2009 zijn de artikelen 87 en 88 VEG respectievelijk de artikelen 107 en 108 van het Verdrag betreffende de werking van de Europese Unie

7

(27) De zachte lening in kwestie is geen lening met recht van voorrang, noch een zuivere achtergestelde lening, en komt evenmin volledig overeen met het begrip "terugbetaalbaar voorschot" volgens de definitie van de communautaire kaderregeling inzake staatssteun voor onderzoek, ontwikkeling en innovatie (hierna: de "O&O&I-kaderregeling")7. Terugbetaling is afhankelijk van het technische succes, dat wil zeggen deze is niet rechtstreeks verbonden met het commerciële succes van het project, zoals overeenkomstig de O&O&I-kaderregeling voor "Terugbetaalbare voorschotten" is vereist. De lening bevat veeleer de mogelijkheid van schuldvermindering in het geval het project wordt gestaakt als gevolg van technisch falen of verslechterende commerciële vooruitzichten.

(28) Samengevat zijn de voorwaarden van de zachte leningen 'UK' ('Uitdagerskrediet') en 'IK' (Innovatiekrediet') als volgt:

– indien de technische fase van het project met succes wordt afgerond en een commerciële fase van start gaat, moet de lening volledig worden terugbetaald;

– indien het project in technische zin faalt, is geen terugbetaling vereist. In gevallen waarin de commerciële vooruitzichten van het project gedurende de ontwikkelingsfase aanmerkelijk verslechteren, bijvoorbeeld als gevolg van een plotselinge economische crisis, kan de begunstigde om een (gedeeltelijke) vrijstelling van terugbetaling verzoeken.

– het totale bedrag van een zachte lening kan nooit hoger zijn dan 35% van de subsidiabele projectkosten en wordt verstrekt om een vooraf vastgestelde mijlpaal te bereiken;

– zakelijke zekerheden zoals de verpanding van voorraden, debiteuren en machines zijn niet vereist. Wel moeten de kennis en prototypes die uit het project voortvloeien in onderpand worden gegeven;

– de eerste zachte lening UK07031 was niet rentedragend. Voor de daaropvolgende zachte leningen, IK08003 en IK09002, werd een rente berekend. De rente wordt gecrediteerd en bij de aflossing voldaan. Volgens de Nederlandse autoriteiten is de rente zoveel mogelijk afgestemd op de marktrente waarbij rekening wordt gehouden met het risico dat met het project verbonden is. Daarom is een premie toegevoegd waarin het risico op het technisch en/of commercieel mislukken van een project tot uiting komt;

– de aan Mapper opgelegde rentetarieven waren als volgt:

�

("VWEU") geworden. De Commissie heeft de huidige regeling "innovatiekrediet" geregistreerd als steunzaak X 312/2009.

7 PB C 323 van 30.12.2006, blz. 1.

8

Zachte lening Bedrag van de zachte lening (euro)

Rente Toepasselijk

disconteringspercentage

UK07031 1 000 000 0% 5,42% (10 - 12/2007)

IK08003 4 642 102 9,4% 6,36% (11/2008)

IK09002 5 000 000 8,4% 3,74% (4/2009)

IK10001 (gepland) 5 000 000 6,2% 2,24% (niet toegekend;

meest recente gepubliceerde percentage

van 9/2010)

Totaalbedrag 15 642 102 -

(29) De Nederlandse autoriteiten hebben de Commissie meegedeeld dat zij het bruto

subsidie-equivalent dat aan Mapper werd toegekend via de leningovereenkomst niet konden kwantificeren. Daarom hebben zij bij de berekening van de steunintensiteit als percentage van de subsidiabele kosten het volledige bedrag van de zachte leningen in aanmerking genomen.

2.5.2. Rechtstreekse subsidie

(30) De rechtstreekse subsidie zou worden verleend in het kader van de steunregeling "High-Tech Topprojecten" (HTT), binnen de bestaande kaderregeling "Omnibus"8. De HTT-regeling was in het leven geroepen om O&O&I-investeringen te continueren die werden bedreigd door het huidige gebrek aan financiering als gevolg van de financiële en economische crisis. HTT-subsidies worden in een op concurrentie gebaseerde selectieprocedure toegekend. De subsidie dekt uitsluitend de kosten van industrieel onderzoek.

(31) De rechtstreekse subsidie bedraagt 5 712 292 euro.

2.6. In aanmerking komende kosten

(32) De totale in aanmerking komende projectkosten bedragen 60 858 832 euro. De kosten voor industrieel onderzoek belopen 11 424 584 euro; de kosten voor experimentele ontwikkeling 49 434 248 euro (in bijlage 2 bij dit besluit zijn de subsidiabele kosten weergegeven, ingedeeld in onderzoekscategorieën per subproject).

(33) De prototype-machines "pre-alfa", "alfa" en "beta" worden voor tests gebruikt en kunnen niet commercieel worden aangewend. De opbrengst van de verkoop van deze testmachines zal in mindering worden gebracht op de subsidiabele kosten.

__________ 8 De "Omnibus"-regeling is door de Commissie bij besluit van 12.12.2008 goedgekeurd, steunzaak

N 312/2008.

9

2.7. Steunintensiteiten

(34) De desbetreffende zachte leningen voor een bedrag van 15 642 102 euro dekken maximaal 35% van de subsidiabele kosten die voor experimentele ontwikkelingsactiviteiten in het kader van de verschillende subprojecten zijn gemaakt. De totale steunintensiteit voor experimentele ontwikkeling bedraagt momenteel 31,64%.

(35) De rechtstreekse subsidie van 5 712 292 euro dekt 50% van de subsidiabele kosten voor industriële onderzoekactiviteiten.

(36) De totale steun van 21 354 394 euro dekt gemiddeld 35,08% van de totale subsidiabele projectkosten.

2.8. Bij de Nederlandse autoriteiten ingediende steunaanvragen

(37) Volgens de projectevaluatie van de steunverlenende autoriteit van 29 oktober 2007 had Mapper zijn financieringsbehoefte (in de vorm van zachte leningen) voor het betrokken project voor de periode 2008-2010 reeds sinds begin 2007 met het ministerie van Economische Zaken besproken. Volgens het betrokken verslag hoopte Mapper circa 15 miljoen euro te ontvangen in de vorm van zachte leningen. In zijn presentatie aan de aandeelhouders van 10 september 2007 zette Mapper uiteen dat het bedrijf 15 miljoen euro van de Nederlandse regering had gevraagd.

(38) Het eerste subsidiabele subproject ging op 19 oktober 2007 van start. De eerste formele steunaanvraag, voor de zachte lening "Uitdagerskrediet UK07031", werd op dezelfde dag ingediend. De Nederlandse autoriteiten verklaren in hun projectevaluatie van 29 oktober 2007 dat, hoewel de beschikbare "UK"-lening beperkt is ten opzichte van de totale financieringsbehoefte van Mapper, het eerste verzoek zowel vanuit het oogpunt van de financieringsbehoefte op korte termijn (1 jaar) moet worden beschouwd als in het licht van de totale behoefte zoals beschreven in de project-roadmap van Mapper tot 2010 en daarna. In de evaluatie wordt verder opgemerkt dat, na de toekenning van de eerste zachte lening, de weg vrij is voor vervolgaanvragen voor toekomstige subprojecten. De steun voor elk subproject diende individueel te worden aangevraagd en was onderworpen aan een nieuwe projectevaluatie door de steunverlenende autoriteit.

(39) Geen enkele van de subprojecten is van start gegaan voordat hiervoor een steunaanvraag was ingediend. De evaluatieverslagen van 22 september 2008 en 25 maart 2009 verwijzen naar de tweede en respectievelijk derde steunaanvraag voor opeenvolgende projectfasen. Volgens beide verslagen waren deze aanvragen in de planning voorzien.

(40) Op 1 juli 2009 vroeg Mapper in het kader van de HTT-regeling een rechtstreekse subsidie aan voor het subproject "Research on Beta tool", voordat hiermee op 1 augustus 2009 werd begonnen. Mapper had die subsidie in 2007 niet voorzien omdat de financieringssituatie toen nog niet te lijden had van de economische crisis. In 2009 liep het project echter vertraging op als gevolg van een onverwacht tekort aan

10

externe financiering dat niet kon worden aangevuld, ondanks de pogingen die Mapper daartoe ondernam. Mapper hoopte het project met de subsidie weer op de rails te krijgen. De betrokken aanvraag werd eveneens onderworpen aan een individuele projectevaluatie (bijlage 1 bij dit besluit bevat nadere gegevens over de begindata van projecten en de data van individuele steunaanvragen).

2.9. Cumulering met andere steun

(41) De Nederlandse autoriteiten hebben bevestigd dat de betrokken steun niet zal worden gecumuleerd met steun die op grond van andere lokale, regionale, nationale of communautaire regelingen is ontvangen ter dekking van dezelfde in aanmerking komende kosten.

3. BEOORDELING VAN DE STEUN

3.1. De aanwezigheid van steun

(42) De aangemelde steun wordt verstrekt door het Nederlandse ministerie van Economische Zaken en wordt uit de nationale begroting, dus met staatsmiddelen, gefinancierd. De maatregel is selectief omdat deze slechts één onderneming, Mapper, begunstigt. De steun verbetert de algehele financiële positie van Mapper en zal het bedrijf in staat stellen zijn technologische situatie en mogelijk ook zijn marktpositie te verbeteren. Met het product dat met de steun wordt ontwikkeld, zal Mapper actief zijn in het intracommunautaire handelsverkeer omdat het bedrijf zal concurreren met bijvoorbeeld ASML (NL) en gebruik zal maken van een netwerk van leveranciers in de EU. Derhalve kan de maatregel ook van invloed zijn op de interne handel binnen de EU. De aangemelde maatregel betreft dus staatssteun omdat hij voldoet aan de voorwaarden van artikel 107, lid 1, VWEU.

3.2. Rechtmatigheid

(43) Overeenkomstig artikel 108, lid 3, VWEU dient de Commissie tijdig op de hoogte te worden gebracht van elk voornemen tot invoering of wijziging van steunmaatregelen. Toen de Nederlandse autoriteiten de eerste drie zachte leningen toekenden gingen zij er echter van uit dat deze steun vrijgesteld was van aanmeldingsplicht bij de Commissie omdat hij onder de algemene groepsvrijstellingsverordening viel9. Nederland meende dat het bruto-subsidie-equivalent van de zachte leningen kon worden berekend door een markttarief met het toegepaste tarief te vergelijken, overeenkomstig de mededeling van de Commissie over de herziening van de methode waarmee de referentie- en disconteringspercentages worden vastgesteld10. De Nederlandse autoriteiten stelden uiteindelijk echter vast dat een dergelijke berekening zeer moeilijk zou zijn in het licht van de bijzondere voorwaarden van de voornoemde

__________ 9 Verordening (EG) nr. 800/2008 van de Commissie van 6 augustus 2008 waarbij bepaalde categorieën steun

op grond van de artikelen 87 en 88 van het Verdrag met de gemeenschappelijke markt verenigbaar worden verklaard ("de algemene groepsvrijstellingsverordening"), PB L 214 van 9.8.2008, blz. 3-47.

10 PB C 14 van 19.1.2008, blz. 6.

11

zachte leningen. Daarom besloten zij het totale bedrag van de zachte leningen aan te melden in plaats van het bruto-subsidie-equivalent.

(44) Met het oog op de rechtszekerheid en bij gebrek aan specifieke informatie op grond waarvan het bruto-subsidie-equivalent van de zachte leningen naar behoren kan worden berekend, is de Commissie van mening dat voor de beoordeling van de steun het totaalbedrag van deze leningen in aanmerking moet worden genomen.

(45) Uit de bepalingen van artikel 6 van de groepsvrijstellingsverordening blijkt dat deze verordening niet van toepassing is op de betrokken steun:

– De steun aan Mapper, in de vorm van vier zachte leningen en een rechtstreekse subsidie, bedraagt maximaal 21 354 394 euro. De steun is bestemd voor één enkel project dat gedeeltelijk uit industrieel onderzoek bestaat (waarvan de kosten 11 424 584 euro bedragen) en gedeeltelijk uit experimentele ontwikkeling (kosten: 49 434 248 euro).

– Minder dan de helft van de subsidiabele kosten betreffen industriële ontwikkeling. Derhalve bestaat het project niet grotendeels uit activiteiten op het gebied van industrieel onderzoek zoals in artikel 6, lid 1, onder e), punten i) en ii), in combinatie met de laatste alinea van de groepsvrijstellingsverordening, wordt voorgeschreven.

– Integendeel, het project valt onder de categorie "alle andere projecten" van artikel 6, lid 1, onder e), punt (iii), van de groepsvrijstellingsverordening.

– Overeenkomstig artikel 6, lid 1, onder e, punt (iii), van de verordening geldt de verordening niet voor steun van meer dan 7,5 miljoen euro voor O&O-projecten die niet overwegend fundamenteel onderzoek noch industrieel onderzoek inhouden.

(46) Verordening nr. 659/99 van de Raad van 22 maart 1999 (hierna "de procedureverordening" genoemd)11 bevat bepalingen met het oog op de toepassing van artikel 93 van het EG-Verdrag [thans artikel 108 VWEU]. Volgens artikel 2, lid 1, van de procedureverordening moet, tenzij anders is bepaald in verordeningen op grond van artikel 94 van het Verdrag (thans artikel 108 VWEU) of op grond van andere desbetreffende bepalingen, elk voornemen om nieuwe steun te verlenen tijdig door de betrokken lidstaat bij de Commissie worden aangemeld. Overeenkomstig artikel 3 van de procedureverordening mag aan te melden steun niet worden uitgevoerd alvorens de Commissie een beschikking tot goedkeuring van die steun heeft gegeven of wordt geacht die te hebben gegeven.

(47) Het gezamenlijke totaalbedrag van de twee eerste zachte leningen die respectievelijk op 19 december 2007 en op 14 november 2008 voor experimentele ontwikkeling werden toegekend, was niet hoger dan de toepasselijke drempel voor individuele aanmelding van 7,5 miljoen euro. Bij de toekenning van deze twee zachte leningen

__________ 11 Verordening (EG) nr. 659/1999 van de Raad van 22 maart 1999 tot vaststelling van nadere bepalingen voor

de toepassing van artikel 93 van het EG-Verdrag; PB L 83 van 27.3.1999, blz. 1.

12

handelden de Nederlandse autoriteiten derhalve overeenkomstig artikel 108, lid 3, VWEU.

(48) Toen de derde zachte lening werd toegekend, op 29 april 2009, overschreed de totale steun voor het project (10 642 102 euro) de drempel voor individuele aanmelding van 7,5 miljoen euro. In verband daarmee merkt de Commissie op dat:

– ten eerste, de groepsvrijstellingsverordening niet van toepassing was op de derde zachte lening;

– ten tweede dat de in artikel 1 van de procedureverordening vervatte definities niet toestaan dat steunmaatregelen die eerder waren vrijgesteld op grond van de groepsvrijstellingsverordening, en waarvan het bedrag vervolgens tot boven de aanmeldingsdrempel is verhoogd, zonder meer worden geacht buiten het begrip "nieuwe steun" te vallen.

(49) De steun aan Mapper (in de vorm van de eerste drie zachte leningen) is derhalve nieuwe steun geworden in de zin van artikel 1, onder c), van de procedureverordening op het moment waarop de drempel voor individuele aanmelding werd overschreden, namelijk toen de derde zachte lening werd toegekend.

(50) Aangezien derhalve Nederland de steun, bestaande uit de drie eerder toegekende zachte leningen, aanmeldde op hetzelfde moment als de voorgenomen vierde zachte lening en de subsidie voor het O&O-project, zijn zij hun verplichting om de Commissie vooraf in kennis te stellen van eventuele voornemens om nieuwe steun toe te kennen overeenkomstig artikel 108, lid 3, VWEU, niet volledig nagekomen:

– het deel van de steun dat wordt gevormd door de drie eerste zachte leningen en dat reeds aan Mapper is toegekend, is ab initio onrechtmatig;

– de vierde zachte lening en de rechtstreekse subsidie zijn nog niet toegekend en zijn door Nederland tijdig aangemeld. Zoals evenwel in overweging 57 hieronder wordt uiteengezet moet het gecumuleerde bedrag van die steun, aangezien de Nederlandse regering de betrokken steun (vier zachte leningen en een rechtstreekse subsidie) voor hetzelfde O&O-project aan dezelfde onderneming, Mapper, heeft toegekend of voornemens is toe te kennen, worden beschouwd als één enkele steunmaatregel, en is die steun daarom in zijn geheel ab initio onrechtmatig.

3.3. Grondslag voor de beoordeling van de verenigbaarheid van de steun met de interne markt

(51) Volgens de documenten die door de Nederlandse autoriteiten zijn ingediend was de steun in kwestie verleend voor één enkel O&O-project, namelijk voor de ontwikkeling van een e-beam-machine met hoog volume. De O&O&I-kaderregeling bevat criteria op basis waarvan de Commissie beoordeelt of steun voor O&O-projecten verenigbaar is met de interne markt overeenkomst artikel 107, lid 3, onder c), VWEU.

13

(52) De O&O&I-kaderregeling bevat verschillende hoofdstukken. Deze structuur komt tot uiting in twee verschillende beoordelingsniveaus. Op het eerste niveau bevat hoofdstuk 5 een aantal voorwaarden en parameters met betrekking tot de gesteunde activiteit, de steunintensiteiten en de voorwaarden voor verenigbaarheid. Volgens punt 1.4 van de O&O&I-kaderregeling wordt alle aangemelde steun eerst beoordeeld in het licht van de bepalingen van hoofdstuk 5.

(53) In hoofdstuk 6 van de kaderregeling zijn meer specifieke bepalingen opgenomen over de noodzaak en het stimulerend effect van de steun. Wat het eerste niveau van de beoordeling betreft is de Commissie van mening dat het in beginsel voldoende is indien de betrokken maatregel voldoet aan de in hoofdstuk 5 genoemde voorwaarden, mits hij tevens voldoet aan de voorwaarden van hoofdstuk 6 betreffende het vermoeden van een stimulerend effect. Alle aangemelde steun wordt eerst beoordeeld op grond van de bepalingen van hoofdstuk 5.

(54) Voor het tweede beoordelingsniveau is aanvullend onderzoek nodig op basis van de in hoofdstuk 7 van de kaderregeling vastgestelde criteria. Dit onderzoek geldt voor omvangrijke steunmaatregelen die de drempels van hoofdstuk 7.1 van de O&O&I-kaderregeling overschrijden, omdat dergelijke steun eerder tot verstoring van de mededinging zal leiden. Wat projecten betreft die voor het grootste deel uit experimentele ontwikkelingsactiviteiten bestaan, bedraagt deze drempel 7,5 miljoen euro per onderneming/per project.

(55) Ten eerste komt de betrokken steun slechts aan één onderneming, Mapper, ten goede.

(56) Ten tweede maken de in aanmerking komende kosten voor experimentele ontwikkeling 81,22% uit van de totale in aanmerking komende projectkosten. Het project bestaat derhalve voornamelijk uit experimentele ontwikkeling.

(57) De steun aan Mapper in de vorm van vier zachte leningen en een subsidie is bestemd voor een O&O-project dat gebaseerd is op één O&O-roadmap en dat één doel heeft, namelijk de ontwikkeling van een e-beam-machine met hoog volume. De nadere beoordeling heeft daarom betrekking op zowel de steun die onder de groepsvrijstelling valt en die in het verleden is toegekend als op voorgenomen steun, omdat de totale steun bestemd is voor één onderneming respectievelijk één project.

(58) Hoofdstuk 8 van de kaderregeling bevat regels voor de cumulering van de desbetreffende steun met andere staatssteun, en is van toepassing op alle maatregelen die onder de kaderregeling vallen.

3.4. Beoordeling op grond van hoofdstuk 5 van de kaderregeling

3.4.1. Subsidiabele activiteiten, onderzoekscategorieën

(59) Het gesteunde deel van een project moet volledig binnen een of meer van de onderzoekscategorieën vallen die worden genoemd in punt 5.1.1 en die worden omschreven in punt 2.2, onder e), f) en g) van de O&O&I-kaderregeling. De Nederlandse autoriteiten hebben verklaard dat de subsidiabele activiteiten binnen de

14

categorieën industrieel onderzoek en experimentele ontwikkeling vallen, en hebben een technische beschrijving van deze activiteiten verstrekt. Overeenkomstig punt 5.1.1 van de O&O&I-kaderregeling heeft de Commissie verwezen naar haar eigen praktijk om de juiste classificatie van O&O-activiteiten te beoordelen.

(60) Ten eerste kan het voor steun in aanmerking komend onderzoek geacht worden in de categorie industrieel onderzoek dan wel experimentele ontwikkeling te vallen, zoals gedefinieerd in punt 2.2, onder f) en g) van de O&O&I-kaderregeling.

(61) Ten tweede zijn de in aanmerking komende uitgaven correct toegewezen aan de respectievelijke O&O-activiteiten.

(62) De steun is derhalve in overeenstemming met de onderzoekscategorieën die in punt 5.1.1 van de O&O&I-kaderregeling zijn vermeld. Verder heeft de Commissie vastgesteld dat de meeste werkzaamheden inzake de alfa- en beta-machine zeer innoverend zijn. Over het algemeen worden de door de Nederlandse autoriteiten beschreven werkzaamheden om de aangegeven technische doelstellingen te bereiken, als zeer risicovol beschouwd.

3.4.2. In aanmerking komende kosten

(63) In punt 5.1.4 van de O&O&I-kaderregeling worden de in aanmerking komende kosten van O&O-projecten vermeld die bij een specifieke categorie O&O moeten worden ingedeeld.

(64) Zoals hierboven is opgemerkt moeten alle in aanmerking komende kosten worden ingedeeld hetzij bij de categorie "industrieel onderzoek", hetzij bij "experimentele ontwikkeling" (bijlage 2 bij het besluit), en in overeenstemming zijn met de definities van punt 5.1.4 van de O&O&I-kaderregeling. De aangemelde steunmaatregel is derhalve in overeenstemming met punt 5.1.4 van de O&O&I-kaderregeling.

3.4.3. Steunintensiteit

(65) In punt 5.1.2 van de O&O&I-kaderregeling worden de toegestane steunintensiteiten vermeld als percentage van de in aanmerking komende kosten. De basissteunintensiteiten kunnen worden verhoogd overeenkomstig punt 5.1.3 van de O&O&I-kaderregeling.

(66) Steun voor industrieel onderzoek bedraagt maximaal 50% van de in aanmerking komende kosten.

(67) Steun voor experimentele ontwikkeling mag niet meer bedragen dan 35% van de subsidiabele kosten.

(68) De toegestane basissteunintensiteit voor industrieel onderzoek is 50%. De toegestane steunintensiteit voor experimentele ontwikkeling is 25%. Voor kleine en middelgrote ondernemingen mogen de basissteunintensiteiten met 10% worden verhoogd. Mapper is een middelgrote onderneming.

15

(69) De steun is derhalve in overeenstemming met de punten 5.1.2 en 5.1.3 van de O&O&I-kaderregeling.

3.5. Beoordeling op grond van hoofdstuk 6 van de kaderregeling – stimulerend effect van de steun

(70) Staatssteun moet een stimulerend effect hebben, d.w.z. de steun moet er toe leiden dat de begunstigde zijn gedragingen zodanig verandert dat hij zijn O&O&I-activiteiten uitbreidt. Het stimulerend effect van de steunmaatregel is de belangrijkste voorwaarde waarmee bij de beoordeling van staatssteun voor O&O&I rekening moet worden gehouden. Om dit stimulerende effect te bepalen wordt nagegaan of de voorgenomen steun ondernemingen ertoe brengt O&O&I-activiteiten te ontplooien die zij zonder de steun niet hadden ondernomen.

(71) In hoofdstuk 6 van de kaderregeling worden formele criteria vermeld op grond waarvan kan worden vastgesteld of de steun een stimulerend effect heeft. Overeenkomstig dit hoofdstuk heeft de steun voor de begunstigde geen stimulerend effect indien de O&O&I-activiteiten reeds zijn aangevat voordat de begunstigde bij de nationale autoriteiten een steunaanvraag heeft ingediend.

(72) Zoals hierboven is vermeld heeft Mapper informeel staatssteun van circa 15 miljoen euro aangevraagd in de periode tussen begin 2007 en september 2007, vóór de aanvang van het O&O-project. De Nederlandse autoriteiten wensten echter uitsluitend steun toe te kennen naarmate het project vorderde, in de vorm van tranches voor subprojecten. Toen het eerste subproject op 19 oktober 2007 van start ging vroeg Mapper formeel de eerste zachte lening aan. De daaropvolgende projectfasen gingen niet van start voordat er een formele aanvraag voor een vervolglening was ingediend. Het totale bedrag van zachte leningen beloopt 15,64 miljoen euro en komt derhalve overeen met het bedrag dat oorspronkelijk door Mapper werd aangevraagd.

(73) Als gevolg van onverwachte financieringsproblemen waarmee Mapper begin 2009 kampte, diende de onderneming op 1 juli 2009 een aanvraag in om extra steun in de vorm van een rechtstreekse subsidie om het project weer op schema te krijgen. Het desbetreffende subproject ging op 1 augustus 2009 van start. Hoewel deze subsidie, een bedrag van 5,7 miljoen euro, begin 2007 niet was voorzien, moet zij worden beschouwd als een deel van de financiering die nodig is om het desbetreffende project te voltooien. Indien Mapper het ernstige financieringstekort reeds in 2007 had kunnen voorzien, zou de onderneming bij de berekening van de geraamde kosten aan overheidssteun rekening hebben gehouden met dit risico.

(74) Hoewel de extra subsidie pas werd aangevraagd nadat het project een aanvang had genomen kan de formele voorwaarde van hoofdstuk 6 van de kaderregeling in dit bijzondere geval derhalve als vervuld worden beschouwd. De materiële criteria inzake het stimulerend effect van de subsidie toen deze werd aangevraagd moeten echter onafhankelijk van de zachte leningen worden beoordeeld.

(75) In dit bijzondere geval meent de Commissie dat aan het formele criterium van hoofdstuk 6 van de O&O&I-kaderregeling is voldaan.

16

3.6. Cumulering van steun

(76) Hoofdstuk 8 van de kaderregeling bevat bepalingen betreffende de cumulering van steun.

(77) De Nederlandse autoriteiten hebben verklaard dat de steun niet kan worden gecumuleerd met steun die op grond van andere plaatselijke regionale, nationale of communautaire regelingen wordt toegekend voor het dekken van dezelfde subsidiabele kosten. Er is derhalve voldaan aan de voorwaarden van Hoofdstuk 8 van de O&O&I-kaderregeling.

3.7. VOORLOPIGE CONCLUSIES

(78) Op grond van het bovenstaande concludeert de Commissie dat de aangemelde maatregel in overeenstemming is met artikel 5 van de kaderregeling alsook met de formele criteria van hoofdstuk 6 en 8 van de kaderregeling.

3.8. NADERE BEOORDELING OP BASIS VAN HOOFDSTUK 7 VAN DE O&O&I-KADERREGELING

(79) Hoofdstuk 7.1 van de kaderregeling bevat drempels van steunbedragen bij overschrijding waarvan een steunmaatregel aan een nadere beoordeling wordt onderworpen. Met betrekking tot steun voor O&O-projecten geeft deel 7.1 bijzondere drempels voor overwegend fundamenteel onderzoek, overwegend industrieel onderzoek en alle andere projecten.

(80) De steun die in de vorm van vier zachte leningen en een rechtstreekse subsidie is verleend bedraagt ten hoogste 21 354 394 euro. De steun is bestemd voor een project dat bestaat uit industrieel onderzoek, waarvan de kosten 11 424 584 euro bedragen, en experimentele ontwikkeling, waarvan de kosten 49 434 248 euro belopen. Minder dan de helft van de subsidiabele kosten komen voor rekening van industriële ontwikkeling. Het project bestaat derhalve niet overwegend uit industriële onderzoekactiviteiten overeenkomstig deel 7.1 van de O&O&I-kaderregeling. Daarom valt het in de categorie "alle andere projecten" van deel 7.1 van de kaderregeling. De dienovereenkomstige drempel voor nadere beoordeling bedraagt 7,5 miljoen euro per onderneming, per project.

(81) Derhalve heeft de Commissie de nadere beoordeling op basis van deel 7.3 en 7.4 van de kaderregeling verricht. Deze delen bevatten positieve en negatieve elementen die van toepassing zullen zijn, naast de in de hoofdstukken 5 en 6 vastgestelde criteria. Aan de hand van deze positieve en negatieve elementen maakt de Commissie een afweging van de effecten van de maatregel en bepaalt zij of de daaruit voortvloeiende distorsies de voorwaarden waaronder het handelsverkeer plaatsvindt, zodanig veranderen dat het gemeenschappelijk belang wordt geschaad. Bij haar beoordeling van de positieve en negatieve elementen van de aangemelde maatregelen hield de Commissie rekening met de aard van de zaak, en met name de vorm en het doel van de steun en het risico dat de mededinging zou worden verstoord.

17

3.9. Positieve effecten van de steun

(82) In deel 7.3 van de O&O&I-kaderregeling zijn criteria vastgesteld voor de beoordeling van de positieve effecten van een O&O-steunmaatregel. In verband daarmee heeft de Commissie onderzocht of er sprake is van een marktfalen waardoor de markt er zelf niet in slaagt een optimaal resultaat te genereren. Vervolgens heeft de Commissie onderzocht of de steun een passend instrument is, of hij een stimulerend effect heeft op de begunstigde, en of de steun evenredig is.

3.9.1. Marktfalen

(83) Krachtens deel 7.3.1 van de O&O&I-kaderregeling kan staatssteun noodzakelijk zijn om het aandeel van O&O&I in de markt te verhogen, doch alleen voor zover de markt er zelf niet in slaagt een optimaal resultaat te genereren. Daarom zal de Commissie passende informatie in aanmerking nemen waaruit blijkt of de steun te maken heeft met een algemeen marktfalen op het gebied van O&O&I in de gemeenschap of met sectorspecifiek marktfalen. Op grond van door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie heeft de Commissie de aanwezigheid onderzocht van marktfalen van de particuliere kapitaalmarkt als gevolg van asymmetrische informatie.

(84) De Nederlandse autoriteiten hebben betoogd dat het project kampte met marktfalen in de vorm van imperfecte en asymmetrische informatie. De Nederlandse autoriteiten wezen er met name op dat de voortdurend intensieve O&O-activiteiten van Mapper een grote hoeveelheid kapitaal heeft verbruikt voordat met de productie kan worden gestart en een positieve kasstroom en winst kan worden gegenereerd. Mapper zou zich derhalve in een positie bevinden die kenmerkend is voor "technostarters" die moeite hebben om voldoende particuliere financiering aan te trekken ondanks potentieel waardevolle businessplannen12. Het potentieel van het business plan is positief beoordeeld door de achtereenvolgende projectbeoordelingen van de steunverlenende autoriteit van 2007, 2008 en 2009.

(85) Tot september 2007 heeft Mapper fondsen van aandeelhouders aangetrokken voor in totaal 24 miljoen euro. Voordat Mapper steun aanvroeg had het bedrijf geconstateerd dat onvoldoende extra financiering uit particuliere bron beschikbaar was, hoewel het in 2007 een groot aantal potentiële investeerders had gecontacteerd (van de 95 potentiële investeerders toonden slechts 19 belangstelling). Omdat de respons van investeerders onvoldoende was haalde Mapper in oktober 2007 een bedrag van nog eens 8,9 miljoen euro bij de aandeelhouders op. Volgens de projectevaluatie van de Nederlandse autoriteiten van 29 oktober 2007 zouden de beschikbare middelen voldoende zijn voor komende half jaar en werd een nieuwe financieringsronde verwacht om middelen aan te trekken voor de tweede helft van 2008.

__________ 12 De Nederlandse autoriteiten verwijzen naar een rapport van een groep deskundigen over de financiering

van KMO's in Nederland, en met name deel "2.7.2 Technostarters"; Vermogen om te ondernemen - De Nederlandse finance gap, Eindrapport van de Expertgroep KMO financiering, Den Haag 2007; http://www.nicis.nl/kenniscentrum/binaries/stedelijkeeconomie/bulk/Onderzoek/2007/5/http___www-ez.pdf.

18

(86) Volgens de oorspronkelijke planning van Mapper van het eerste kwartaal van 2008 werd de voltooiing van de beta-machine in 2010 voorzien, met een begroting van 70 miljoen euro (in de onderstaande tabel worden de ontwikkelingskosten in miljoen euro weergegeven).

�

(87) In de daaropvolgende projectevaluatie van 22 september 2008 werd verklaard dat de genoemde financieringsronde was gestaakt en dat financiering een van de grootste knelpunten bleef bij Mapper. In de eerste helft van 2008 gaf Mapper […], het onderdeel […], opdracht nieuwe investeerders te vinden. Volgens de Nederlandse autoriteiten deelde dit adviesorgaan Mapper uiteindelijk mee dat "het niet waarschijnlijk is dat de deelnemende investeerders op korte termijn zullen beleggen". De feedback van investeerders die door de adviseurs werd verzameld liep uiteen van "te vroege fase" en "te grote investering" tot "nieuwe investeringen in de halfgeleidersector opgeschort als gevolg van terugkerende problemen".

(88) Volgens de projectevaluatie van de Nederlandse steunverlenende autoriteit van 22 september 2008 verwachtte […] investeerders met betere voorstellen te kunnen benaderen indien de leiding van Mapper verder werd geprofessionaliseerd (in het evaluatierapport werd verklaard dat dit proces intussen was begonnen), een overeenkomst met TSMC werd gesloten (volgens de evaluatie was dit intussen gebeurd), en de pre-alfa-machine met succes was verscheept (volgens de evaluatie was deze verscheping gepland voor september/oktober 2008).

(89) Verder blijft de financiering volgens de projectevaluatie het grootste knelpunt. Volgens het rapport moest de eerder geplande financieringsronde worden uitgesteld tot begin 2009. Daarnaast meldde het rapport dat de grootste individuele aandeelhouder een extra lening van 7 miljoen euro had verstrekt. De tweede zachte lening werd toegekend onder de uitdrukkelijke voorwaarde dat ten eerste, een levensvatbaar financieel plan werd opgesteld om de periode te overbruggen totdat door nieuwe partijen financiering zou worden verstrekt, en ten tweede dat de waarschijnlijkheid dat nieuwe partijen zouden instappen werd vergroot.

(90) Volgens de daaropvolgende projectevaluatie van 25 maart 2009 was in de tussentijd geen voldoende externe financiering van circa 20 miljoen euro gevonden. Daarom moesten de aandeelhouders nog eens 10 miljoen euro inbrengen. […].

Plan 1 – 1e kwartaal 2008, na POL – ontwikkeling Beta-machine Begrote kosten

Pre-Alfa-machine Alfa-machine Beta-machine Totaal 2008 18 2 0 20 2009 14 10 2 26 2010 0 0 24 24

32 12 26 70 Totale kosten

19

(91) Volgens hetzelfde rapport schakelde Mapper […] in, een consultancyfirma die zich bezighoudt met het aantrekken van financiering voor technologiebedrijven in Europa, met de opdracht fondsen te vinden voor de komende financieringsronden. Volgens het rapport had deze firma vertrouwen in de financieringsronde die in april/mei 2009 zou worden beëindigd.

(92) Hieronder zijn de geplande O&O-uitgaven voor het project weergegeven voor het tweede kwartaal van 2009 die de toenmalige situatie weergeven. Bij de gewijzigde planning werd ervan uitgegaan dat in 2010 de vierde zachte lening zou worden toegekend:

O&O-uitgaven per jaar

(in miljoen euro)

Pre-alfa-machine Alfa-machine Beta-machine Totaal

2008 18 2 0 20

2009 14 2 0 16

2010 0 8 8 16

2011 0 0 10 10

2012 0 0 8 8

Totaal 32 12 26 70

(93) Na de eerste helft van 2009 bleek echter dat, ondanks de inspanningen van […], risicokapitaalinvesteerders niet bereid waren middelen te verschaffen. Volgens de Nederlandse autoriteiten hield de terughoudendheid van de investeerders verband met dezelfde problemen waarmee […] eerder was geconfronteerd. De Nederlandse autoriteiten betogen dat de huidige financiële en economische crisis de eventuele bereidheid om te investeren verder hebben aangetast. Mapper had in totaal met 75 investeerders onderhandeld, doch kon geen financiering aantrekken.

(94) In zijn financiële planning tot 2012, het jaar waarin de beta-fase moet worden voltooid, stelde Mapper vast dat financiering voor een bedrag van 8 miljoen euro nog niet zeker was. De handhaving van het bovenbeschreven tijdpad zou derhalve hebben geleid tot vertraging bij de aflevering van de operationele HVM-tool aan de industrie, die voor 2012 was voorzien. Daarom vroeg Mapper rechtstreekse subsidie aan op grond van de HTT-regeling. De onderstaande tabel geeft de huidige planning van Mapper weer, inclusief de mogelijkheid van rechtstreekse subsidie. Aldus zal het project weer op schema kunnen worden gebracht en de deadline van 2012 kunnen worden gehaald, zoals blijkt uit het onderstaande bijgewerkte overzicht:

20

O&O-uitgaven per jaar

(in miljoen euro)

Pre-Alpha-machine Alpha-machine Beta-machine Totaal

2008 18 2 0 20

2009 14 5 2 21

2010 0 5 19 24

2011 0 0 5 5

2012 0 0 0

Totaal 32 12 26 70

(95) Toen Mapper moeilijkheden ondervond bij het aantrekken van voldoende externe financiering werd besloten dat het niet langer mogelijk was alle leveranciers volledig te betalen. Het bedrijf besloot echter af te zien van de mogelijkheid om de gebruikelijke risk-and-revenue sharing partnerships (RRSP's) aan te gaan. In dergelijke constructies ontwikkelen leveranciers gewoonlijk een deel van de technologie op eigen kosten, en blijft de intellectuele eigendom die hierbij wordt gegenereerd eigendom van de risk-and-revenue sharing partner. Mapper acht een dergelijke regeling onwenselijk omdat in het geval van marktuittreding of de verkoop van het bedrijf, de koper afhankelijk zou zijn van de bereidheid van de partners om de intellectuele eigendom ook in de toekomst te blijven delen. Mapper was van mening dat het aangaan van licentieovereenkomsten dat probleem in principe zou kunnen oplossen, maar toch altijd tot een complexe rechtssituatie zou leiden die de waarde van Mapper negatief zou beïnvloeden.

(96) Daarom heeft Mapper zijn toevlucht genomen tot een andere risicodelingsovereenkomst waarbij geselecteerde partners de mogelijkheid kregen in aandelen te worden betaald en aldus aandeelhouders van Mapper te worden. Mapper hoopte dat een dergelijke regeling de kwestie met betrekking tot de intellectuele eigendom zou oplossen en daarnaast een aanzienlijke bijdrage zou leveren aan de financiering van de onderneming.

(97) Partners die een aanbod kregen om partij te zijn bij een dergelijke regeling moesten aan twee criteria voldoen:

– de technologie die zij als leverancier inbrachten moest van wezenlijk belang zijn voor het succes van Mapper;

– de mogelijkheid moest bestaan om langdurige betrekkingen met de betrokken partner aan te knopen.

(98) Alle vijf partners voldeden aan deze criteria, en zij werden in de gelegenheid gesteld deel te nemen (Catena, Technolution, Multin, Demcon, TU Delft). Zij gingen alle vijf

21

op het voorstel in. Met deze regeling werd een totaalbedrag aan kasuitgaven bespaard van 5,5 miljoen euro tot eind april 2010.

(99) De Commissie merkt op dat Mapper mogelijk door een grote investeerder zal worden overgenomen indien het project met succes wordt afgerond. Dit maakte het marktfalen waarmee Mapper werd geconfronteerd echter niet minder groot. Zoals in het bovenstaande is aangetoond kostte het Mapper de grootste moeite om voldoende externe particuliere financiering aan te trekken. Ondanks deze inspanningen en het positieve potentieel van de onderneming konden geen middelen worden gevonden.

(100) Daar het vooruitzicht van uitstappen met winst een belangrijk criterium is voor aandeelhouders om financiering te blijven verstrekken kon Mapper, een bedrijf zonder afzet dat zich slechts met één project bezighoudt, geen beroep doen op gebruikelijke RRSP's zoals gevestigde ondernemingen zouden hebben gedaan. Het financieringstekort vertraagde het project, en bracht daardoor de tijdige aflevering van een volledig operationele machine in 2012, zoals door de ITRS-roadmap wordt voorgeschreven, in gevaar. De pogingen van Mapper om fondsen te werven werden door de steunverlenende autoriteit nauwlettend gevolgd en geëvalueerd en in achtereenvolgende projectevaluaties gedocumenteerd. Er is derhalve voldoende bewijs dat de steun, zowel de in het verleden verstrekte als de geplande steun, bedoeld is om een bestaand marktfalen op te heffen. Dit marktfalen weegt bijzonder zwaar doordat Mapper zich slechts met één project bezighoudt en een KMO is.

3.9.2. Passend instrument

(101) Overeenkomstig deel 7.3.2 van de O&O&I-kaderregeling gaat de Commissie na of en in hoeverre staatssteun als een passend instrument kan worden beschouwd om O&O&I-activiteiten aan te moedigen, wanneer ook met andere minder verstorende instrumenten hetzelfde resultaat zou kunnen worden bereikt.

(102) Uit de beschikbare documentatie blijkt dat de Nederlandse autoriteiten due-diligenceprocedures hebben toegepast met betrekking tot de noodzaak en de evenredigheid van de steun en hiervan verslag hebben uitgebracht in achtereenvolgende jaarlijkse projectevaluaties. Als onderdeel van een dergelijke evaluatie werd de financiële positie en technische vooruitgang van Mapper tegen het licht gehouden. Volgens de Nederlandse autoriteiten was het de bedoeling om juist genoeg steun te verstrekken om Mapper in staat te stellen de uitvoering van het project voort te zetten en particuliere investeringen te stimuleren.

(103) Een groot deel van de steun is verstrekt in de vorm van drie rentedragende zachte leningen (14 642 miljoen euro) en een rentevrije zachte lening (1 miljoen euro) voor experimentele ontwikkeling die reeds zijn toegekend, of nog zullen worden toegekend. Het totaalbedrag aan zachte leningen stemt overeen met de toegestane steunintensiteiten die van toepassing zijn op rechtstreekse subsidies. Hoewel het bruto-subsidie-equivalent van de zachte leningen niet kon worden berekend kan zonder meer worden aangenomen dat dit veel lager zou zijn dan de toegestane steunintensiteit.

(104) De zachte leningen in kwestie zijn terugbetaalbaar, afhankelijk van het technisch succes van het project. Twee van de zachte leningen zijn reeds onvoorwaardelijk

22

terugbetaalbaar geworden omdat de dienovereenkomstige projectfasen voltooid zijn. De zachte leningen zijn rentedragend. Zij werden bovendien slechts toegekend na een positieve beoordeling van de technische en financiële vooruitzichten van elk subproject. Daarom beschouwen wij deze leningen als passend om de financieringstekorten te overbruggen waarmee elk subproject kampte.

(105) De rechtstreekse subsidie ligt 10 procentpunten lager dan de maximale steunintensiteit die is toegestaan voor industriële onderzoeksactiviteiten van middelgrote ondernemingen. Met het oog op de toekenning van de subsidie hebben de Nederlandse autoriteiten de financiële positie van Mapper opnieuw onder de loep genomen. De rechtstreekse subsidie bedraagt slechts 5,71 miljoen euro (van een totaal steunbedrag van 21,35 miljoen euro) en zal worden toegekend voor industrieel onderzoek, een activiteit die meer risico met zich brengt en die verder van de markt verwijderd is dan experimentele ontwikkeling, waarvoor uitsluitend zachte leningen beschikbaar zijn. Doel van de subsidie is een omvangrijk en onvoorzien financieringstekort te overbruggen. Volgens de evaluatie die met het oog op de subsidie werd uitgevoerd was dat financieringstekort te wijten aan de economische en financiële crisis waardoor investeerders minder geneigd zijn in projecten te stappen waarvan het rendement enkele jaren op zich laat wachten.

(106) Gezien het bovenstaande neemt de Commissie aan dat hetzelfde resultaat – namelijk dat Mapper dankzij de steun in staat werd gesteld de projectrisico's aan te pakken en zich aan de geplande roadmap te houden - niet met andere minder verstorende instrumenten had kunnen worden bereikt. Met name zijn de desbetreffende zachte leningen terugbetaalbaar bij technisch succes; zij bevatten derhalve een element van risicodeling dat vergelijkbaar is met terugbetaalbare voorschotten zoals gedefinieerd in de O&O&I-kaderregeling. De rechtstreekse subsidie wordt toegekend naar aanleiding van het gebrek aan voldoende particuliere financiering als gevolg van de huidige economische en financiële crisis. Derhalve is de betrokken steun passend in de zin van deel 7.3.2 van de O&O&I-kaderregeling.

3.9.3. Stimulerend effect en risicobeoordeling

(107) Wanneer de Commissie een individuele maatregel nader beoordeelt is het mogelijk dat de in hoofdstuk 6 van de kaderregeling vermelde indicatoren niet als voldoende bewijs van een stimulerend effect worden beschouwd, en is soms nadere onderbouwing noodzakelijk. Punt 7.3.3 van de kaderregeling vermeldt de elementen die de Commissie hierbij in aanmerking neemt: precieze omschrijving van de beoogde verandering, counterfactual analyse, mate van winstgevendheid, investeringsbedrag en tijdpad van de kasstromen, risico's van het onderzoekproject en permanente evaluatie.

(108) In het onderhavige geval dient bij de beoordeling van het stimulerend effect van de steun rekening te worden gehouden met twee tijdstippen: het eerste in 2007, toen Mapper het totaalbedrag van achtergestelde leningen voor het eerst begrootte, en in 2009, toen Mapper een aanvullende subsidie aanvroeg die in 2007 niet was voorzien.

23

3.9.3.1. Winstgevendheid en counterfactual scenario in 2007

(109) Mapper heeft in 2007 zijn oorspronkelijke businessstrategie uiteengezet. Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie werden destijds de volgende strategieën overwogen:

1. Meest gunstige strategie: Mapper ontwikkelt de technologie, bouwt verschillende testmachines (idealiter maximaal 7; momenteel 5) en wordt vervolgens overgenomen door een grote leverancier van machines waarin gebruik wordt gemaakt van Mapper-technologie. Deze strategie komt overeen met het desbetreffende project.

2. Minder gunstig: Mapper bouwt één enkele testmachine, wordt een toeleverancier van subsystemen voor een grote leverancier van uitrusting en verleent een licentie voor de intellectuele eigendomsrechten over het volledige systeem. Dit scenario werd uit het oogpunt van een investeerder als ongunstig beschouwd aangezien de terugverdienperiode voor de investering te lang werd geacht.

3. Minder gunstig: Mapper bouwt één enkele testmachine en wordt zelf een leverancier van uitrusting in samenwerking met partners die subsystemen leveren. Dat scenario werd als ongunstig beschouwd uit het oogpunt van de afnemers, aangezien afnemers dergelijke machines gewoonlijk slechts van een gevestigde leverancier kopen.

4. Zeer ongunstig: er wordt geen enkele testmachine gebouwd en er wordt overgegaan tot een "trade sale" waarbij alleen de technische haalbaarheid is aangetoond. De verkoopwaarde van Mapper zal zeer laag zijn bij gebrek aan bewijs van een functionerende machine.

(110) Mapper achtte de scenario's met één testmachine ook onrealistisch en meende dat deze tot dezelfde resultaten als het scenario zonder testmachine zouden leiden, aangezien de afnemers de technologie niet als levensvatbaar zouden beschouwen indien geen enkele machine op locatie getest zou zijn. Voorts vond Mapper de productie van één enkele testmachine riskant aangezien ingeval van een defect van deze machine het gehele project vertraagd zou worden13. Derhalve werd het scenario van één enkele machine uiteindelijk ook aan de kant geschoven wegens te onrealistisch.

(111) Op basis van de in de bedrijfstak opgedane vroegere ervaringen, werd de levering van verschillende testmachines aan de afnemers uiterst belangrijk geacht. Idealiter zou Mapper 7 tools nodig hebben, namelijk 2 voor tests op locatie bij CEA-LETI en TSMC, 1 voor waferstage-ontwikkeling, 1 voor elektron-optische ontwikkeling, 1 voor datapath-ontwikkeling, 1 voor haalbaarheidstesten en 1 back-up machine op locatie.

(112) Deze beslissing had evenwel als gevolg dat een budget van 80 miljoen euro nodig was. Mapper concludeerde dat overheidsfinanciering vereist zou zijn om deze

__________ 13 Volgens de Nederlandse autoriteiten zou bijvoorbeeld indien één lens in deze enkele machine stuk zou

gaan, het hele project 1 maand vertraging oplopen.

24

middelen samen te brengen. In een op 10.9.2007 aan de aandeelhouders gepresenteerde budgetraming is een voorgenomen overheidsfinanciering van ongeveer 15 miljoen euro opgenomen. Het enige realistische alternatief zonder steun zou de productie van één enkele testmachine geweest zijn.

(113) Derhalve zou Mapper, zonder het vooruitzicht op een aantal zachte leningen, slechts één testmachine of zelfs geen enkele testmachine hebben kunnen bouwen. Mapper zou dan het project ofwel helemaal niet uitgevoerd hebben, ofwel met een aanzienlijk kleinere reikwijdte en begroting.

(114) In onderstaande tabel zijn de O&O-uitgaven in verschillende scenario's met/zonder steun, met inbegrip van de O&O-activiteiten tot 2020, opgenomen:

Scenario 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 2016

Nr. 1: verschillende testmachines/met steun (19) (16) (17) (25) (43) (59) (78) (96) (120)

Nrs. 2 en 3: één enkele machine/ zonder steun (7) (7) (7) (7) (8) (8) (8) (9) (9)

Nr. 4: geen machine/ zonder steun; trade sale na "POL"

0 0 0 0 0 0 0 0 0

Scenario 2017 2018 2019 2020

Nr. 1: verschillende testmachines/met steun (147) (147) (147) (147)

Nrs. 2 en 3: één enkele machine/ zonder steun (18) (18) (18) (18)

Nr. 4: geen machine/ zonder steun; trade sale na "POL"

0 0 0 0

(115) De counterfactual analyse van de financiële indicatoren van het project met, respectievelijk zonder steun, is voor 2007 als volgt:

25

(116) Het scenario zonder steun is gebaseerd op de veronderstelling dat de steun door particuliere financiering vervangen zou kunnen worden. In de praktijk kon deze financiering evenwel niet gevonden worden.

(117) Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie had Mapper met het oog op de berekening van het rendement geen hurdle rate vastgesteld. Mapper zou alleen de netto-contante waarde (NPV) en de gewogen gemiddelde kapitaalkostenvoet (WACC) in aanmerking genomen hebben voor de bedrijfswaardering. Daarvoor gebruikte Mapper een WACC van 16,3%.14 In het counterfactual scenario dienden de zachte lening en de subsidie vervangen te worden door risicokapitaal. Deze moesten op hun beurt afgetrokken worden van de cash flow. Bedrijfswaardering is uiterst belangrijk voor Mapper aangezien de investeerders in Mapper uiteindelijk tot doel hebben de onderneming met een aanvaardbare winst te verkopen. Bijgevolg vormde de NPV geen beslissend element in het besluitvormingsproces van Mapper wat het counterfactual scenario (productie van één enkele testmachine) betreft.

(118) Omdat in de loop van het project bleek dat er minder particuliere middelen beschikbaar werden, deed Mapper op 1.7.2009 een aanvraag voor een aanvullende rechtstreekse subsidie. Aangezien Mapper deze extra financieringsbehoefte in 2007 niet had voorzien, moet het stimulerende effect vanaf dat tijdstip opnieuw beoordeeld worden.

__________ 14 Deze berekening berust op een referentiewaarde voor de bedrijfstak van 20% schulden/80% eigen

vermogen; kosten van de schuld van 8% (gemiddeld rendement van staatsobligaties), een risicovrije premie van 4,4%, een risicopremie van 8%, kosten van eigen vermogen van 18,9% en een belastingtarief van 25,5% (Nederlandse wet op vennootschapsbelasting).

In 2007 overwogen scenario's

Fictief scenario

Project zonder steun

Basisscenario

Project met steun

Counterfactual scenario ("één

enkele testmachine")

Intern rendementspercentage (IRR)

27,0% 28,4% 11,1%

Netto-contante waarde (NPV) 266 mln€ 285 mln€ (25) mln€

Break even punt 2015 2015 2014

Maximale negatieve cash flow (147) mln€ in 2012

(147) mln€ in 2012

(82) mln€ in 2013 en 2014

26

3.9.3.2. Rentabiliteit en counterfactual scenario in 2009

(119) Toen Mapper in 2009 een aanvraag voor een rechtstreekse subsidie indiende, was het project reeds meer geavanceerd. Op dat moment kwam de productie van een mask-writing tool in plaats van de wafer-writing e-beam tool als alternatief scenario naar boven. Mapper dacht dat de ontwikkelingsinspanningen die nodig zijn voor een mask writer en een wafer writer ongeveer zouden overeenkomen tot op het moment dat de Beta-tool tot stand komt. Derhalve zou de wijziging van het wafer writer in het mask writer-scenario geen invloed gehad hebben op de noodzakelijke financiering in 2007. Dit alternatief kwam slechts later naar voren en diende in 2009 in aanmerking worden genomen, toen Mapper de subsidie aanvroeg. Toen ging Mapper ervan uit dat indien de wafer writing-ontwikkeling zou falen, zij het wegens technische dan wel financiële redenen, deze technologie ook gebruikt zou kunnen worden voor het schrijven van maskers, die aangewend worden in de gebruikelijke masker-gebaseerde machines. Mapper beschouwde dit in het bijzonder als een levensvatbare optie omdat de specificaties voor mask writing-machines minder strikt zijn dan die voor een wafer direct-write-machine, zoals de e-beammachine waarvan sprake. Voor een mask writer-machine zijn de ontwikkelingswerkzaamheden derhalve geringer.

(120) Mapper overwoog de volgende strategieën:

1. voortzetting van de bestaande strategie, als meest gunstige oplossing beschouwd: trade sale tegen 2011 en verkoop van e-beam tools, als gepland, vanaf 2012.

2. zonder steun; minder gunstig: verkoop van de "mask-writing"-technologie in plaats van de e-beam wafer-writing-technologie; trade sale dan wel IPO in 2013; de ontwikkeling van de wafer-writer zou worden voortgezet; de verkoop van de wafer-writers zou 3 jaar later starten, vanaf 2015, in de 16 nm node, of zelfs 6 jaar later, in 2018, in de 11 nm-node.

(121) De O&O-uitgaven voor de verschillende scenario's, met/zonder steun, in miljoen euro, met inbegrip van de O&O-activiteiten tot 2010, zijn als volgt:

Scenario 2010 2011 2012 2013 2014 2015 2016

Nr. 1 met steun (17) (25) (43) (59) (78) (96) (120)

Nr. 2 mask writing zonder steun (17) (12) (12) (12) (15) (18) (18)

Scenario 2017 2018 2019 2020

Nr. 1 met steun (147) (147) (147) (147)

Nr. 2 mask writing zonder steun (18) (18) (18) (18)

27

(122) Hieronder volgt de counterfactual analyse van de financiële indicatoren van het meer geavanceerde project in 2009, met dan wel zonder steun. In deze situatie wordt rekening gehouden met de noodzaak om het project opnieuw op de rails te zetten en de 2012-deadline te halen met verschillende functionerende testmachines:

(123) De strategie nr. 2 – ontwikkeling van een mask-writing-machine – zou bij gebrek aan subsidie het meest waarschijnlijke alternatief zijn geweest. Mask writing zou evenwel veel minder winstgevend zijn geweest en de O&O-uitgaven zouden aanzienlijk lager uitgekomen zijn. Dat alternatief zou een vertraging van verschillende jaren voor de O&O-activiteiten ingehouden hebben.

(124) Derhalve was de subsidie in 2009 nodig om de planning af te stemmen op de ITRS-roadmap en de HVM-tool tijdig te realiseren. De steun komt, nog duidelijker dan in 2007, niet ten goede aan de winstgevendheid.

(125) Concluderend stelt de Commissie vast dat de steun – zowel de verleende als de geplande steun – niet bedoeld is om de winstgevendheid van het project te verhogen, maar om de financieringstekorten te dichten die het tijdige succes van het project ernstig in gevaar zouden hebben gebracht. Het project wordt met name gekenmerkt door hoge aanloopinvesteringen en zo goed als geen kasstromen uit andere activiteiten.

__________ 15 Het scenario zonder steun is gebaseerd op de veronderstelling dat de steun door particuliere financiering

vervangen zou kunnen worden. In de praktijk werd deze financiering evenwel niet gevonden.

Scenario dat voorkeur wegdraagt: wafer-

writing, als beoogd in 2009

Fictief scenario

Zonder de aanvullende

steun15

Basisscenario

Met de aanvullende

subsidie

Counterfactual scenario dat

in 2009 in aanmerking

werd genomen:

"mask writing"

IRR 27,8% 28,4% 3%

NPV 277 mln€ 285 mln€ (78) mln€

Break even punt 2015 2015 2015

Maximale negatieve cash flow

(148) mln€ in 2012

(148) mln€ in 2012

(26) mln€ in 2012

28

3.9.3.3. Investeringsbedrag en kasstromen

(126) Hoge aanloopinvesteringen, weinig onmiddellijk beschikbare kasstromen en een aanzienlijk deel van de kasstromen die pas in de zeer verre toekomst tot stand komen, worden als positieve elementen beschouwd bij de beoordeling van het stimulerende effect.

(127) Het project heeft hoge initiële investeringskosten, tot 81 miljoen euro. Mapper is als enige betrokken bij het project ter zake en zal tijdens de projectduur geen verkopen realiseren. Derhalve weegt de investering extreem zwaar op de liquiditeit van Mapper tijdens de gehele duur van het project, van 2007 tot 2012.

(128) Zoals hierboven werd beschreven, kon Mapper dankzij elk van de verstrekte zachte leningen een daarmee overeenkomend subproject ten uitvoer leggen. De Nederlandse autoriteiten gingen met name na of een zachte lening noodzakelijk was op basis van Mappers financiële plannen voor de betrokken periode en de inspanningen die het ondernam om externe particuliere financiering aan te trekken.

(129) De rechtstreekse subsidie is bestemd voor het dichten van een onverwacht financieringstekort waardoor het project vertraging had opgelopen. De redenen voor dit financieel tekort en de behoefte aan een zachte lening waren geëvalueerd in het kader van een vergelijkende selectieprocedure, nadat een openbare oproep voor steunaanvragen was gedaan. De steunregeling in het kader waarvan deze oproep was gepubliceerd, diende uitsluitend voor de instandhouding van het niveau van O&O-investeringen ondanks budgetverlagingen in de bedrijfstak als gevolg van de huidige financiële en economische crisis. De begunstigden die voldoen aan de criteria van de regeling worden geselecteerd door een onafhankelijk comité.

(130) De Commissie concludeert derhalve dat de steun een bijdrage levert tot de financiering van hoge initiële investeringskosten voor een project met grote technische risico's waarvan de opbrengsten slechts in een verre toekomst gerealiseerd zullen worden.

3.9.3.4. Risico's van de O&O-activiteiten

(131) Bij de risicobeoordeling worden met name de volgende aspecten in aanmerking genomen: de onomkeerbaarheid van de investering, de kansen op een commerciële mislukking, het risico dat het project minder productief is dan verwacht, het risico dat de uitvoering van het project ten koste gaat van andere activiteiten, en het risico dat de projectkosten de financiële levensvatbaarheid van de onderneming in gevaar brengen.

(132) Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie is de belangrijkste factor om vast te stellen of de e-beamtechnologie een commercieel succes kan worden, de mate waarin deze kostenefficiënt geproduceerd kan worden, met name ten aanzien van twee verschillende aspecten: i) de prijs en ii) de prestatie van de machine op het gebied van productiviteit. Volgens de Nederlandse autoriteiten vormde

29

productiviteitsprestatie altijd al een uitdaging voor de e-beam-lithografie en dus ook voor Mapper.

(133) Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte technische beschrijving beïnvloeden de hieronder beschreven technologische problemen het commercieel succes (overgenomen van de verstrekte documentatie):

" - Issue of data-path architecture: The massive amount of data must be streamed fast enough while applying the required corrections on the data in real-time, combined with keeping footprint, power dissipation and cost at reasonable levels.

- Issue of contamination control: Contamination must be controlled in such a way that high up-time numbers can be contained.

- Issue of patterned beams: Generating productivity with the electron optics, i.e. the 13,000 high-speed optical receiver channels must be implemented within the real-estate area and power dissipation constraints.

- Issue of full field-illumination optics: It remains to be explored how many beams can be used in parallel, to maximize throughput".

(134) De Commissie heeft de door Nederland verstrekte gedetailleerde technische informatie onderzocht. Op basis daarvan bevestigt de Commissie het feit dat het bereiken van de vastgestelde technische doelstellingen hoge risico's met zich meebrengt. Zij stelt in het bijzonder vast dat de technologie die nodig is om aan de vereisten te voldoen van de toekomstige chiptechnologiegeneraties (22-nm-technologie en hoger) zeer innovatieve oplossingen en derhalve intensieve O&O-activiteiten nodig zijn.

(135) De liquide middelen van Mapper worden uitsluitend gebruikt voor de financiering van het betrokken project. Mapper heeft geen andere commerciële activiteiten. Op basis van de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie stelt de Commissie vast dat een vertraging of mislukking van het project, de productiviteit van het project ernstig in gevaar zouden brengen. Mislukking of vertraging in de beginfases van het project zouden waarschijnlijk geleid hebben tot de beëindiging van het project en de verkoop van Mapper tegen een lage prijs. In een latere, meer geavanceerde fase zou de onderneming bij een mislukking of vertraging hebben moeten overgaan tot de minder winstgevende "mask-writing"-technologie en, indien enigszins mogelijk, tot de invoering op een later tijdstip van de e-beam wafer writing-technologie.

(136) De Commissie concludeerde derhalve dat de projectspecifieke technische risico's, die grotendeels voortvloeien uit het innovatieve karakter van het project, een bijkomend bewijs vormen van het stimulerende effect van de steun.

3.9.3.5. Permanente evaluatie

(137) Steunmaatregelen waarvoor (kleinschalige) proefprojecten zijn gepland of waarbij specifieke mijlpalen zijn afgesproken voor de beëindiging van het project bij

30

mislukking, en voor het publiek toegankelijke monitoring achteraf, worden positiever beoordeeld wat het stimulerende effect betreft.

(138) De Nederlandse autoriteiten houden in het bijzonder nauw toezicht op de activiteiten, financiering, kosten, risico's, technische mijlpalen en commerciële perspectieven van het betrokken project. De resultaten van dit toezicht worden in jaarrapporten neergelegd. Dankzij deze rapportage kan de Nederlandse financieringsautoriteit reageren in geval van mislukking of van niet behaalde doelstellingen.

(139) Derhalve wordt de steunmaatregel permanent geëvalueerd in de zin van punt 7.3.3. van de O&O&I-kaderregeling.

3.9.3.6. Conclusie betreffende het stimulerende effect

(140) De Commissie heeft het feit in aanmerking genomen dat Mapper zijn uiterste best heeft gedaan om financiering van particuliere investeerders te verkrijgen voor een veelbelovend project, namelijk de ontwikkeling van verschillende onderzoeksinstrumenten. Deze financiering was evenwel niet in voldoende mate te vinden op de markt. De Commissie was met name van mening dat de steun niet leidt tot een aanzienlijke stijging van de rentabiliteit van het project, noch de lasten van de negatieve kasstromen verlicht voor de onderneming, die geen verkoopactiviteiten ontplooit en als enige betrokken is bij het project. Voorts hebben de Nederlandse autoriteiten de noodzaak van de steun voor de begunstigde, en met name de inspanningen van de onderneming om particuliere financiering aan te trekken, regelmatig beoordeeld. Derhalve vormde de steun de enige financieringsbron met behulp waarvan Mapper het project met de voorgenomen reikwijdte kon uitvoeren, en was er dus sprake van een stimulerend effect voor Mapper.

3.9.4. Evenredigheid van de steun

(141) Overeenkomstig punt 7.3.4 van de O&O&I-kaderregeling heeft de Commissie onderzocht of de betrokken steun via een open selectieprocedure was toegekend en of de steun tot het noodzakelijke minimum is beperkt.

(142) In dat verband stelde de Commissie het volgende vast:

– de steun voor het betrokken project werd niet via een open selectieprocedure verleend. De steun werd evenwel verleend (respectievelijk, zal worden verleend) in het kader van steunregelingen en de criteria voor het in aanmerking komen voor steun zijn toegankelijk voor het grote publiek.

– Ondanks de steun diende Mapper zijn uiterste best te blijven doen om voldoende externe particuliere fondsen aan te trekken en de risico's in zekere mate te delen met zijn toeleveranciers; dit werd gerealiseerd door de wijzing van de betalingsmodaliteiten zoals hierboven is beschreven.

– Terwijl slechts in totaal 5,71 miljoen euro steun wordt verleend in de vorm van een rechtstreekse subsidie, wordt 15,64 miljoen euro verschaft in de vorm van zachte leningen. Het bedrag aan zachte leningen is daarbij niet hoger dan de

31

toegestane steunplafonds voor rechtstreekse subsidies, welke - overeenkomstig punt 5.1.2. in samenhang met punt 5.1.3. van de O&O&I-kaderregeling - 50% voor industrieel onderzoek en 35% voor experimentele ontwikkeling bedragen, met inbegrip van de verhoging die voor KMO's geldt. De zachte leningen waarvan sprake zijn daarentegen minder concurrentieverstorend dan rechtstreekse subsidies.

– Er wordt slechts een bedrag toegekend waarmee een vooraf bepaald subproject kan worden afgerond. De volgende steuntranche wordt slechts verleend wanneer het subproject een technisch succes wordt. De financieringsautoriteit houdt nauw toezicht op het project, in het bijzonder op de financiering.

– De eerste twee tranches van de zachte lening (1 miljoen euro in 2007 en 4,6 miljoen in 2008) moesten reeds onvoorwaardelijk worden afgelost.

– De steunverlenende autoriteit eiste dat Mapper zorgt voor een matching van 65% particuliere fondsen om in aanmerking te komen voor een zachte lening van maximum 35%. Derhalve zou Mapper, om een grotere zachte lening te verkrijgen, ook meer particuliere middelen hebben moeten aantrekken. Daardoor is er geen stimulans om meer overheidsmiddelen aan te vragen dan strikt noodzakelijk is en zal de financiering zo efficiënt mogelijk gebruikt worden.

– Zoals hierboven beschreven, is rente verschuldigd op de betrokken zachte leningen, behalve op één enkele zachte lening (UK-lening ten bedrage van 1 miljoen euro). Voor de IK-leningen van in totaal 14,6 miljoen euro, bedragen de rentevoeten respectievelijk 6,2%, 8,4% en 9,4%. Deze rentevoeten zijn in overeenstemming met, of overschrijden zelfs, de toepasselijke referentierentevoeten voor Nederland die voortvloeien uit de toepassing van de mededeling van de Commissie over de herziening van de methode waarmee de referentie- en disconteringspercentages worden vastgesteld 16. Indien het project succesvol wordt afgerond, zal het grootste gedeelte van het steunbedrag van 21,4 miljoen euro, namelijk 14,6 miljoen euro, dus slechts weinig beschikbare contanten voor de begunstigde opleveren. Het feit dat rente verschuldigd is, maakt het voor een steunaanvrager ook weinig aantrekkelijk om een hoger kredietbedrag dan noodzakelijk aan te vragen.

(143) Uit bovenstaande elementen kan worden afgeleid dat de betrokken steun beperkt is tot het minimum.

3.10. Negatieve effecten van de steun: beoordeling van de verstoring van de mededinging en het handelsverkeer

(144) Punt 7.4 van de O&O&I-kaderregeling bevat criteria voor de beoordeling van mogelijke negatieve effecten van O&O&I-steun. De Commissie heeft derhalve de betrokken productmarkten omschreven en is vervolgens nagegaan hoe deze productmarkten door de betrokken steun verstoord zouden kunnen worden.

__________ 16 PB C 14 van 19.1.2008, blz. 6. De toepasselijke basisrente wordt gepubliceerd door de Commissie,

http://ec.europa.eu/competition/state_aid/legislation/reference_rates.html.

32

3.10.1. De betrokken markt

(145) Met behulp van de momenteel door Mapper ontwikkelde e-beamtechnologie worden de schakelingspatronen van halfgeleider-chips op siliciumwafers geschreven. Deze machines worden gewoonlijk "lithografiemachines" genoemd17.

(146) Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie produceren momenteel slechts drie ondernemingen lithografiemachines: Canon, Nikon (beide uit Japan) en ASML (Nederland). De markt voor optische lithografie-apparatuur was in 2008 goed voor ruim 6 miljard USD. ASML is de wereldmarktleider op het gebied van optische lithografie. De gemiddelde mondiale marktaandelen waren in 2008 als volgt: ASML 64,5%, Canon 11,7% en Nikon 23,8%. Mapper heeft op dit moment geen marktaandeel.

(147) De ondernemingen die momenteel verschillende e-beam-toepassingen ontwikkelen, zijn niet op deze markt aanwezig: Mapper, Advantest, Vistec, Multi Beam Systems TEL, Advantest, IMS Nanofabrication, Molecular Imprints en EV Group, KLA Tencor.

(148) De Commissie heeft vastgesteld dat de vraag naar lithografietechnologie uitgaat van ondernemingen die halfgeleiders ontwikkelen en produceren (geïntegreerde- apparatuurproducenten) alsook van ondernemingen die halfgeleiders enkel vervaardigen (foundries)18. Volgens de door Nederland verstrekte informatie is de vraag afhankelijk van twee belangrijke factoren die de keuze van lithografiemachines beïnvloeden: i) de kostenstructuur en ii) het door de machine te schrijven patroon. Volgens de Nederlandse autoriteiten heeft de vraagzijde de volgende structuur, waarbij de maskerkosten als variabele kosten een belangrijk criterium vormen19:

– Producenten van geheugens ("Flash" en "DRAM"): zij vervaardigen grote hoeveelheden basisproducten. Geheugens zijn gebaseerd op repetitieve patronen en de vervaardiging is minder complex, waardoor de maskerkosten lager zijn. Bovendien worden de maskerkosten gecompenseerd door de grote hoeveelheid van vervaardigde producten. Het resultaat is dat producenten van geheugenmedia minder gevoelig zijn voor hogere maskerkosten/variabele productiekosten.

__________ 17 De Commissie heeft vastgesteld dat lithografie, in de context van de vervaardiging van halfgeleiders,

verwijst naar het procédé waarbij het ontwerp van een geïntegreerd circuit op de oppervlakte van een wafer wordt geëtst; punt 8, laatste zin van de beschikking van de Commissie van 1.8.2007 waarbij een concentratie verenigbaar wordt verklaard met de gemeenschappelijke markt, zaak nr. IV/M.4751, STM / INTEL / JV.

18 Beschikking van de Commissie van 28.1.2009, staatssteunzaak N 437/2008, Nano2012. 19 De Nederlandse autoriteiten ramen de maskerkosten op ongeveer 55 200 USD per masker in de 22-nm

node. De door Mapper ontwikkelde e-beam-technologie vereist geen maskers meer, maar heeft een lager productievermogen, uitgedrukt in wafers per uur, dan de maskertechnologie. Derhalve zouden grote hoeveelheden van hetzelfde wafertype de hoge maskerkosten snel kunnen compenseren.

33

– Producenten van microprocessoren: microprocessoren zijn complex; de maskers hebben een groot aantal lagen nodig en worden steeds duurder. Producenten zoals Intel leggen zich evenwel uitsluitend toe op de vervaardiging van microprocessorproducten en hun variabele kosten zijn klein in vergelijking met de vaste-uitrustingskosten.

– Producenten van logisch geïntegreerde schakelingen: foundries zoals TSMC (de onderneming die de machine van Mapper thans test) vervaardigen een groot aantal complexe chips. Aangezien deze chips complex zijn, zijn de afzonderlijke maskerkosten hoog. Aangezien de bedrijven bovendien een groot aantal producten vervaardigen, zijn de variabele maskerkosten hoger in vergelijking met de producenten van geheugenchips of microprocessoren (zie hierboven). Naar verwachting zal een typische foundry, zoals TSMC, ongeveer 150 soorten chips per jaar per productielocatie vervaardigen, waarbij voor elke chip een afzonderlijk masker nodig is. Als gevolg daarvan zullen de variabele maskerkosten ruim 350 miljoen USD per productielocatie bedragen (bij 45nm) en zullen zij als gevolg van de Wet van Moore (d.w.z. voortdurende miniaturisatie) blijven stijgen.

(149) De Commissie analyseerde ten eerste de verschillen in complexiteit en kostenstructuur van de hierboven beschreven soorten halfgeleiders. Ten tweede stelde zij vast dat e-beam enerzijds minder productief is dan de op maskers gebaseerde technologie, maar anderzijds geen dure maskers nodig heeft. Ten derde merkt de Commissie op dat de voorgenomen verkopen van Mapper in het segment "logisch geïntegreerde schakelingen" van de lithografiemarkt gerealiseerd zullen worden.

(150) Bijgevolg nam de Commissie aan dat de e-beamtechnologie, ten minste in een beginfase, veeleer gebruikt zou worden voor de vervaardiging van kleinere series chips waarbij tussen de productiegangen meer wijzigingen aan het ontwerp worden aangebracht. Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie is dit een kenmerk van logisch geïntegreerde schakelingen. Derhalve zullen de machines van Mapper hoogstwaarschijnlijk gebruikt worden door fabrikanten van logisch geïntegreerde schakelingen.

(151) Indien Mappers e-beam tool verder ontwikkeld en op de markt geïntroduceerd wordt, zou de machine alle categorieën van halfgeleiderproductie kunnen ondersteunen, van high volume tot medium en low volume-productie. De Commissie raamde dat toeleveranciers van een succesvolle e-beamtechnologie, in een eerste fase, een aandeel van verschillende honderden miljoen USD kunnen behalen van de lithografiemarkt die 6 miljard USD waard is. Volgens ramingen van Mapper zou de markt van de volgende generatie maskerloze lithografie-apparatuur, waarvan e-beam slechts één onderdeel uitmaakt, ruim 3 miljard USD bedragen in 2015.

(152) Het is derhalve mogelijk dat naar een toekomstige, meer ontwikkelde versie van Mappers machine niet alleen vraag zal zijn in het segment van de logisch geïntegreerde schakelingen, maar ook in andere segmenten van de lithografiemarkt. Derhalve zal de steun in de nabije toekomst naar alle waarschijnlijkheid een effect hebben op de gehele lithografiemarkt.

34

(153) De vraag naar lithografiemachines is mondiaal. De Nederlandse autoriteiten hebben een overzicht verstrekt van de belangrijkste producenten van geïntegreerde toestellen ("IDM" genoemd), alsmede van de foundries ("pure play" genoemd), voor het jaar 2009:

�

(154) Uit de door de Commissie onderzochte informatie blijkt dat Mapper zich prioritair toespitst op de ontwikkeling van wafer-writing-technologie. Het is evenwel niet uitgesloten dat Mapper deze technologie ook zou kunnen gebruiken voor mask-writing-machines.

(155) Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie bedraagt de verkoopprijs van een mask-writing-machine ongeveer 15 à 20 miljoen USD en worden jaarlijks 15 à 20 van de meest geavanceerde machines verkocht. De markt voor de meest geavanceerde mask writers wordt bediend door Jeol en NuFlare, beide uit Japan20. Volgens de Nederlandse autoriteiten heeft NuFlare het grootste marktaandeel. De Nederlandse autoriteiten deelden de Commissie mee dat er geen betrouwbare informatie over marktaandelen en marktomvang beschikbaar is.

(156) Volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte informatie zijn de afnemers van mask writers, de zogenaamde "merchant mask shops", zoals Toppan Photomasks en Dai Nippon Printing, en de zogenaamde "captive mask shops" van halfgeleiderproducenten zoals Intel, TSMC of Samsung. Wat het maken van maskers betreft, heeft e-beam het potentieel om de bestaande technologieën vanaf het begin te vervangen.

__________ 20 De door de Nederlandse autoriteiten gebruikte gegevens over de maskermarkt werden verstrekt door THE

INFORMATION NETWORK, een consulting en marktonderzoeksfirma op het gebied van de halfgeleider-, LCD-, HDD-, en zonne-energie-industrie.

35

(157) Concluderend kan worden gesteld dat de steun ten eerste een effect heeft op de mondiale markt van lithografiemachines en, ten tweede op de mondiale markt van mask writing-machines. De Commissie merkt op dat Mapper voorrang geeft aan de ontwikkeling van een e-beam-lithografiemachine.

3.10.2. Verstoring van de dynamische prikkels om te investeren

(158) Volgens punt 7.4.1 van de O&O&I-kaderregeling is, bij O&O&I-steun aan ondernemingen, het belangrijkste punt van zorg dat de concurrenten minder geneigd zullen zijn om te investeren. Om deze mogelijke verstoring te beoordelen, moeten volgens dit punt een aantal elementen in overweging worden genomen.

3.10.2.1. Steunbedrag

(159) Het totale steunbedrag (verleend en voorgenomen) beloopt 21,4 miljoen euro en wordt in verschillende tranches over een periode van 4 jaar, namelijk van 2007 tot en met 2010, uitgekeerd. Hoewel dit steunbedrag als hoog kan worden beschouwd in vergelijking met de omvang van de begunstigde, is dit minder relevant omdat Mapper een jong, "slechts bij één project betrokken" bedrijf is en momenteel verwaarloosbare verkopen realiseert.

(160) De Nederlandse autoriteiten hebben technische informatie verstrekt over de O&O-activiteiten die andere ondernemingen, zowel gevestigde lithografietoeleveranciers als andere ondernemingen, uitvoeren. Volgens de Nederlandse autoriteiten zijn de O&O-uitgaven vertrouwelijk en konden zij slechts ramingen verschaffen. Volgens deze ramingen zouden producenten van lithografie-apparatuur zoals ASML, Nikon en Canon over het algemeen 10 à 15% van hun inkomsten aan O&O uitgeven, hetgeen voor ASML bijvoorbeeld zou uitkomen op 400 à 500 miljoen USD per jaar.

(161) De Commissie is derhalve van mening dat het aan Mapper verleende steunbedrag klein is in vergelijking met de geschatte O&O-uitgaven in de sector als geheel.

3.10.2.2. Afstand tot de markt

(162) Slechts 5,71 miljoen euro wordt verstrekt in de vorm van een rechtstreekse subsidie voor industriële onderzoeksactiviteiten. Een bedrag van 15,64 miljoen euro werd, of zal worden, verleend in de vorm van zachte leningen voor experimentele ontwikkeling. Derhalve is het meest verstorende gedeelte van de steun (de subsidie) bestemd voor activiteiten die zich verder van de markt bevinden, en is voor de experimentele ontwikkeling een minder verstorend steuninstrument (zachte leningen) gekozen.

(163) Ongeacht de O&O-categorie is de e-beamtechnologie als zodanig momenteel niet beschikbaar op de markt. De Commissie is zich met name bewust van het feit dat alle pogingen over de voorbije 30 jaar om een e-beam-instrument te ontwikkelen dat klaar is voor productie (in termen van productiviteit), onsuccesvol zijn gebleken. Derhalve is, hoewel een groot deel van de gesteunde activiteiten experimentele ontwikkeling omvatten, het crowding-out-effect van de steunmaatregel voldoende beperkt.

36

3.10.2.3. Open selectieprocedure

(164) Zachte leningen: volgens de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte adviesrapporten werd elk van de betrokken zachte leningen toegekend op basis van de volgende criteria: nieuwheid, technische haalbaarheid, technische risico's, aanpak, begroting, commercieel perspectief, potentiële groei, financiering, noodzaak van de steun en mogelijke terugbetalingsregelingen.

(165) Rechtstreekse subsidie: de rechtstreekse subsidie, in het kader van de High Tech Top Projecten (HTT)-regeling, werd aan Mapper toegekend op basis van een open, niet-discriminerende aanbestedingsprocedure. Volgens de statuten van HTT21, worden alle in aanmerking komende voorstellen afgetoetst aan vooraf vastgestelde criteria, namelijk: bijdrage van het project tot de doelstellingen van "Point One" en/of "HTAS"22; de reikwijdte van de O&O-samenwerking, in het bijzonder de betrokkenheid van het MKB; de kwaliteit van de samenwerking met het oog op de te bereiken doelstellingen, en met name coördinatie met andere clusters; technologische en procesinnovatie; economische vooruitzichten, bijdrage tot het behouden van O&O-investeringen in internationaal onderscheidende gebieden. Dit selectie- en beoordelingsproces wordt uitgevoerd door een onafhankelijk comité dat de geselecteerde projecten op een lijst rangschikt. De financiering wordt aan projecten toegewezen in de volgorde van de lijst, van boven naar beneden, tot de middelen van deze procedure zijn uitgeput.

(166) Zowel de zachte leningen als de rechtstreekse subsidie worden verleend op basis van objectieve criteria. De rechtstreekse subsidie werd met name toegekend aan de hand van een open aanbestedingsprocedure.

3.10.2.4. Uittredingsbarrières

(167) De uittredingsbarrières zijn zeer hoog voor Mapper, aangezien het als enige bij het project ter zake betrokken is en in de nabije toekomst geen ander project zal aanbieden. De Commissie neemt aan dat deze barrières net zo hoog zijn voor KLA Tencor, dat een soortgelijke aanpak als de technologie van Mapper onderzoekt, alsmede voor Advantest, Vistec, Multi Beam System TEL, Advantest, IMS Nanofabrication, Molecular Imprints en EV Group, die alternatieve e-beamtechnologieën onderzoeken. Ook voor marktleider ASML zijn de uittredingsbelemmeringen groot, aangezien dit bedrijf toegespitst is op de lithografiemarkt en thans investeert in optische lithografie, ten einde de doelstellingen van de ITRS-roadmaps te bereiken. Ook Nikon en Canon hebben te maken met aanzienlijke uittredingsbarrières op de markt voor lithografiemachines, aangezien zij beide ook geïnvesteerd hebben in nieuwe optische lithografietechnieken.

__________ 21 Gepubliceerd op het internet op

http://www.senternovem.nl/hightechtopprojecten/financiele_steun/index.asp. 22 "Point One" en "High-tech Automotive Systems" (HTAS) zijn O&O-steunregelingen in het kader van de

"Omnibus" O&O-steunregeling.

37

3.10.2.5. Prikkels om op een toekomstige markt te concurreren

(168) Momenteel worden verschillende technologieën onderzocht om de fysieke grenzen van de toekomstige miniaturisatie te verleggen. Het overwinnen van deze grenzen is evenwel absoluut noodzakelijk, gezien de hoge kosten van het upgraden van de bestaande technologieën en de fysieke grenzen daarvan. Aangezien de door Mapper onderzochte technologie risico's inhoudt, zal de steun er niet toe leiden dat concurrenten ervan afzien alternatieve technologieën te ontwikkelen om de deadline van de bedrijfstak voor een nieuwe HVM-machine te halen, zoals beschreven is in de ITRS-roadmap. Zelfs indien de e-beamtechnologie van Mapper uiteindelijk alle categorieën halfgeleiderproducten zou ondersteunen, van high volume over medium naar low volume-productie, en daarbij ook nog het maken van maskers, zou genoeg ruimte overblijven voor meer dan één wereldwijde leverancier. Wat de markt van de vervaardiging van maskers betreft zou de machine van Mapper de bestaande technologie vanaf het begin kunnen vervangen.

(169) De steun werd sinds 2007 in tranches aan Mapper verleend, naar gelang de voortgang van het project. Uit de beschikbare informatie blijkt dat de steun andere ondernemingen niet heeft ontmoedigd om nieuwe lithografietechnologieën te onderzoeken.

(170) Het is derhalve onwaarschijnlijk dat de prikkels van concurrenten om op een toekomstige markt te concurreren, zouden verminderen als gevolg van de steun.

3.10.2.6. Productdifferentiatie en intensiteit van de concurrentie

(171) De e-beam-tool van Mapper is gedifferentieerd ten opzichte van de producten van de thans op de markt aanwezige andere lithografieleveranciers, aangezien deze gebaseerd is op een andere technologie, namelijk e-beam. ASML (Nederland), Canon (Japan) en Nikon (Japan) onderzoeken de e-beamtechnologie niet. Mapper is nog niet aanwezig op de markt. Bovendien zijn ASML, Canon en Nikon zeer grote, daadwerkelijke concurrenten.

(172) Derhalve zal Mappers machine een voldoende gedifferentieerd product zijn, bestemd voor introductie op een markt waarop reeds daadwerkelijke concurrenten aanwezig zijn.

3.10.2.7. Conclusie betreffende de verstoring van dynamische prikkels om te investeren

(173) Op basis van bovenstaande elementen oordeelt de Commissie dat de betrokken steun niet leidt tot crowding-out van concurrenten zodanig dat zij de omvang van hun oorspronkelijke investeringsplannen terug zouden schroeven.

3.10.3. Doen ontstaan van marktmacht

(174) Volgens punt 7.4.2 is marktmacht de mogelijkheid om marktprijzen, productie, aanbod of kwaliteit van goederen en diensten, of andere concurrentieparameters op de

38

markt gedurende een aanzienlijke periode te beïnvloeden – ten koste van de afnemers. De kans is evenwel klein dat de Commissie mededingingsbezwaren in verband met marktmacht vaststelt op markten waar elke begunstigde van de steun een aandeel van minder dan 25% heeft, en op markten waar de marktconcentratie, gemeten volgens de Herfindahl-Hierschman Index (HHI), minder dan 2000 bedraagt.

(175) Ten eerste heeft Mapper momenteel geen marktaandeel. Ten tweede zal de met behulp van de steun ontwikkelde technologie, ten minste niet in een eerste fase, de bestaande technologie niet vervangen en geen machtspositie op de markt doen ontstaan. Ten derde worden nieuwe lithografietechnologieën ontwikkeld door nieuwe ondernemingen en ondernemingen die reeds op de markt actief zijn. De gebruikelijke door Canon, Nikon en ASML aangeboden masker-gebaseerde lithografie blijft op de markt aanwezig. Er zijn derhalve geen aanwijzingen dat de steun in de nabije toekomst marktmacht voor Mapper zou doen ontstaan.

3.10.4. Instandhouding van ondoelmatige marktstructuren

(176) Overeenkomstig punt 7.3.4 van de O&O&I-kaderregeling gaat de Commissie na of de steun wordt verleend op markten met overcapaciteit, met krimpende industrieën of in gevoelige sectoren. Mededingingsbezwaren vallen minder snel te verwachten wanneer de O&O&I-steun erop gericht is de groeidynamiek van de sector te veranderen, met name door de invoering van nieuwe technologieën.

(177) Uit de door de Nederlandse autoriteiten verstrekte projectbeoordelingen blijkt dat Mapper als een efficiënt werkend, bij slechts één project betrokken bedrijf beschouwd kan worden.

(178) Zoals hierboven is beschreven, is de steun nu net gericht op de ontwikkeling van een nieuwe lithografietechnologie, namelijk de e-beamlithografie, die nog niet op de markt aanwezig is. Deze technologie zal de halfgeleiderindustrie in staat stellen de beperkingen van de traditionele masker-gebaseerde technologie te overwinnen en de noodzakelijke stappen te zetten naar toekomstige miniaturisatie, zoals uiteengezet is in de ITRS-roadmap. De Commissie meent dat het behalen van een resolutie van 22-nm met de lithografie-apparatuur absoluut noodzakelijk is wil de Europese fotolithografie-industrie concurrerend blijven. Voorts heeft de Commissie vastgesteld dat Mappers project in overeenstemming is met de Europese prioriteiten, zoals die zijn vastgelegd in de kaderprogramma's (KP) van de Europese Unie, en met name het ICT-onderdeel daarvan23, alsmede met het ENIAC JTI24 en de EUREKA-programma's (b.v. de micro-elektronicaclusters MEDEA+ en CATRENE)25.

__________ 23 De ruime doelstellingen van het huidige KP7 werden in vier categorieën ingedeeld: samenwerking, ideeën,

mensen en capaciteiten. Informatie- en Communicatietechnologie (ICT) is een onderdeel van het samenwerkingsprogramma van het KP7.

24 Het gezamenlijke technologie-initiatief ENIAC (JTI) inzake nano-elektronica is een onderzoeksprogramma ter bevordering van de verdere integratie en miniaturisatie van toestellen en de verbetering van hun functies. Om ENIAC (JTI) ten uitvoer te leggen werd in februari 2008 de gemeenschappelijke onderneming ENIAC JU opgericht. ENIAC JU is een publiek-private partnerschap waarin de Europese

39

(179) Zoals hierboven vermeld, zijn de O&O-uitgaven op de lithografiemarkt hoog en ondernemen momenteel verschillende ondernemingen O&O-inspanningen om nieuwe lithografietechnologieën te ontwikkelen. Dit vormt een voldoende aanwijzing dat de lithografiemarkt niet krimpt en ook niet te maken heeft met overcapaciteit.

(180) Derhalve zal de betrokken steun geen ondoelmatige marktstructuren in stand houden maar daarentegen de ontwikkeling van een nieuwe technologie in een sleutelsector ondersteunen.

3.11. AFWEGING EN BESCHIKKING

(181) Punt 7.5 van de kaderregeling bepaalt dat de Commissie een afweging maakt van de effecten van de maatregel en bepaalt of de daaruit vloeiende distorsies de voorwaarden waaronder het handelsverkeer plaatsvindt, zodanig veranderen dat het gemeenschappelijke belang wordt geschaad.

(182) In het kader van deze afweging stelde de Commissie het volgende vast:

– met de steunmaatregel wordt een specifiek marktfalen van de particuliere kapitaalmarkt, namelijk asymmetische informatie, aangepakt. Daardoor was er onvoldoende externe financiering voor het betrokken project beschikbaar.

– de betrokken steuninstrumenten, namelijk zachte leningen en één rechtstreekse subsidie, zijn een passend instrument; zij zijn beperkt tot het noodzakelijke minimum om de resultaten van het O&O-project te genereren, rekening houdend met intensiteit, terugbetalingsvoorwaarden en doelmatigheid in verhouding tot de mate van succes van het project.

– toen Mapper in 2007 een zachte lening aanvroeg, zorgde de steun voor prikkels om het project uit te voeren. De aanvullende steun naar aanleiding van de subsidieaanvraag van Mapper in 2009 zorgde bovendien voor prikkels om het project voort te zetten en de verloren tijd wegens het gebrek aan externe financiering, in te halen.

– Mapper heeft momenteel geen marktaandeel en het bedrijf zal dankzij de steun niet in staat zijn om marktprijzen, productie, aanbod of kwaliteit van goederen en diensten of andere concurrentieparameters op de markt gedurende een aanzienlijke periode te beïnvloeden – ten koste van de afnemers.

– ten laatste zal de steun geen ondoelmatige marktstructuren in stand houden. �

Commissie en de Europese lidstaten en geassocieerde staten samenwerken met AENEAS, de vereniging die de belangrijkste O&O-actoren op het gebied van nano-elektronica (ondernemingen, onderzoekscentra en universiteiten) in Europa vertegenwoordigt.

25 EUREKA is een intergouvernementeel initiatief ter bevordering van het Europese concurrentievermogen. Het ondersteunt ondernemingen, onderzoekscentra en universiteiten die pan-Europese projecten uitvoeren, om innovatieve producten, procédés en diensten te ontwikkelen. Via het EUREKA European Network krijgen projectpartners toegang tot kennis, vaardigheden en deskundigheid in Europa, en het vergemakkelijkt de toegang tot nationale openbare en particuliere financieringsregelingen. EUREKA werd in 1985 opgericht door een conferentie van de ministers van 17 landen en lidstaten van de Europese Commissie.

40

(183) Concluderend is de Commissie van oordeel dat de positieve effecten van de aangemelde steunmaatregel opwegen tegen de negatieve effecten ervan.

4. BESLUIT

(184) De Commissie besluit dat de steunmaatregel NN 39/2010 – Nederland – Individuele O&O-steun aan "Mapper", betreffende:

– de niet aangemelde steun die in het verleden toegekend werd, met name de zachte leningen UK07031, van EUR 1.000.000, IK08003, van EUR 4.642.102 en IK09002, van EUR 5.000.000;

– de voorgenomen steun die aangemeld werd vóór de tenuitvoerlegging, met name de zachte lening IK10001, van EUR 5.000.000 en een rechtstreekse subsidie van EUR 5.712.292,

verenigbaar is met de interne markt overeenkomstig artikel 107, lid 3, onder c), VWEU. Zij besloot zich derhalve niet te verzetten tegen de maatregel.

(185) De Commissie betreurt dat Nederland de bepaling van artikel 108, lid 3, VWEU, volgens welke de nieuwe steunmaatregel vóór de tenuitvoerlegging ervan moet worden aangemeld, niet heeft nageleefd.

(186) De Commissie herinnert de Nederlandse regering eraan dat, overeenkomstig artikel 108, lid 3, VWEU, voornemens om deze steunregeling anders te financieren of te wijzigen bij de Commissie moeten worden aangemeld.

(187) Voorts herinnert de Commissie de Nederlandse autoriteiten aan hun verplichting om jaarlijks een verslag over de tenuitvoerlegging van de regeling in te dienen, overeenkomstig Verordening (EG) nr. 659/199926 en Verordening (EG) nr. 794/2004 van de Commissie van 21 april 2004 tot uitvoering van Verordening (EG) nr. 659/1999 van de Raad tot vaststelling van nadere bepalingen voor de toepassing van artikel 93 van het EG-Verdrag [artikel 108 VWEU]27.

(188) Ingeval deze brief vertrouwelijke gegevens mocht bevatten die niet mogen worden bekendgemaakt, wordt u verzocht de Commissie daarvan binnen vijftien werkdagen vanaf de ontvangst van dit schrijven in kennis te stellen. Ontvangt de Commissie binnen de vastgestelde termijn geen met redenen omkleed verzoek, dan neemt zij aan dat u instemt met mededeling aan derden en bekendmaking van de volledige tekst van dit schrijven in de authentieke taal op Internet: http://ec.europa.eu/community_law/state_aids/state_aids_texts_nl.htm

__________ 26 PB L 83 van 27.3.1999, blz. 1. 27 PB L 140 van 30.4.2004, blz. 1. Verordening laatst gewijzigd door Verordening (EG) nr. 257/2009 (PB L

81 van 27.3.2009, blz. 15).

41

Dit verzoek dient bij aangetekend schrijven of per faxbericht te worden gericht aan:

Europese Commissie Directoraat-generaal Concurrentie Directoraat Staatssteun Griffie Staatssteun B – 1049 Brussel Fax No.: +32 2 296 12 42

Met bijzondere hoogachting,

Voor de Commissie

Joaquín ALMUNIA, Vice-voorzitter van de Commissie

42

Bijlage 1: Steunregeling

Subproject Subprojectkosten

(€) O&O-ketgorie

Datum van indiening van de steunaanvraag

Projectstart Projecteinde

Datum van steunverlening

Maximale Steunintensiteit Steunbedraag (zachte

lening/rechtstreekse subsidie, €)

'Uitdagesrkrediet'; zachte lening UK07031

Ontwikkeling van de pre-alfa-machine: waferstage en subframe; levering aan Leti/TSMC

3.651.174 experimenteel 19/10/2007 19/10/2007 30/09/2008 19/12/2007 35% 1.000.000

'Innovatiekrediet'; zachte lening IK08003

Ontwikkeling van platforminfrastructuur "asterix": metrologie, subframe, stage; ontwikkeling van alfa-machine-modules: beamstabiliteit, spotgrootte, fabrieksacceptatietest (FAT) bij TSMC

13.263.148 experimenteel 29/07/2008 29/07/2008 30/04/2009 14/11/2008 35% 4.642.102

'Innovatiekrediet'; zachte lening IK09002

Ontwikkeling van de pre-alfa-machines: beamstabiliteit, contaminatie, ontwikkeling van de aan TSMC te leveren pre-alfa-machine voor de site- acceptatietest (SAT)

17.015.000 experimenteel 14/01/2009 01/05/2009 28/02/2010 29/04/2009 35% 5.000.000

Subtotaal: verleende steun 10.642.102

'Omnibus' steun-regeling; rechtstreekse subsidie HTT09001

Onderzoek betreffende de beta-machine: werkgebied/bundelstroom

11.424.584 industrieel 01/07/2009 01/08/2009 31/12/2010 Intended 50% 5.712.292

'Innovatiekrediet'; zachte lening IK10001

Ontwikkeling van de alfa-machine; werkgebied, spotgrootte, stitching, FAT van alfa-machines

15.504.926 experimenteel 23/12/2009 01/03/2010 28/2/2011 Intended 35% 5.000.000

Subtotal: voorgenomen steun

10.712.292

Totaalbedraag: in aanmerking komende kosten:

60.858.832 Totaalbedrag: steun 21.354.394

43

Bijlage 2: In aanmerking komende kosten per O&O-kategorie:

Industrieel onderzoek, € Experimentele ontwikkeling, €

Rechtstreekse subsidie HTT09001

Zachte lening UK07031

Zachte lening IK08003

Zachte lening IK09002

Zachte lening IK10001

personeelskosten 381.174 5480.297 7.545.000 10.920.926

kosten van apparatuur en uitrusting 1.050.084

kosten van gebouwen en grond

kosten van contractonderzoek, technische kennis en octrooien die tegen marktprijzen worden verworven

4.470.000 1.639.500 4.573.030 3.646.000

extra algemene vaste kosten die rechtstreeks uit het onderzoeksproject voortvloeien

andere exploitatiekosten (vooral materiaal) 5.904.500 1.630.500 4.709.821 9.470.000 938.000

Totaalbedrag per subproject 11.424.584 3.651,174 13.263.148 17.015.000 15.504.926

Totaalbedrag per O&O-kategorie 11.424.584 49.434.248

Totaalbedraag van in aanmerking komende projectkosten

60.858.832