고정밀도 위치 계측 센서 › download › K1G카달로그.pdf · 2017-03-29 · 상식을...

CP-PC-2265K

고정밀도 위치 계측 센서K1G 시리즈

01-02

New High-PerformanceLaser Sensors.상식을 초월하는 성능과 기능으로

계측을 계획한대로 실현.

확인하고자 하는 변화를 파악할 수 있다.

기존의 센서는 간과했던 미세한 변화를 확실하게 검출.

평행광 레이저와 CMOS 리니어 이미지 센서를 조합하여

워크 위치를 고정밀도로 계측할 수 있습니다.

K1G series 03

03-04 K1G series

See what you previously couldn’t.확인하기 원했던 변화를 파악할 수 있다.

기존의 센서는 간과했던

미세하고 빠른 변화에

K1G 시리즈는 더욱더

변화의 시각화를 실현했습니다.

분해능 : 0.1μm

계측 주기: 500μs

새로운 가치의 실제 예시

투광부

감도(높음)

감도(낮음)

필름 등

프레넬 회절

검출체

수광부(리니어 이미지 센서)

수광 감도 이미지

WD(워크 디스턴스)

Glass 최고 레벨의 분해능(0.1μm)을 실현

투명체 검출에 강한 검출 원리

Glass 최고 레벨의 계측 주기

(500μs) 실현

WD(워크 디스턴스) 설정

프레넬 회절 현상을 이용한 아즈빌의 독자적인 FDN 알고리즘

과 초해상 기술로 계측 분해능(0.1μm), 반복 정밀도(1μm)

의 계측을 실현했습니다.

이상에 근접한 평행광을 실현하기 위해 새로운

전용 렌즈를 개발했습니다. 수광 소자에는 CMOS

리니어 이미지 센서를 채용하여 워크 위치를 시각적

으로 파악할 수 있습니다.

FDN 알고리즘에 사용하는 대량의 정보를 듀얼

엔진으로 고속 처리.

멀티 태스크 연산으로 기존 기종 대비 약 4배의

처리 속도를 실현했습니다.

워크 위치의 차이로 발생하는 근소한 오차를 보정

하는 기능을 탑재해 업그레이드된 고정밀도 검출

을 실현했습니다.


인라인 Glass 단면 검사

기존에는 작업자가 오프라인으로 확인했던 단면의

이상(결함 등) 검사. K1G 시리즈는 고속�고정밀도

인라인 계측을 실현할 수 있습니다. 단면 처리 상태

와 관계없이 고속�고정밀도로 계측할 수 있습니다.

● 프레넬 회절이란, 빛은 칼이나 필름 등 얇은 물체의 Edge에서

회절합니다. 또한, 수광부에서 회절광의 강도 분포는 워크와 수광부

간 거리 WD(워크 디스턴스)에 따라 다릅니다.

● FDN 알고리즘이란, 프레넬 회절 현상을 이용한 아즈빌의 독자

적인 서브 픽셀 처리입니다.

단면 계측부 이미지

CMOS 리니어 이미지 센서

검출 원리 이미지

05-06 K1G series

센서의 사이즈 제약으로 인해

설치 및 계측이 불가능했던 경험이 있으신가요?

K1G 시리즈는 초슬림 두께에 도전했습니다.

실물 크기

자유로운 설치.

Easily mounts anywhere.

K1G-S07

두께 8mm


초슬림 센서 헤드

센서 케이블의 중계

판넬에 설치할 수 있는

멀티 채널 컨트롤러

최대 25ｍ의 케이블 연장

두께를 우선시하여

철저하게 심혈을 기울였습니다.

검출 영역 7mm와 15mm의 2기종을

구비해 다양한 용도에도 대응할 수 있습니다.

시공성, 점검성을 고려해 판넬 마운트

타입 커넥터를 준비했습니다.

판넬 마운트 타입 중계 커넥터가 시공성,

점검성을 향상시킵니다.

1개의 컨트롤러에 최대 4대의 센서 헤드를 접속

할 수 있으며 2종류의 센서 헤드와 혼재할 수도

있습니다.

기존 제품보다 최대 연장 거리가 대폭 향상되었습

니다. 케이블 길이의 제약을 받지 않으므로 장소

에 관계없이 자유롭게 설치할 수 있습니다.

또한 가동부에서의 사용을 고려하여 내굴곡 케이블

도 준비했습니다.


반도체 제조장비에서의 웨이퍼 얼라이먼트

소형 센서 헤드를 채용하여 얼라이먼트 유닛을 소형화해

장비 전체에 차지하는 공간 면적 절감에 공헌합니다.

다양한 표시의 제품군

기존 사이즈

센서 케이블 ( 판넬 마운트 커넥터 탑재 )

컨트롤러측 케이블

(커넥터 탑재)

장비의 소형화에 공헌

50mm

8mm

15.3mm

62.5mm

34mm

20mm

표준 타입

내굴곡 타입

웨이퍼 얼라이먼트부 이미지

07-08 K1G series

Less wasted time.시간 낭비 절감.

K1G 시리즈는 「계측」에 이르기까지의 작업 시간을

완벽하게 절감할 수 있는 기능을 탑재했습니다.

센서의 선정・설계

다양한 계측 모드 탑재

사용자 테스트 모드 탑재

멀티 연산기능 탑재

연산 결과의 출력 예

AO1: Ch2 - Ch1, AO2: Ch3 - Ch1, AO3: Ch4 - Ch1　

(Ch2+Ch3+Ch4)

3AO4: - Ch1

차광 폭 계측 입광 폭 계측 Edge 위치 계측

1개의 센서로 최대 2부분의 위치를 동시에 계측

할 수 있습니다. 이에 따라 Edge 위치, 차광 폭,

입광 폭의 계측 등 다양한 어플리케이션에 1대

로 대응할 수 있으므로 기기 선정 공수를 절감

할 수 있습니다.

K1G 시리즈 컨트롤러는 아날로그 출력 및

디지털 출력을 임의로 변경할 수 있는 「사용자

테스트 모드」 를 탑재했습니다. 장비를 가동

하기 전에 결선 상태를 확인할 수 있습니다.

멀티 채널 컨트롤러는 채널간 데이터를 연산할 수

있습니다. 이에 따라 상위 기기의 프로그램 작성 시간

을 절감하여 두께 및 폭을 간단하게 계측할 수 있습

니다.

Ch1Ch2

Ch3Ch4

리드 없음 필름 없음 필름 있음 Hole 부분

리드 있음리드 피치 내경 투명 필름

이벤트 발생 전후의

계측 데이터

센서의 설치 장비의 실행 ~ 가동

전용 설정 도구로

계측 데이터 취득

「오염 검출기능」 을 탑재했습니다.광축 조정기능 강화

계측 주기 500μs에서 취득한 데이터

를 수집할 수 있습니다. 상위 기기

와 접속하지 않고 계측 상태를 확인

할 수 있으므로 장비를 원활하게

실행할 수 있습니다.

검출면의 오염이나 외란광에서 정상적인 계측에 영향을 미치기 전에 출력할

수 있으므로 예방 보전에 공헌하고 점검에 소요되는 시간을 절감할 수 있습니다.

기존 기종보다 「광축 조정기능」 을 업그레이드했습니다.

센서 헤드에 수광 표시등을 탑재하여 조정 시간을 대폭

절감하는데 공헌합니다.

지금까지의 상식을 뒤엎는

「이벤트 로그기능」 탑재

이벤트 출력 발생시 수광 분포와 발생

전후 32점의 계측 데이터를 컨트롤러

에 저장할 수 있습니다. 이에 따라 현장

에서 문제가 발생한 경우 원인을 구명

하고 대책을 마련하는 시간을 절감할

수 있습니다.

이벤트 출력 발생시

수광 분포

이벤트 발생전

이벤트 발생후

이벤트 발생

이상 상태

09-10 K1G series

Ethernet

Stepping up to a new level of measurement.

멀티 채널 컨트롤러는

오픈 필드 네트워크의 MECHATROLINK-Ⅲ에 대응합니다.

이에 따라 계측 데이터의 통신화를 실현하여 기존에는 없던 가치를 제안합니다.

새로운 계측 스테이지로

스테핑 모터

리모트 I/O

(주식회사 엠시스템 기술연구소)

태블릿 단말

Σ-7 (주식회사 야스카와전기)

K1G-C04M

MP3300 （주식회사 야스카와전기)

GP4000 (Pro-face)

서보 모터

고정밀도 위치 계측 센서

모션 컨트롤러

표시기

PLC

Wi-Fi

공간절약・배선절감 실현 채널간 동기화

인간 기계 인터페이스(Man Machine Interface)와의 설정・

조정을 더욱 편리하게

최고 속도 100Mbps의 고속 통신과 신뢰성이 높은 프로토콜로 계측

데이터의 통신화를 실현합니다. 입력 출력의 배선은 2개이므로 배선

개수를 대폭 절감하고 공감절약을 실현할 수 있습니다.

Pro-face 프로그램 표시기 GP4000 시리즈를 사용하면 K1G 시리즈의 모든 파라미터를 설정하고

확인할 수 있습니다. 또한 Pro-face Remote HMI를 사용하면 Wi-Fi로 소지한 태블릿 단말에서 확인

및 설정도 할 수 있습니다.

사진은 이미지입니다.

기존 배선 배선절감 실현

MECHATROLINK-III는 데이터의 동기성이 보증된 통신이므로

네트워크상의 모든 기기와 동기화한 데이터를 간단하게 전송할

수 있습니다. 작업 변경시 동작 확인 및 문제 발생시 원인 구명

등에도 활약합니다.

POINT 3

POINT 2

POINT 1

POINT 1 POINT 3

POINT 2

■

11-12 K1G series

■ 프레스재의 내경 계측 ■ Glass 기판의 XYθ 계측 ■ Glass 기판의 이상 판별

0.1μm 분해능을 실현하여

고정밀도로 계측할 수 있습니다.

「오염 검출기능」을 탑재하여

예방 보전에 공헌할 수 있습니다.

3채널 센서 헤드를 멀티 채널 컨트롤러에 접속하여 Glass 기판의

차이량 연산(X, Y, θ)을 프로그램 없이 실현할 수 있습니다.

응답 속도 500μs를 실현하여 반송중인 Glass 기판의 이상을 놓치지

않습니다. 이벤트 로그기능을 탑재하여 문제 발생시 상황을 신속

하게 해석할 수도 있습니다.

■ 필름의 시트 두께 계측 ■ 롤러의 간격 계측 ■ 전자 부품의 이품종 혼입

컨트롤러에는 최대 4채널의 센서를 접속할 수 있고 여러 부분과

동기화하여 계측할 수 있어 정확한 계측을 실현할 수 있습니다.

평행광 레이저와 이미지 센서를 조합하여

워크 Edge 위치를 고정밀도 계측할 수 있습니다.

0.1μm 분해능을 실현하여 고정밀도로 계측할 수 있습니다.

센서 헤드가 소형이므로 제한된 공간에서

인라인 계측을 실현합니다.

적용 실례

■ 웨이퍼 얼라이먼트 ■ 필름의 사행 계측

투명도가 높은 Glass 웨이퍼나 갈륨 비소 웨이퍼도 고정밀도로

안정적으로 계측할 수 있습니다.

센서 헤드 2채널로 컨트롤러의 연산기능을 사용하여 사행 계측

과 필름 폭 계측을 동시에 실현합니다.

Applications

K1G-S07

K1G-S15

K1G-L S□□ K1G-R S□□

투광기

커넥터 설치 Hole 치수

설치판 두께 0.5 ~ 2mm

투광기

수광기

수광기

4.6

±0.0

5

6.5

±0.0

5

17.4+ 0.1 0

+ 0.1 013.8

8 8

13.213.2

20 20

(19.9)

34 34

(6)

7.65 7.65

L min L min

(8) (8)

(8) (8)(50) (50)

(50) (50)

(20) (20) (20) (20)

(φ5.7

)

(φ6.4

)

(19.9) 6.3 6.3

3.4

23.1

5

23.1

53.48.8 8.8

200m

in

200m

in

62.5

62.5

19.9

5

19.9

5

(23)

27.2

(19.9)

27.215.3 15.3

(19.9)(7.3) (7.3)

200m

in

200m

in

3.4

28.3

28.3

3.4

(10.3

) (10.3

)

(10)

(4) (4)

(３)

8.8 8.8

50

50

3x3.2 Hole

3x3.2 Hole 3x3.2 Hole

3x4 3x4

3x3.2 Hole

투광기 표시등(녹색)

커넥터 커넥터

커넥터 커넥터

마크 튜브마크 튜브

열수축 튜브 열수축 튜브

열수축 튜브

열수축 튜브

수광기 표시등(녹색)

SERIAL No.

마크 튜브

주의1 주의1

주의1: 모든 투광 범위 세로 10 × 가로 3

주의2: 측정 중심 위치

주의2

주의2

SERIAL No.

Specifications

형번 K1G-S07 K1G-S15

형상

접속 컨트롤러 K1G-C04 □

검출 방식 투과형 ( 투광기 , 수광기 세트 )

측정 거리 10 ~ 500mm 10 ~ 1000mm

측정 범위 7mm 15mm

광원 적색 반도체 레이저 ( 발광 피크 650nm) JIS Class1

표준 검출 물체 불투명체 Knife Edge

반복 정밀도 ± 1um 이하 ※ 1

이동 정밀도 ± 20um 이하 ※ 2

온도 특성 0.1%F.S./℃

표시등 동작 표시등 노란색 LED

사용 온도 범위 0 ~ 50℃

보존 온도 범위 -20 ~ +70℃ ( 결빙되지 않을 것 )

사용 주위 습도 30 ~ 85%RH( 결로되지 않을 것 )

내진동 9.8m/s2(10 ~ 55Hz), X, Y, Z 각 방향 2 시간

보호 구조 IP40(IEC 규격 )

접속 방식 커넥터 코드　220mm

형번 SD WD 검출체 위치 평균 횟수

K1G-S07 20mm 10mm측정 중심 위치 64 회

K1G-S15 100mm 50mm

제품 이미지 형번 < （） 안은 케이블 길이 > 타입 제품 개요

K1G-L□□S ※3

K1G-L01S(1m)

표준

중계 케이블

( 표준 타입 )

2 개입

K1G-L03S(3m)

K1G-L05S(5m)

K1G-L10S(10m)

K1G-L25S(25m)

K1G-R□□S ※3

K1G-R01S(1m)

내굴곡

중계 케이블

( 내굴곡 타입 )

1 개입K1G-R03S(3m)

형번 SD WD 검출체 위치

K1G-S07 20mm 10mm 검출 폭 중심 위치에서 0.5mm 이동시K1G-S15 100mm 50mm

※1: 정밀도 사양은 주위 온도 23±2℃에서 하기의 조건입니다.

■ 센서 헤드 제품 사양 ■ 센서 헤드 외형치수도 (단위: mm)

■ 중계 케이블 사양

■ 중계 케이블 외형치수도 (단위: mm)

SD: 투수광기간 거리 WD: 계측 대상과 수광기간 거리

※2: 정밀도 사양은 주위 온도 23±2℃에서 하기의 조건입니다.

※3: □□에는 케이블 길이가 기재됩니다.


K1G-C04G 48 43.813011

96

91.4

110

단자 나사 M3설치 기구(부속품)

마크 튜브400min

R

E



4.6

±0.0

5

6.5

±0.0

5

17.4+ 0.1 0

+ 0.1 013.8

13-14 K1G series

Specifications

형번 K1G-C04G K1G-C04M

형상

접속 센서 K1G-S □□

접속 센서 수 4대

표시

최소 표시 단위 0.1μm

표시 범위KG-S07 접속시 0 ~ 7mm or ±3.5mm

KG-S15 접속시 0 ~ 15mm or ±7.5mm

계측 주기 ( 출력 갱신 주기 ) 500μs/1ms(전환)※1

아날로그 출력

4점: 4-20mA 전류 출력

또는 1-5V 전압 출력

(모든 점 일괄 전환)

−

디지털 출력8점: 트랜지스터 출력 NPN

또는 PNP(모든 점 일괄 전환)※2−

디지털 입력

4점: 무전압 접점 및

오픈콜렉터 NPN

또는 PNP(모든 점 일괄 전환)

−

통신기능 RS -485(Modbus RTU) MECHATROLINK-III

전원 전압 DC12 ~ 24V ±10%

사용 온도 범위 0 ~ 50℃(밀착 설치인 경우에는 0 ~ 35℃)

보존 온도 범위 -20 ~ +70℃(결빙되지 않을 것)

사용 주위 습도 30 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)

내진동 2m/s2(10 ~ 60Hz), X, Y, Z 각 방향 2시간

보호 회로 전원 역접속 보호

※1: 사용할 케이블 길이에 따라 선택할 수 있는 계측 주기가 다릅니다.

하기의 표를 참고하여 계측 주기에 따라 케이블 길이를 선택해 주십시오.

※2: 오픈콜렉터 출력은 아닙니다.

그림에서 R 및 E는 접속할 센서 헤드를 나타냅니다.

R: 중계 케이블을 통해 수광기에 접속(마크 튜브 포함)　E: 중계 케이블을 통해 투광기에 접속　

■ 컨트롤러 제품 사양

■ 컨트롤러 외형치수도 (단위: mm)

■ 센서 헤드 케이블 외형치수도 (단위: mm)

단자 배열

■ 컨트롤러 선택사양

제품 이미지 형번 제품 개요

81441421-001 컨트롤러용 앞면 보호 커버

형번계측 주기

500μs 1ms

K1G-L□□S 20m 이하 25m 이하

K1G-R□□S 5m 이하 10m 이하

단자 번호 A C F

1 전원 DC12-24V RS-485 DA AO1 +2 전원 0V RS-485 DB AO1 -3 FG RS-485 SG AO2 +4 - DI1 AO2 -5 DO1 DI2 AO3 +6 DO2 DI3 AO3 -7 DO3 DI4 AO4 +8 DO4 - AO4 -9 DO5

센서 헤드 접속부12 DO611 DO712 DO8

A-A

0.1

0.12-φ 8 ±0.1

4-M5

2-R2

6-C1

8-M3

50

12

5

25

34

5 18 22

C0.5(전체 둘

레)

30 28.3 ±0.1

13.2

±0.1

L ＋

5.2

±0.1

L ＋

31.

6 ±

0.1

L ＋

50

L ±

0.1

30

110

2-φ 4.5 ±0.1

AA

L: 20 ~ 300mm

K1G-C04G 48 43.813011

96

91.4

110

단자 나사 M3설치 기구(부속품)

마크 튜브400min

R

E



4.6

±0.0

5

6.5

±0.0

5

17.4+ 0.1 0

+ 0.1 013.8

센서 헤드의 설치에 대해 참고 정보

Attachment

설비, 장비에 설치할 때 필요한 각종 부품의 참고 정보입니다. 실제 용도, 사용 환경에 따라 선정�사용해 주십시오.

또한 센서의 설치 위치 미세 조정, 작업 변경시 위치 변경 등에는 간이 조정 유닛을 검토해 주십시오.

주식회사미스미의 상품 정보에 대해서는 하기를 참고하여 직접 문의해 주십시오.

■ http://jp.misumi-ec.com/mech/

■ 주문 및 거래에 대해

0120-343-066 8:00 ~ 20:00(일요일�연말연시 제외)

■ EC 서비스에 대해　　　

03-3647-7427 9:00 ~ 12:00, 13:00 ~ 18:00(주말, 국경일, 연말연시 제외)

■ K1G 전용 설치 도구

제품 이미지 형번 제품 개요

SZ-D01

설정 표시기 (5.7 인치 )

전용 스탠드

로더 케이블

K1G 와 설정 표시기를

접속할 때 필요합니다 .

81442773-001DC 잭 케이블

AC 어댑터와 설정 표시기를

접속할 때 필요합니다 .


간이 조정 유닛 예

1 2

3 4

5 6

조합 예

1

3

4

3

2

센서 헤드 설치 브라켓

제작시 오른쪽 참고도를 참고해 주십시오 .

K1G-S07

설치 브라켓

제작용 참고도 형번 K1G-S07용

주식회사미스미 제품

번호 상품명 형식 ( 주식회사미스미 제품 )

1 원형 기둥－편단 수나사 편단 암나사－ SETG12-300-M8-N8

원형 기둥－양단 암나사－ SETF12-200-M8-N8

스탠드 브라켓 CLTS12

컴팩트 기둥 클램프 동일 내경 직교 SLKDR12

【표준】Ｘ축 크로스롤러식 XCRS 시리즈

X 축 전송나사식 스트로크 선택 타입 XSENC 시리즈

2

3

4

5

6

1

[주의] 이 자료의 기재 내용은 예고없이 변경되는 경우가 있으므로 양해 부탁드립니다. (05)

【일본 본사 • 제조처】

도쿄 치요다구 마루노우치 2-7-3 도쿄빌딩

URL: http://www.azbil.com/

아즈빌주식회사

일본어판 수

2014년 5월 초판 발행

【한국 법인 • 판매처】

서울특별시 구로구 디지털로 31길 12 태평양물산빌딩 11층

TEL: (02)2168-7800 FAX: (02)761-9363

URL: http://kr.azbil.com/

한국아즈빌주식회사

2015년 2월 초판 발행(KR Y)

K1G series

Sensors

K1G-S07 | Measurement Width 7mm K1G-S15 | Measurement Width 15mm

Controllers

K1G-C04 | 4ch Controller

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