ULVAC Inc 规格品事业部商品综合目录

Vol04Chinese

Pa (Nm-2) Torr (mmHg) Bar kgcm-2 Psi (lbin-2) atm 水柱 (15)m

1 7500 62times10-3 10-5 1019 72times10-5 1450 38times10-4 9869 23times10-6 1020 63times10-4

133322 1 1333 22times10-3 1359 51times10-3 1933 68times10-2 1315 79times10-3 1360 73times10-2

105 750062 1 1019 72 14503 8 0986 923 10206 3

9806 65times104 735559 0980 665 1 14223 4 0967 841 10009 0

6894 75times103 51714 9 6894 75times10-2 7030 69times10-2 1 6804 59times10-2 0703 702

1013 25times105 760 1013 25 1033 23 14696 0 1 10341 6

9797 82times103 73489 7 9797 82times10-2 9991 0times10-2 1421 06 9669 70times10-2 1

1 lbin-2 = 144 lbft-2 1 short tonft-2 = 0945 08 atm psi pound per square inch

压力单位换算

Pam3s-1 TorrLs-1 atmcm3s-1 mbarm3s-1 molecules-1 sccm

1 7500 62 9869 23 10 2651 65times1020 5921 540times102

0133 322 1 1315 79 1333 22 3535 23times1019 78947 4

0101 325 076 1 1013 25 2686 78times1019 60

01 0750 062 0986 923 1 2651 65times1021 59215 40

3771 24times10-21 2828 67times10-20 3721 92times10-20 3771 24times10-20 １ 2233 15times10-18

1688 75times10-3 1266 67times10-2 1666 67times10-2 1688 75times10-2 4477 97times1017 1

molecule 是理想气体 (0的值) sccm standard cubic centi meter per minute

流量单位换算

排气速度以及流导的换算

真空排气计算 (粘性流领域)

m3s-1 Ls-1 Lmin-1 cm3s-1 m3hr-1 ft3s-1

1 103 6times104 106 3600 3531

10-3 1 60 103 36 3531times10-2

1667times10-5 1667times10-2 1 1667 006 5885times10-4

10-6 10-3 006 1 36times10-3 3531times10-5

2778times10-4 0277 8 1667 2778times102 1 9808times10-3

2832times10-2 2832 1699times103 2832times104 1019 52times102 1

(1) 在导入气体量QL的同时并维持压力固定的情况下按照以下步骤用公式A求真空容器内压力Pc的值

(2) 体积V的真空容器压力从P1真空排气至P2情况下求所需要的时间可按照以下的步骤用公式B来进行计算另如需求得良好精度可对压力范围细分后计算再合算

求得排气时间 ΔtΔt=23timesV S1times Log10 (P1P2)

求得真空容器压力PcPc= (QL+QV) S1+P0

Ａ B

求得配管的流导CC=1349 times d4L times PAV

求得有效排气速度S1 S1=1 (1S0+1C)

油回转真空泵干泵罗茨泵等所用到的粘性流领域真空排气场合的排气计算方法进行介绍(实际情况下根据容器配管形状内部物质泄漏量放出气体等存在计算偏差还请预先理解)

V真空容器体积V (m3)L 配管长度 (m)d 配管直径 (m)QL 导入气体量 (Pam3sec)QV 真空容器内气体放出量 (Pam3sec)

S0 真空泵的排气速度 (m3sec)S1 有效排气速度 (m3sec)PAV 配管内平均压力 (Pa)P0 真空泵单体的到达压力 (Pa)假设P1 (Pa)gtP2 (Pa)

Pc 真空压力容器 (Pa)C 配管的流导 (m3sec)Δt 排气时间 (sec)

Contents

真空泵 6干泵 8干泵节电装置 12油回转真空泵 14油回转真空泵相关配件 18真空泵油 21罗茨泵 22涡轮分子泵 24油扩散泵 28溅射离子泵 30钛升华泵 31吸附泵 31

真空阀门 32

真空计 35校正服务JCSS 35

传感器单体型真空计 36

通用型真空计 39

气体分析仪 40

检漏仪 42

电源 (DCRF) 44DC电源 44小容量DC电源 45DC电源配件 46DC脉冲电源 47RF电源 48

EB电源EB枪 50EB电源 51EB枪 52

成膜控制 54水晶振荡式成膜控制器传感器水晶板 54光学式过程监测器 56装置诊断系统 56

真空搬送机械手 57

薄膜测定 58分光椭偏仪 58

真空机械构成部品 62真空配管部品 62

超高真空配管部品 64

分子间力相互作用解析 66

微量精密搅拌机 67

目录

P6真空泵

P32真空阀门

P35真空计

P40气体分析仪

P42检漏仪

P44电源 (DCRF)

P50EB电源EB枪

P54成膜控制

P57真空搬送机械手

P58薄膜测定

P62真空机械构成品

P66分子间力相互作用解析

P67微量精密搅拌机

4

溅射设备

真空热处理炉

设备装置使用范例

真空阀门(摆动阀)

分子泵

干泵干泵节电装置

分子泵

真空阀门(摆动阀)

气体分析仪

真空计(复合电离真空计)

真空搬送机械手

真空阀门(真空角阀)

异常放电防止器DC电源

匹配器RF电源控制面板

真空计(复合电离真空计)

气体分析仪

真空阀门(真空角阀)

油雾过滤器

油回转真空泵

油扩散泵

光学式过程监测仪

工艺气体

5

蒸发设备

检漏设备

油雾过滤器

油回转真空泵

罗茨泵

检漏仪

真空计(皮拉尼真空计)

氦气

真空计(复合电离真空计)

水晶振荡成膜控制器传感器

气体分析仪

EB枪

真空阀门(真空角阀)

油扩散泵

油雾过滤器

油回转真空泵EB电源

EB枪控制器

真空阀门(真空角阀)

真空泵 选型指南

选型指南

6

分子泵

通过数万rpm的高速回旋分子翼形成真空~超高真空特征是非气体储存式可实现连续排气

干泵多段罗茨型

由于排气室不使用油可形成洁净的真空排气另外由于没有油所以也不存在油和活性气体的反应可用于CVD刻蚀等工艺

溅射离子泵

利用被溅射出来的活性钛的吸附作用来获得高真空的泵此类型泵的特征是不存在回转机构

钛升华泵

直接对钛进行加热蒸发产生活性钛吸附气体分子进行排气

油回转真空泵旋片型

压缩效率高低振动在工业上使用最为广泛

油回转真空泵滑阀型

坚固比较能抵抗异物适当的定期保养可保持较长的使用寿命

油扩散泵

利用油蒸汽喷射对气体进行排气与油回转真空泵组合使用形成高真空

机械泵罗茨型

在干泵或油回转真空泵的排气速度较为低下的压力带使用可大幅度增加排气速度

Rotation Direction

Outlet (Low Vacuum side)

Movingblade

Stationaryblade

Movingblade

Stationaryblade

Rotation Direction

Inlet (High Vacuum side)

ElectronGas Atom

IonTitanium Atom

N S

+- -

Tita

niu

m

Tita

niu

m

单位Pa

商品名称 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

干泵

LRHRUR seriesLS seriesCR series

GR series

油回转真空泵

VD seriesVS series

PVD seriesPKS series

罗茨泵PMB series VerD

PRC seriesPMB-C series

涡轮分子泵

UTM-FWFH seriesUTM-MI series

UTM300BUTM series

油扩散泵ULK series

PFL series油扩散喷射泵 PBL series溅射离子泵 Acter Pump PST series

钛升华泵 PGT series

干泵螺杆型

进入到由转子和气缸区分的漕里的气体根据转子的回转被移送排出

Cylinder

Rotor

Inlet

Outlet

真空泵 选型指南

选型指南 ( 应用例 )

7

可燃性气体排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarrHe密封式样防爆电机带电防止皮带油雾过滤器rarrHe密封式样

干泵rarrGR系列吸气侧对策 导电性配管充入N2排气侧对策 导电性配管充入N2

水蒸气排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr气镇阀油交换油水分离器干泵rarr气镇阀使用

吸气侧对策 高温蒸汽的情况下为水冷捕集器排气侧对策 在泵体内安装阻止水分回流的配管

伴有粉尘排气的实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr油交换油种类变更探讨油净化装置追加

干泵rarr从吸气口的充入气体气镇阀吸气侧对策 粉尘过滤器排气侧对策 防止因粉尘堵塞产生加压造成破裂的危险

升华性气体排气实例及注意事项

泵对策 高温型干泵UR系列＋气镇气体 (N2)导入吸气侧对策 稀释气体导入 (N2)配管加热排气侧对策 配管加热

He密封式样是指

油回转真空泵的仕样之一检测He漏量1times10-6 (Pam3s)以下漏量为基准的泵

升华性气体是指

升华性气体是从气体状态下经过冷却或压缩不经过液化直接固化的气体在电子装置和显示器制造的CVD或干蚀刻过程中发生的升华性气体很多会变成坚硬物质使泵运转困难

＜注意事项＞水分凝缩油质劣化

真空泵除了可以对清洁的空气之类的气体排气以外也可在以下的应用中使用推荐 可以使用 根据条件可以使用

＜注意事项＞混入异物配管堵塞

＜注意事项＞反应生成物(固体) 的析出

＜注意事项＞氧气混入 (泄漏)火花热引火爆炸极限

商品名称 型号 水蒸气 可燃性气体 粉尘 升华性气体

干泵

LR series

HRUR series

LS series

CR series

GR series

油回转真空泵

VD series

VS series

PVD series

PKS series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

关于IE3马达的注意事项

根据高效规制制度虽然施行IE3马达的切换但与常规马达（IE1）相比启动电流变得偏高尤其关于大型（55KW以上）的泵启动电流值与常规标准效率的马达相比较变得偏高因此有必要检查主电源设备（断路器和过载保护设备） 购买时请确认电源容量

气镇阀是指

作为吸收水蒸气等的凝缩性气体的对策有了气镇阀装置如果吸收凝缩性气体通过泵体内的压缩工程被压缩凝缩成液体混入到油之中干泵的情况下会残留于泵内部为了防止此情况便打开气镇阀装置导入适量的空气或氮气至压缩室凝缩的气体将不会被液化以气体的形式完成排气这就是气镇阀的效果

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

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邮编017000

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70

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253-8543 Japan

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Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

Pa (Nm-2) Torr (mmHg) Bar kgcm-2 Psi (lbin-2) atm 水柱 (15)m

1 7500 62times10-3 10-5 1019 72times10-5 1450 38times10-4 9869 23times10-6 1020 63times10-4

133322 1 1333 22times10-3 1359 51times10-3 1933 68times10-2 1315 79times10-3 1360 73times10-2

105 750062 1 1019 72 14503 8 0986 923 10206 3

9806 65times104 735559 0980 665 1 14223 4 0967 841 10009 0

6894 75times103 51714 9 6894 75times10-2 7030 69times10-2 1 6804 59times10-2 0703 702

1013 25times105 760 1013 25 1033 23 14696 0 1 10341 6

9797 82times103 73489 7 9797 82times10-2 9991 0times10-2 1421 06 9669 70times10-2 1

1 lbin-2 = 144 lbft-2 1 short tonft-2 = 0945 08 atm psi pound per square inch

压力单位换算

Pam3s-1 TorrLs-1 atmcm3s-1 mbarm3s-1 molecules-1 sccm

1 7500 62 9869 23 10 2651 65times1020 5921 540times102

0133 322 1 1315 79 1333 22 3535 23times1019 78947 4

0101 325 076 1 1013 25 2686 78times1019 60

01 0750 062 0986 923 1 2651 65times1021 59215 40

3771 24times10-21 2828 67times10-20 3721 92times10-20 3771 24times10-20 １ 2233 15times10-18

1688 75times10-3 1266 67times10-2 1666 67times10-2 1688 75times10-2 4477 97times1017 1

molecule 是理想气体 (0的值) sccm standard cubic centi meter per minute

流量单位换算

排气速度以及流导的换算

真空排气计算 (粘性流领域)

m3s-1 Ls-1 Lmin-1 cm3s-1 m3hr-1 ft3s-1

1 103 6times104 106 3600 3531

10-3 1 60 103 36 3531times10-2

1667times10-5 1667times10-2 1 1667 006 5885times10-4

10-6 10-3 006 1 36times10-3 3531times10-5

2778times10-4 0277 8 1667 2778times102 1 9808times10-3

2832times10-2 2832 1699times103 2832times104 1019 52times102 1

(1) 在导入气体量QL的同时并维持压力固定的情况下按照以下步骤用公式A求真空容器内压力Pc的值

(2) 体积V的真空容器压力从P1真空排气至P2情况下求所需要的时间可按照以下的步骤用公式B来进行计算另如需求得良好精度可对压力范围细分后计算再合算

求得排气时间 ΔtΔt=23timesV S1times Log10 (P1P2)

求得真空容器压力PcPc= (QL+QV) S1+P0

Ａ B

求得配管的流导CC=1349 times d4L times PAV

求得有效排气速度S1 S1=1 (1S0+1C)

油回转真空泵干泵罗茨泵等所用到的粘性流领域真空排气场合的排气计算方法进行介绍(实际情况下根据容器配管形状内部物质泄漏量放出气体等存在计算偏差还请预先理解)

V真空容器体积V (m3)L 配管长度 (m)d 配管直径 (m)QL 导入气体量 (Pam3sec)QV 真空容器内气体放出量 (Pam3sec)

S0 真空泵的排气速度 (m3sec)S1 有效排气速度 (m3sec)PAV 配管内平均压力 (Pa)P0 真空泵单体的到达压力 (Pa)假设P1 (Pa)gtP2 (Pa)

Pc 真空压力容器 (Pa)C 配管的流导 (m3sec)Δt 排气时间 (sec)

Contents

真空泵 6干泵 8干泵节电装置 12油回转真空泵 14油回转真空泵相关配件 18真空泵油 21罗茨泵 22涡轮分子泵 24油扩散泵 28溅射离子泵 30钛升华泵 31吸附泵 31

真空阀门 32

真空计 35校正服务JCSS 35

传感器单体型真空计 36

通用型真空计 39

气体分析仪 40

检漏仪 42

电源 (DCRF) 44DC电源 44小容量DC电源 45DC电源配件 46DC脉冲电源 47RF电源 48

EB电源EB枪 50EB电源 51EB枪 52

成膜控制 54水晶振荡式成膜控制器传感器水晶板 54光学式过程监测器 56装置诊断系统 56

真空搬送机械手 57

薄膜测定 58分光椭偏仪 58

真空机械构成部品 62真空配管部品 62

超高真空配管部品 64

分子间力相互作用解析 66

微量精密搅拌机 67

目录

P6真空泵

P32真空阀门

P35真空计

P40气体分析仪

P42检漏仪

P44电源 (DCRF)

P50EB电源EB枪

P54成膜控制

P57真空搬送机械手

P58薄膜测定

P62真空机械构成品

P66分子间力相互作用解析

P67微量精密搅拌机

4

溅射设备

真空热处理炉

设备装置使用范例

真空阀门(摆动阀)

分子泵

干泵干泵节电装置

分子泵

真空阀门(摆动阀)

气体分析仪

真空计(复合电离真空计)

真空搬送机械手

真空阀门(真空角阀)

异常放电防止器DC电源

匹配器RF电源控制面板

真空计(复合电离真空计)

气体分析仪

真空阀门(真空角阀)

油雾过滤器

油回转真空泵

油扩散泵

光学式过程监测仪

工艺气体

5

蒸发设备

检漏设备

油雾过滤器

油回转真空泵

罗茨泵

检漏仪

真空计(皮拉尼真空计)

氦气

真空计(复合电离真空计)

水晶振荡成膜控制器传感器

气体分析仪

EB枪

真空阀门(真空角阀)

油扩散泵

油雾过滤器

油回转真空泵EB电源

EB枪控制器

真空阀门(真空角阀)

真空泵 选型指南

选型指南

6

分子泵

通过数万rpm的高速回旋分子翼形成真空~超高真空特征是非气体储存式可实现连续排气

干泵多段罗茨型

由于排气室不使用油可形成洁净的真空排气另外由于没有油所以也不存在油和活性气体的反应可用于CVD刻蚀等工艺

溅射离子泵

利用被溅射出来的活性钛的吸附作用来获得高真空的泵此类型泵的特征是不存在回转机构

钛升华泵

直接对钛进行加热蒸发产生活性钛吸附气体分子进行排气

油回转真空泵旋片型

压缩效率高低振动在工业上使用最为广泛

油回转真空泵滑阀型

坚固比较能抵抗异物适当的定期保养可保持较长的使用寿命

油扩散泵

利用油蒸汽喷射对气体进行排气与油回转真空泵组合使用形成高真空

机械泵罗茨型

在干泵或油回转真空泵的排气速度较为低下的压力带使用可大幅度增加排气速度

Rotation Direction

Outlet (Low Vacuum side)

Movingblade

Stationaryblade

Movingblade

Stationaryblade

Rotation Direction

Inlet (High Vacuum side)

ElectronGas Atom

IonTitanium Atom

N S

+- -

Tita

niu

m

Tita

niu

m

单位Pa

商品名称 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

干泵

LRHRUR seriesLS seriesCR series

GR series

油回转真空泵

VD seriesVS series

PVD seriesPKS series

罗茨泵PMB series VerD

PRC seriesPMB-C series

涡轮分子泵

UTM-FWFH seriesUTM-MI series

UTM300BUTM series

油扩散泵ULK series

PFL series油扩散喷射泵 PBL series溅射离子泵 Acter Pump PST series

钛升华泵 PGT series

干泵螺杆型

进入到由转子和气缸区分的漕里的气体根据转子的回转被移送排出

Cylinder

Rotor

Inlet

Outlet

真空泵 选型指南

选型指南 ( 应用例 )

7

可燃性气体排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarrHe密封式样防爆电机带电防止皮带油雾过滤器rarrHe密封式样

干泵rarrGR系列吸气侧对策 导电性配管充入N2排气侧对策 导电性配管充入N2

水蒸气排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr气镇阀油交换油水分离器干泵rarr气镇阀使用

吸气侧对策 高温蒸汽的情况下为水冷捕集器排气侧对策 在泵体内安装阻止水分回流的配管

伴有粉尘排气的实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr油交换油种类变更探讨油净化装置追加

干泵rarr从吸气口的充入气体气镇阀吸气侧对策 粉尘过滤器排气侧对策 防止因粉尘堵塞产生加压造成破裂的危险

升华性气体排气实例及注意事项

泵对策 高温型干泵UR系列＋气镇气体 (N2)导入吸气侧对策 稀释气体导入 (N2)配管加热排气侧对策 配管加热

He密封式样是指

油回转真空泵的仕样之一检测He漏量1times10-6 (Pam3s)以下漏量为基准的泵

升华性气体是指

升华性气体是从气体状态下经过冷却或压缩不经过液化直接固化的气体在电子装置和显示器制造的CVD或干蚀刻过程中发生的升华性气体很多会变成坚硬物质使泵运转困难

＜注意事项＞水分凝缩油质劣化

真空泵除了可以对清洁的空气之类的气体排气以外也可在以下的应用中使用推荐 可以使用 根据条件可以使用

＜注意事项＞混入异物配管堵塞

＜注意事项＞反应生成物(固体) 的析出

＜注意事项＞氧气混入 (泄漏)火花热引火爆炸极限

商品名称 型号 水蒸气 可燃性气体 粉尘 升华性气体

干泵

LR series

HRUR series

LS series

CR series

GR series

油回转真空泵

VD series

VS series

PVD series

PKS series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

关于IE3马达的注意事项

根据高效规制制度虽然施行IE3马达的切换但与常规马达（IE1）相比启动电流变得偏高尤其关于大型（55KW以上）的泵启动电流值与常规标准效率的马达相比较变得偏高因此有必要检查主电源设备（断路器和过载保护设备） 购买时请确认电源容量

气镇阀是指

作为吸收水蒸气等的凝缩性气体的对策有了气镇阀装置如果吸收凝缩性气体通过泵体内的压缩工程被压缩凝缩成液体混入到油之中干泵的情况下会残留于泵内部为了防止此情况便打开气镇阀装置导入适量的空气或氮气至压缩室凝缩的气体将不会被液化以气体的形式完成排气这就是气镇阀的效果

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

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邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

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253-8543 Japan

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(Shenzhen Branch)

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(Dalian Branch)

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【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

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(Hsinchu Branch)

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(Taichung Office)

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Township Tainan County 74146 Tainan

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1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

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Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

Contents

真空泵 6干泵 8干泵节电装置 12油回转真空泵 14油回转真空泵相关配件 18真空泵油 21罗茨泵 22涡轮分子泵 24油扩散泵 28溅射离子泵 30钛升华泵 31吸附泵 31

真空阀门 32

真空计 35校正服务JCSS 35

传感器单体型真空计 36

通用型真空计 39

气体分析仪 40

检漏仪 42

电源 (DCRF) 44DC电源 44小容量DC电源 45DC电源配件 46DC脉冲电源 47RF电源 48

EB电源EB枪 50EB电源 51EB枪 52

成膜控制 54水晶振荡式成膜控制器传感器水晶板 54光学式过程监测器 56装置诊断系统 56

真空搬送机械手 57

薄膜测定 58分光椭偏仪 58

真空机械构成部品 62真空配管部品 62

超高真空配管部品 64

分子间力相互作用解析 66

微量精密搅拌机 67

目录

P6真空泵

P32真空阀门

P35真空计

P40气体分析仪

P42检漏仪

P44电源 (DCRF)

P50EB电源EB枪

P54成膜控制

P57真空搬送机械手

P58薄膜测定

P62真空机械构成品

P66分子间力相互作用解析

P67微量精密搅拌机

4

溅射设备

真空热处理炉

设备装置使用范例

真空阀门(摆动阀)

分子泵

干泵干泵节电装置

分子泵

真空阀门(摆动阀)

气体分析仪

真空计(复合电离真空计)

真空搬送机械手

真空阀门(真空角阀)

异常放电防止器DC电源

匹配器RF电源控制面板

真空计(复合电离真空计)

气体分析仪

真空阀门(真空角阀)

油雾过滤器

油回转真空泵

油扩散泵

光学式过程监测仪

工艺气体

5

蒸发设备

检漏设备

油雾过滤器

油回转真空泵

罗茨泵

检漏仪

真空计(皮拉尼真空计)

氦气

真空计(复合电离真空计)

水晶振荡成膜控制器传感器

气体分析仪

EB枪

真空阀门(真空角阀)

油扩散泵

油雾过滤器

油回转真空泵EB电源

EB枪控制器

真空阀门(真空角阀)

真空泵 选型指南

选型指南

6

分子泵

通过数万rpm的高速回旋分子翼形成真空~超高真空特征是非气体储存式可实现连续排气

干泵多段罗茨型

由于排气室不使用油可形成洁净的真空排气另外由于没有油所以也不存在油和活性气体的反应可用于CVD刻蚀等工艺

溅射离子泵

利用被溅射出来的活性钛的吸附作用来获得高真空的泵此类型泵的特征是不存在回转机构

钛升华泵

直接对钛进行加热蒸发产生活性钛吸附气体分子进行排气

油回转真空泵旋片型

压缩效率高低振动在工业上使用最为广泛

油回转真空泵滑阀型

坚固比较能抵抗异物适当的定期保养可保持较长的使用寿命

油扩散泵

利用油蒸汽喷射对气体进行排气与油回转真空泵组合使用形成高真空

机械泵罗茨型

在干泵或油回转真空泵的排气速度较为低下的压力带使用可大幅度增加排气速度

Rotation Direction

Outlet (Low Vacuum side)

Movingblade

Stationaryblade

Movingblade

Stationaryblade

Rotation Direction

Inlet (High Vacuum side)

ElectronGas Atom

IonTitanium Atom

N S

+- -

Tita

niu

m

Tita

niu

m

单位Pa

商品名称 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

干泵

LRHRUR seriesLS seriesCR series

GR series

油回转真空泵

VD seriesVS series

PVD seriesPKS series

罗茨泵PMB series VerD

PRC seriesPMB-C series

涡轮分子泵

UTM-FWFH seriesUTM-MI series

UTM300BUTM series

油扩散泵ULK series

PFL series油扩散喷射泵 PBL series溅射离子泵 Acter Pump PST series

钛升华泵 PGT series

干泵螺杆型

进入到由转子和气缸区分的漕里的气体根据转子的回转被移送排出

Cylinder

Rotor

Inlet

Outlet

真空泵 选型指南

选型指南 ( 应用例 )

7

可燃性气体排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarrHe密封式样防爆电机带电防止皮带油雾过滤器rarrHe密封式样

干泵rarrGR系列吸气侧对策 导电性配管充入N2排气侧对策 导电性配管充入N2

水蒸气排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr气镇阀油交换油水分离器干泵rarr气镇阀使用

吸气侧对策 高温蒸汽的情况下为水冷捕集器排气侧对策 在泵体内安装阻止水分回流的配管

伴有粉尘排气的实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr油交换油种类变更探讨油净化装置追加

干泵rarr从吸气口的充入气体气镇阀吸气侧对策 粉尘过滤器排气侧对策 防止因粉尘堵塞产生加压造成破裂的危险

升华性气体排气实例及注意事项

泵对策 高温型干泵UR系列＋气镇气体 (N2)导入吸气侧对策 稀释气体导入 (N2)配管加热排气侧对策 配管加热

He密封式样是指

油回转真空泵的仕样之一检测He漏量1times10-6 (Pam3s)以下漏量为基准的泵

升华性气体是指

升华性气体是从气体状态下经过冷却或压缩不经过液化直接固化的气体在电子装置和显示器制造的CVD或干蚀刻过程中发生的升华性气体很多会变成坚硬物质使泵运转困难

＜注意事项＞水分凝缩油质劣化

真空泵除了可以对清洁的空气之类的气体排气以外也可在以下的应用中使用推荐 可以使用 根据条件可以使用

＜注意事项＞混入异物配管堵塞

＜注意事项＞反应生成物(固体) 的析出

＜注意事项＞氧气混入 (泄漏)火花热引火爆炸极限

商品名称 型号 水蒸气 可燃性气体 粉尘 升华性气体

干泵

LR series

HRUR series

LS series

CR series

GR series

油回转真空泵

VD series

VS series

PVD series

PKS series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

关于IE3马达的注意事项

根据高效规制制度虽然施行IE3马达的切换但与常规马达（IE1）相比启动电流变得偏高尤其关于大型（55KW以上）的泵启动电流值与常规标准效率的马达相比较变得偏高因此有必要检查主电源设备（断路器和过载保护设备） 购买时请确认电源容量

气镇阀是指

作为吸收水蒸气等的凝缩性气体的对策有了气镇阀装置如果吸收凝缩性气体通过泵体内的压缩工程被压缩凝缩成液体混入到油之中干泵的情况下会残留于泵内部为了防止此情况便打开气镇阀装置导入适量的空气或氮气至压缩室凝缩的气体将不会被液化以气体的形式完成排气这就是气镇阀的效果

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

TEL010-67816782 FAX 010-6781-6787 邮编100176

深圳分公司 地址 深圳市光明新区田寮社区同观大道7号路7号中科诺大厦1楼B

TEL 0755-86149393 FAX0755-86149400 邮编518107

大连分公司 地址大连经济技术开发区辽河东路20号双D港创业园A座105室

TEL 0411-87407180 FAX 0411-87406601 邮编16620

合肥分公司 地址合肥经济技术开发区莲花路标准厂房标1B座2层

TEL 0551-63847828 FAX 0551-63847828 邮编230601

苏州分公司 地址苏州工业园区苏虹东路277号

TEL 0512-89179817 FAX 0512-89179890 邮编215026

成都分公司 地址成都市青羊区青羊工业园腾飞大道229号

TEL 028-68182771 FAX 028-65518618 邮编610091

西安分公司 地址西安市高新区唐延路35号旺座现代城C座905室

TEL 029-8874-8998 FAX029-88858498 邮编710065

厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

TEL 0592-7619799 邮编316103

广州服务中心 地址广州市天河区中山大道中77号之一时尚名苑604室

TEL 020-82515634 邮编510660

武汉服务中心 地址武汉市东湖高新区光谷大道41号现代光谷世贸中心E座1105室

TEL 027-65529668 邮编430040

鄂尔多斯服务中心 地址内蒙古自治区鄂尔多斯东胜区鄂托克西街南鑫通中央大厦B座南三底商

邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

71

【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa

253-8543 Japan

TEL +81-467-89-2261

【 美国 】ULVAC Technologies Inc(Headquarters)

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MA 01844 USA

TEL +1-978-686-7550

【 德国 】ULVAC GmbH (Head Office)

Parkring 11 85748 Garching (Munich)

Germany

TEL +49-89-960909-0

【 中国 】ULVAC (Shanghai) Trading Co Ltd(Head Office)

No1000 Qixin Road Minhang District

Shanghai 201100 China

TEL +86-021-6127-6618

(Beijing Branch)

Building C-1F Xingye Road 2 BDA Beijing

100176 China

TEL +86-10-5157-0125

(Shenzhen Branch)

1FB Zhongkenuo Building Seventh Rd No7

Tongguan road Tianliao Street Guangming

District Shenzhen 518107 China

TEL +86-755-8614-9393

(Dalian Branch)

A-105 Dalian Economic and Technological

Development Zone DD Port Business incubator

20Liaohe Eastern Road Dalian 116620 China

TEL +86-411-8740-7180

(Suzhou Branch)

No277 Suhong East Road Suzhou

Industrial Park Suzhou 215026 China

TEL +86-512-8917-9891

(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

TEL +886-4-2565-3600

(Tainan Office)

Nanke 2nd Rd Xinshi District

Tainan City 749 Taiwan

TEL +886-6-505-8080

Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

TEL +886-6-505-8888

(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

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【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

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Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

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(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

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(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

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(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

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(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

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【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

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【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

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(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

TEL +91-40-27007006

【 菲律宾 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(PHILIPPINES Branch)

Cavite Eco-ZoneⅡ Rosario Cavite

Philippines

TEL +63-46-437-7700

【 越南 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Vietnam Representative Branch)

4F43 Le Thi Hong Gam street Nguyen Thai

Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

TEL +84-28-3821-2367

【 印度尼西亚 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Indonesia Representative Branch)

Cikarang Techno Park 3A Floor Unit 4-2

Jalan Inti 1 Blok C1 No7 Lippo Cikarang

Bekasi 17550 West Java Indonesia

TEL +62-21-8990-5070

ULVAC Inc 规格品事业部

禁止无故转载 本综合目录的产品以及数据在未告知的情况下可能会有变更

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Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

4

溅射设备

真空热处理炉

设备装置使用范例

真空阀门(摆动阀)

分子泵

干泵干泵节电装置

分子泵

真空阀门(摆动阀)

气体分析仪

真空计(复合电离真空计)

真空搬送机械手

真空阀门(真空角阀)

异常放电防止器DC电源

匹配器RF电源控制面板

真空计(复合电离真空计)

气体分析仪

真空阀门(真空角阀)

油雾过滤器

油回转真空泵

油扩散泵

光学式过程监测仪

工艺气体

5

蒸发设备

检漏设备

油雾过滤器

油回转真空泵

罗茨泵

检漏仪

真空计(皮拉尼真空计)

氦气

真空计(复合电离真空计)

水晶振荡成膜控制器传感器

气体分析仪

EB枪

真空阀门(真空角阀)

油扩散泵

油雾过滤器

油回转真空泵EB电源

EB枪控制器

真空阀门(真空角阀)

真空泵 选型指南

选型指南

6

分子泵

通过数万rpm的高速回旋分子翼形成真空~超高真空特征是非气体储存式可实现连续排气

干泵多段罗茨型

由于排气室不使用油可形成洁净的真空排气另外由于没有油所以也不存在油和活性气体的反应可用于CVD刻蚀等工艺

溅射离子泵

利用被溅射出来的活性钛的吸附作用来获得高真空的泵此类型泵的特征是不存在回转机构

钛升华泵

直接对钛进行加热蒸发产生活性钛吸附气体分子进行排气

油回转真空泵旋片型

压缩效率高低振动在工业上使用最为广泛

油回转真空泵滑阀型

坚固比较能抵抗异物适当的定期保养可保持较长的使用寿命

油扩散泵

利用油蒸汽喷射对气体进行排气与油回转真空泵组合使用形成高真空

机械泵罗茨型

在干泵或油回转真空泵的排气速度较为低下的压力带使用可大幅度增加排气速度

Rotation Direction

Outlet (Low Vacuum side)

Movingblade

Stationaryblade

Movingblade

Stationaryblade

Rotation Direction

Inlet (High Vacuum side)

ElectronGas Atom

IonTitanium Atom

N S

+- -

Tita

niu

m

Tita

niu

m

单位Pa

商品名称 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

干泵

LRHRUR seriesLS seriesCR series

GR series

油回转真空泵

VD seriesVS series

PVD seriesPKS series

罗茨泵PMB series VerD

PRC seriesPMB-C series

涡轮分子泵

UTM-FWFH seriesUTM-MI series

UTM300BUTM series

油扩散泵ULK series

PFL series油扩散喷射泵 PBL series溅射离子泵 Acter Pump PST series

钛升华泵 PGT series

干泵螺杆型

进入到由转子和气缸区分的漕里的气体根据转子的回转被移送排出

Cylinder

Rotor

Inlet

Outlet

真空泵 选型指南

选型指南 ( 应用例 )

7

可燃性气体排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarrHe密封式样防爆电机带电防止皮带油雾过滤器rarrHe密封式样

干泵rarrGR系列吸气侧对策 导电性配管充入N2排气侧对策 导电性配管充入N2

水蒸气排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr气镇阀油交换油水分离器干泵rarr气镇阀使用

吸气侧对策 高温蒸汽的情况下为水冷捕集器排气侧对策 在泵体内安装阻止水分回流的配管

伴有粉尘排气的实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr油交换油种类变更探讨油净化装置追加

干泵rarr从吸气口的充入气体气镇阀吸气侧对策 粉尘过滤器排气侧对策 防止因粉尘堵塞产生加压造成破裂的危险

升华性气体排气实例及注意事项

泵对策 高温型干泵UR系列＋气镇气体 (N2)导入吸气侧对策 稀释气体导入 (N2)配管加热排气侧对策 配管加热

He密封式样是指

油回转真空泵的仕样之一检测He漏量1times10-6 (Pam3s)以下漏量为基准的泵

升华性气体是指

升华性气体是从气体状态下经过冷却或压缩不经过液化直接固化的气体在电子装置和显示器制造的CVD或干蚀刻过程中发生的升华性气体很多会变成坚硬物质使泵运转困难

＜注意事项＞水分凝缩油质劣化

真空泵除了可以对清洁的空气之类的气体排气以外也可在以下的应用中使用推荐 可以使用 根据条件可以使用

＜注意事项＞混入异物配管堵塞

＜注意事项＞反应生成物(固体) 的析出

＜注意事项＞氧气混入 (泄漏)火花热引火爆炸极限

商品名称 型号 水蒸气 可燃性气体 粉尘 升华性气体

干泵

LR series

HRUR series

LS series

CR series

GR series

油回转真空泵

VD series

VS series

PVD series

PKS series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

关于IE3马达的注意事项

根据高效规制制度虽然施行IE3马达的切换但与常规马达（IE1）相比启动电流变得偏高尤其关于大型（55KW以上）的泵启动电流值与常规标准效率的马达相比较变得偏高因此有必要检查主电源设备（断路器和过载保护设备） 购买时请确认电源容量

气镇阀是指

作为吸收水蒸气等的凝缩性气体的对策有了气镇阀装置如果吸收凝缩性气体通过泵体内的压缩工程被压缩凝缩成液体混入到油之中干泵的情况下会残留于泵内部为了防止此情况便打开气镇阀装置导入适量的空气或氮气至压缩室凝缩的气体将不会被液化以气体的形式完成排气这就是气镇阀的效果

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

TEL010-67816782 FAX 010-6781-6787 邮编100176

深圳分公司 地址 深圳市光明新区田寮社区同观大道7号路7号中科诺大厦1楼B

TEL 0755-86149393 FAX0755-86149400 邮编518107

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TEL 0411-87407180 FAX 0411-87406601 邮编16620

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TEL 0551-63847828 FAX 0551-63847828 邮编230601

苏州分公司 地址苏州工业园区苏虹东路277号

TEL 0512-89179817 FAX 0512-89179890 邮编215026

成都分公司 地址成都市青羊区青羊工业园腾飞大道229号

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西安分公司 地址西安市高新区唐延路35号旺座现代城C座905室

TEL 029-8874-8998 FAX029-88858498 邮编710065

厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

TEL 0592-7619799 邮编316103

广州服务中心 地址广州市天河区中山大道中77号之一时尚名苑604室

TEL 020-82515634 邮编510660

武汉服务中心 地址武汉市东湖高新区光谷大道41号现代光谷世贸中心E座1105室

TEL 027-65529668 邮编430040

鄂尔多斯服务中心 地址内蒙古自治区鄂尔多斯东胜区鄂托克西街南鑫通中央大厦B座南三底商

邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

71

【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa

253-8543 Japan

TEL +81-467-89-2261

【 美国 】ULVAC Technologies Inc(Headquarters)

401 Griffin Brook Drive Methuen

MA 01844 USA

TEL +1-978-686-7550

【 德国 】ULVAC GmbH (Head Office)

Parkring 11 85748 Garching (Munich)

Germany

TEL +49-89-960909-0

【 中国 】ULVAC (Shanghai) Trading Co Ltd(Head Office)

No1000 Qixin Road Minhang District

Shanghai 201100 China

TEL +86-021-6127-6618

(Beijing Branch)

Building C-1F Xingye Road 2 BDA Beijing

100176 China

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(Shenzhen Branch)

1FB Zhongkenuo Building Seventh Rd No7

Tongguan road Tianliao Street Guangming

District Shenzhen 518107 China

TEL +86-755-8614-9393

(Dalian Branch)

A-105 Dalian Economic and Technological

Development Zone DD Port Business incubator

20Liaohe Eastern Road Dalian 116620 China

TEL +86-411-8740-7180

(Suzhou Branch)

No277 Suhong East Road Suzhou

Industrial Park Suzhou 215026 China

TEL +86-512-8917-9891

(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

TEL +886-4-2565-3600

(Tainan Office)

Nanke 2nd Rd Xinshi District

Tainan City 749 Taiwan

TEL +886-6-505-8080

Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

TEL +886-6-505-8888

(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

TEL +886-3-286-0998

【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

837-4 Hansan-Ri Cheongbuk-Myeon

Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

TEL +82-31-683-2922

(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

TEL +82-2-3473-2920

(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

TEL+82-51-317-2920

(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

TEL+82-42-936-2920

(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

TEL +82-54-471-3567

【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

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【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

Shah Alam Selangor Darul Ehsan Malaysia

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(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

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【 菲律宾 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(PHILIPPINES Branch)

Cavite Eco-ZoneⅡ Rosario Cavite

Philippines

TEL +63-46-437-7700

【 越南 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Vietnam Representative Branch)

4F43 Le Thi Hong Gam street Nguyen Thai

Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

TEL +84-28-3821-2367

【 印度尼西亚 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Indonesia Representative Branch)

Cikarang Techno Park 3A Floor Unit 4-2

Jalan Inti 1 Blok C1 No7 Lippo Cikarang

Bekasi 17550 West Java Indonesia

TEL +62-21-8990-5070

ULVAC Inc 规格品事业部

禁止无故转载 本综合目录的产品以及数据在未告知的情况下可能会有变更

httpswwwulvaccojpproducts_ecomponents

欢迎垂询

Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

5

蒸发设备

检漏设备

油雾过滤器

油回转真空泵

罗茨泵

检漏仪

真空计(皮拉尼真空计)

氦气

真空计(复合电离真空计)

水晶振荡成膜控制器传感器

气体分析仪

EB枪

真空阀门(真空角阀)

油扩散泵

油雾过滤器

油回转真空泵EB电源

EB枪控制器

真空阀门(真空角阀)

真空泵 选型指南

选型指南

6

分子泵

通过数万rpm的高速回旋分子翼形成真空~超高真空特征是非气体储存式可实现连续排气

干泵多段罗茨型

由于排气室不使用油可形成洁净的真空排气另外由于没有油所以也不存在油和活性气体的反应可用于CVD刻蚀等工艺

溅射离子泵

利用被溅射出来的活性钛的吸附作用来获得高真空的泵此类型泵的特征是不存在回转机构

钛升华泵

直接对钛进行加热蒸发产生活性钛吸附气体分子进行排气

油回转真空泵旋片型

压缩效率高低振动在工业上使用最为广泛

油回转真空泵滑阀型

坚固比较能抵抗异物适当的定期保养可保持较长的使用寿命

油扩散泵

利用油蒸汽喷射对气体进行排气与油回转真空泵组合使用形成高真空

机械泵罗茨型

在干泵或油回转真空泵的排气速度较为低下的压力带使用可大幅度增加排气速度

Rotation Direction

Outlet (Low Vacuum side)

Movingblade

Stationaryblade

Movingblade

Stationaryblade

Rotation Direction

Inlet (High Vacuum side)

ElectronGas Atom

IonTitanium Atom

N S

+- -

Tita

niu

m

Tita

niu

m

单位Pa

商品名称 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

干泵

LRHRUR seriesLS seriesCR series

GR series

油回转真空泵

VD seriesVS series

PVD seriesPKS series

罗茨泵PMB series VerD

PRC seriesPMB-C series

涡轮分子泵

UTM-FWFH seriesUTM-MI series

UTM300BUTM series

油扩散泵ULK series

PFL series油扩散喷射泵 PBL series溅射离子泵 Acter Pump PST series

钛升华泵 PGT series

干泵螺杆型

进入到由转子和气缸区分的漕里的气体根据转子的回转被移送排出

Cylinder

Rotor

Inlet

Outlet

真空泵 选型指南

选型指南 ( 应用例 )

7

可燃性气体排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarrHe密封式样防爆电机带电防止皮带油雾过滤器rarrHe密封式样

干泵rarrGR系列吸气侧对策 导电性配管充入N2排气侧对策 导电性配管充入N2

水蒸气排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr气镇阀油交换油水分离器干泵rarr气镇阀使用

吸气侧对策 高温蒸汽的情况下为水冷捕集器排气侧对策 在泵体内安装阻止水分回流的配管

伴有粉尘排气的实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr油交换油种类变更探讨油净化装置追加

干泵rarr从吸气口的充入气体气镇阀吸气侧对策 粉尘过滤器排气侧对策 防止因粉尘堵塞产生加压造成破裂的危险

升华性气体排气实例及注意事项

泵对策 高温型干泵UR系列＋气镇气体 (N2)导入吸气侧对策 稀释气体导入 (N2)配管加热排气侧对策 配管加热

He密封式样是指

油回转真空泵的仕样之一检测He漏量1times10-6 (Pam3s)以下漏量为基准的泵

升华性气体是指

升华性气体是从气体状态下经过冷却或压缩不经过液化直接固化的气体在电子装置和显示器制造的CVD或干蚀刻过程中发生的升华性气体很多会变成坚硬物质使泵运转困难

＜注意事项＞水分凝缩油质劣化

真空泵除了可以对清洁的空气之类的气体排气以外也可在以下的应用中使用推荐 可以使用 根据条件可以使用

＜注意事项＞混入异物配管堵塞

＜注意事项＞反应生成物(固体) 的析出

＜注意事项＞氧气混入 (泄漏)火花热引火爆炸极限

商品名称 型号 水蒸气 可燃性气体 粉尘 升华性气体

干泵

LR series

HRUR series

LS series

CR series

GR series

油回转真空泵

VD series

VS series

PVD series

PKS series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

关于IE3马达的注意事项

根据高效规制制度虽然施行IE3马达的切换但与常规马达（IE1）相比启动电流变得偏高尤其关于大型（55KW以上）的泵启动电流值与常规标准效率的马达相比较变得偏高因此有必要检查主电源设备（断路器和过载保护设备） 购买时请确认电源容量

气镇阀是指

作为吸收水蒸气等的凝缩性气体的对策有了气镇阀装置如果吸收凝缩性气体通过泵体内的压缩工程被压缩凝缩成液体混入到油之中干泵的情况下会残留于泵内部为了防止此情况便打开气镇阀装置导入适量的空气或氮气至压缩室凝缩的气体将不会被液化以气体的形式完成排气这就是气镇阀的效果

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

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真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

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厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

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邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

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【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

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253-8543 Japan

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(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

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(Tainan Office)

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Tainan City 749 Taiwan

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Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

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(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

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【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

837-4 Hansan-Ri Cheongbuk-Myeon

Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

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(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

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(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

TEL+82-51-317-2920

(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

TEL+82-42-936-2920

(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

TEL +82-54-471-3567

【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

TEL +65-6542-2700

【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

Shah Alam Selangor Darul Ehsan Malaysia

TEL +60-3-5121-4700

(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

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Philippines

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Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

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PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

真空泵 选型指南

选型指南

6

分子泵

通过数万rpm的高速回旋分子翼形成真空~超高真空特征是非气体储存式可实现连续排气

干泵多段罗茨型

由于排气室不使用油可形成洁净的真空排气另外由于没有油所以也不存在油和活性气体的反应可用于CVD刻蚀等工艺

溅射离子泵

利用被溅射出来的活性钛的吸附作用来获得高真空的泵此类型泵的特征是不存在回转机构

钛升华泵

直接对钛进行加热蒸发产生活性钛吸附气体分子进行排气

油回转真空泵旋片型

压缩效率高低振动在工业上使用最为广泛

油回转真空泵滑阀型

坚固比较能抵抗异物适当的定期保养可保持较长的使用寿命

油扩散泵

利用油蒸汽喷射对气体进行排气与油回转真空泵组合使用形成高真空

机械泵罗茨型

在干泵或油回转真空泵的排气速度较为低下的压力带使用可大幅度增加排气速度

Rotation Direction

Outlet (Low Vacuum side)

Movingblade

Stationaryblade

Movingblade

Stationaryblade

Rotation Direction

Inlet (High Vacuum side)

ElectronGas Atom

IonTitanium Atom

N S

+- -

Tita

niu

m

Tita

niu

m

单位Pa

商品名称 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

干泵

LRHRUR seriesLS seriesCR series

GR series

油回转真空泵

VD seriesVS series

PVD seriesPKS series

罗茨泵PMB series VerD

PRC seriesPMB-C series

涡轮分子泵

UTM-FWFH seriesUTM-MI series

UTM300BUTM series

油扩散泵ULK series

PFL series油扩散喷射泵 PBL series溅射离子泵 Acter Pump PST series

钛升华泵 PGT series

干泵螺杆型

进入到由转子和气缸区分的漕里的气体根据转子的回转被移送排出

Cylinder

Rotor

Inlet

Outlet

真空泵 选型指南

选型指南 ( 应用例 )

7

可燃性气体排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarrHe密封式样防爆电机带电防止皮带油雾过滤器rarrHe密封式样

干泵rarrGR系列吸气侧对策 导电性配管充入N2排气侧对策 导电性配管充入N2

水蒸气排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr气镇阀油交换油水分离器干泵rarr气镇阀使用

吸气侧对策 高温蒸汽的情况下为水冷捕集器排气侧对策 在泵体内安装阻止水分回流的配管

伴有粉尘排气的实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr油交换油种类变更探讨油净化装置追加

干泵rarr从吸气口的充入气体气镇阀吸气侧对策 粉尘过滤器排气侧对策 防止因粉尘堵塞产生加压造成破裂的危险

升华性气体排气实例及注意事项

泵对策 高温型干泵UR系列＋气镇气体 (N2)导入吸气侧对策 稀释气体导入 (N2)配管加热排气侧对策 配管加热

He密封式样是指

油回转真空泵的仕样之一检测He漏量1times10-6 (Pam3s)以下漏量为基准的泵

升华性气体是指

升华性气体是从气体状态下经过冷却或压缩不经过液化直接固化的气体在电子装置和显示器制造的CVD或干蚀刻过程中发生的升华性气体很多会变成坚硬物质使泵运转困难

＜注意事项＞水分凝缩油质劣化

真空泵除了可以对清洁的空气之类的气体排气以外也可在以下的应用中使用推荐 可以使用 根据条件可以使用

＜注意事项＞混入异物配管堵塞

＜注意事项＞反应生成物(固体) 的析出

＜注意事项＞氧气混入 (泄漏)火花热引火爆炸极限

商品名称 型号 水蒸气 可燃性气体 粉尘 升华性气体

干泵

LR series

HRUR series

LS series

CR series

GR series

油回转真空泵

VD series

VS series

PVD series

PKS series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

关于IE3马达的注意事项

根据高效规制制度虽然施行IE3马达的切换但与常规马达（IE1）相比启动电流变得偏高尤其关于大型（55KW以上）的泵启动电流值与常规标准效率的马达相比较变得偏高因此有必要检查主电源设备（断路器和过载保护设备） 购买时请确认电源容量

气镇阀是指

作为吸收水蒸气等的凝缩性气体的对策有了气镇阀装置如果吸收凝缩性气体通过泵体内的压缩工程被压缩凝缩成液体混入到油之中干泵的情况下会残留于泵内部为了防止此情况便打开气镇阀装置导入适量的空气或氮气至压缩室凝缩的气体将不会被液化以气体的形式完成排气这就是气镇阀的效果

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

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PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

真空泵 选型指南

选型指南 ( 应用例 )

7

可燃性气体排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarrHe密封式样防爆电机带电防止皮带油雾过滤器rarrHe密封式样

干泵rarrGR系列吸气侧对策 导电性配管充入N2排气侧对策 导电性配管充入N2

水蒸气排气实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr气镇阀油交换油水分离器干泵rarr气镇阀使用

吸气侧对策 高温蒸汽的情况下为水冷捕集器排气侧对策 在泵体内安装阻止水分回流的配管

伴有粉尘排气的实例及注意事项

泵对策 油回转真空泵rarr油交换油种类变更探讨油净化装置追加

干泵rarr从吸气口的充入气体气镇阀吸气侧对策 粉尘过滤器排气侧对策 防止因粉尘堵塞产生加压造成破裂的危险

升华性气体排气实例及注意事项

泵对策 高温型干泵UR系列＋气镇气体 (N2)导入吸气侧对策 稀释气体导入 (N2)配管加热排气侧对策 配管加热

He密封式样是指

油回转真空泵的仕样之一检测He漏量1times10-6 (Pam3s)以下漏量为基准的泵

升华性气体是指

升华性气体是从气体状态下经过冷却或压缩不经过液化直接固化的气体在电子装置和显示器制造的CVD或干蚀刻过程中发生的升华性气体很多会变成坚硬物质使泵运转困难

＜注意事项＞水分凝缩油质劣化

真空泵除了可以对清洁的空气之类的气体排气以外也可在以下的应用中使用推荐 可以使用 根据条件可以使用

＜注意事项＞混入异物配管堵塞

＜注意事项＞反应生成物(固体) 的析出

＜注意事项＞氧气混入 (泄漏)火花热引火爆炸极限

商品名称 型号 水蒸气 可燃性气体 粉尘 升华性气体

干泵

LR series

HRUR series

LS series

CR series

GR series

油回转真空泵

VD series

VS series

PVD series

PKS series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

关于IE3马达的注意事项

根据高效规制制度虽然施行IE3马达的切换但与常规马达（IE1）相比启动电流变得偏高尤其关于大型（55KW以上）的泵启动电流值与常规标准效率的马达相比较变得偏高因此有必要检查主电源设备（断路器和过载保护设备） 购买时请确认电源容量

气镇阀是指

作为吸收水蒸气等的凝缩性气体的对策有了气镇阀装置如果吸收凝缩性气体通过泵体内的压缩工程被压缩凝缩成液体混入到油之中干泵的情况下会残留于泵内部为了防止此情况便打开气镇阀装置导入适量的空气或氮气至压缩室凝缩的气体将不会被液化以气体的形式完成排气这就是气镇阀的效果

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

TEL010-67816782 FAX 010-6781-6787 邮编100176

深圳分公司 地址 深圳市光明新区田寮社区同观大道7号路7号中科诺大厦1楼B

TEL 0755-86149393 FAX0755-86149400 邮编518107

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合肥分公司 地址合肥经济技术开发区莲花路标准厂房标1B座2层

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西安分公司 地址西安市高新区唐延路35号旺座现代城C座905室

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厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

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广州服务中心 地址广州市天河区中山大道中77号之一时尚名苑604室

TEL 020-82515634 邮编510660

武汉服务中心 地址武汉市东湖高新区光谷大道41号现代光谷世贸中心E座1105室

TEL 027-65529668 邮编430040

鄂尔多斯服务中心 地址内蒙古自治区鄂尔多斯东胜区鄂托克西街南鑫通中央大厦B座南三底商

邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

71

【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa

253-8543 Japan

TEL +81-467-89-2261

【 美国 】ULVAC Technologies Inc(Headquarters)

401 Griffin Brook Drive Methuen

MA 01844 USA

TEL +1-978-686-7550

【 德国 】ULVAC GmbH (Head Office)

Parkring 11 85748 Garching (Munich)

Germany

TEL +49-89-960909-0

【 中国 】ULVAC (Shanghai) Trading Co Ltd(Head Office)

No1000 Qixin Road Minhang District

Shanghai 201100 China

TEL +86-021-6127-6618

(Beijing Branch)

Building C-1F Xingye Road 2 BDA Beijing

100176 China

TEL +86-10-5157-0125

(Shenzhen Branch)

1FB Zhongkenuo Building Seventh Rd No7

Tongguan road Tianliao Street Guangming

District Shenzhen 518107 China

TEL +86-755-8614-9393

(Dalian Branch)

A-105 Dalian Economic and Technological

Development Zone DD Port Business incubator

20Liaohe Eastern Road Dalian 116620 China

TEL +86-411-8740-7180

(Suzhou Branch)

No277 Suhong East Road Suzhou

Industrial Park Suzhou 215026 China

TEL +86-512-8917-9891

(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

TEL +886-4-2565-3600

(Tainan Office)

Nanke 2nd Rd Xinshi District

Tainan City 749 Taiwan

TEL +886-6-505-8080

Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

TEL +886-6-505-8888

(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

TEL +886-3-286-0998

【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

837-4 Hansan-Ri Cheongbuk-Myeon

Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

TEL +82-31-683-2922

(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

TEL +82-2-3473-2920

(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

TEL+82-51-317-2920

(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

TEL+82-42-936-2920

(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

TEL +82-54-471-3567

【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

TEL +65-6542-2700

【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

Shah Alam Selangor Darul Ehsan Malaysia

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(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

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【 菲律宾 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(PHILIPPINES Branch)

Cavite Eco-ZoneⅡ Rosario Cavite

Philippines

TEL +63-46-437-7700

【 越南 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Vietnam Representative Branch)

4F43 Le Thi Hong Gam street Nguyen Thai

Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

TEL +84-28-3821-2367

【 印度尼西亚 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Indonesia Representative Branch)

Cikarang Techno Park 3A Floor Unit 4-2

Jalan Inti 1 Blok C1 No7 Lippo Cikarang

Bekasi 17550 West Java Indonesia

TEL +62-21-8990-5070

ULVAC Inc 规格品事业部

禁止无故转载 本综合目录的产品以及数据在未告知的情况下可能会有变更

httpswwwulvaccojpproducts_ecomponents

欢迎垂询

Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

真空泵 干泵

罗茨型 LR series

8

最适用于真空容器的高速排气

bull 高速排气性能在高压力领域的大排气速度适用于真空容器的高速排气

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用硬度高耐腐蚀特殊表面处理腐蚀性气体排气时降低腐蚀

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112 183

440 440359 653 1012 1701

320060Hz 80 126 237 365 701 1051 1784

[Lmin]50Hz 1030 1860 3100

7333 73335980 10900 16900 28350

5333360Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500 29700

到达压力[Pa] 50 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理 － － － － － timesTtimes

TTtimes

TRtimesTTR

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060) 220 (60)180～240

380～440 (5060)200 (5060) 220 (60) 180～240 380～440 (5060)

电源值 (最大值) [A] 70 118 206 485 96 19 242 398 584 584 82 82

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40 ＞50 ＞40

N2吹气 [SLM]轴封 5

气镇 0～45 无 (1) 0～45 0～45 无 (1) 0～45 无 (1) 0～45

质量 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

外形尺寸 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1042 1106 910 987 1213 1111

H 530 579 645 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告之使用电压 )LR3601-RTRTTR该系列是为了提高高压力领域的排气速度性能的干泵)LR300LR600LR1200LR1800的MBP能够选择有无表面处理 1) 根据用途也能对可以使用气镇阀装置的规格进行报价

运转方式 2 3

N2流量 [SLM] 5 5～50)希望非标准运转方式请在下单时做相关指定)标准设定 LR2 HRUR3)UR421-TUR1800UR3601-TT的N2流量是5～200SLM

200L真空容器排气时间

LRHR1200LRHR300 LR180

LR90LR60

LR60LR90LR180LR421排气速度

本数值为计算理论值可能与实际放出其气体等有所差异

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pim

g s

peed(m

3h

r)

Pressure(Pa)

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [

Pa

]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(5060Hz)

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 罗茨型 HRUR series

9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

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分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

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9

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

适用于像半导体电子装置显示器制造的CVD蚀刻等存在升华性气体的工艺过程

利用铝材优越的热传导将排气室全体做高温均热化

HR型 UR型由于副生成物3个月后不能运转 12个月后副生成物极少

而且可以正常运转

针对升华性气体产生多的工艺过程以UR型对应

各种气体的蒸汽压曲线的左侧是固体 (液体)右侧是气体状态通过充入气体 (气镇装置)而改变泵里的分压工艺气体以气体状态通过泵体

) HR系列 工艺气体排气时的一个例子

液晶低温多硅晶CVD制造生产线 在多层膜过程中的实绩

bull 高温均热化针对在CVD和蚀刻工艺产生的反应性气体 (升华性气体)可以以气体状态进行排气能够抑制气体减少固体化

bull 高耐腐蚀性在主要部品中采用高耐腐蚀性的特殊表面处理降低腐蚀性气体排出时的腐蚀性

型号 HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

最大排气速度

[m3h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1012

1012 1701 2700 60Hz 80 126 365 701 1051

[Lmin]50Hz 1030 1860

6833 5980 10900

10883 16900

16867 28350 45000 60Hz 1333 2100 6080 11700 17500

到达压力 [Pa] (1) 50 10 067 12 067 12 067

吸气口 (CE规格)VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

排气口 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP表面处理

MBP表面处理

电源[VAC] (Hz) 三相 200 (5060)220 (60) 200 (5060)220 (60)180～240 (5060) 380～440 (5060)

电流值 [A] 最大值 73 118 525 81 138 173 189 224 349 683

冷却水流量 [Lmin] ＞50 ＞40

氮气充入[SLM]轴封 5

气镇 0～45 0～195 0～45 0～195

运转方式 3

质量 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

外形尺寸[mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1106 910 987 (UR1054) 1213 1159

H 530 579 742 831 951 1037 1274

符合规格 CE（选项对应）

)在询价及下单时请告知使用电压HR作为高温均热化规格排气配管的加热器为标准配置如果使用于更高温度的情况下由UR系列来对应) HR300HR600HR1200UR600UR1200UR1800UR3601-TT型号请不要在200Pa以上的压力下连续运转由于泵温度异常可能会导致其他的连锁反应1)HR系列仅轴封气体5SLM的值UR系列

气镇充入氮气5SLM情况下的值

0001

001

01

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(Pa)

Tmeperature()

Gas partial pressure and cylinder temperatureof each stage

Exhausttemperature

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

TEL010-67816782 FAX 010-6781-6787 邮编100176

深圳分公司 地址 深圳市光明新区田寮社区同观大道7号路7号中科诺大厦1楼B

TEL 0755-86149393 FAX0755-86149400 邮编518107

大连分公司 地址大连经济技术开发区辽河东路20号双D港创业园A座105室

TEL 0411-87407180 FAX 0411-87406601 邮编16620

合肥分公司 地址合肥经济技术开发区莲花路标准厂房标1B座2层

TEL 0551-63847828 FAX 0551-63847828 邮编230601

苏州分公司 地址苏州工业园区苏虹东路277号

TEL 0512-89179817 FAX 0512-89179890 邮编215026

成都分公司 地址成都市青羊区青羊工业园腾飞大道229号

TEL 028-68182771 FAX 028-65518618 邮编610091

西安分公司 地址西安市高新区唐延路35号旺座现代城C座905室

TEL 029-8874-8998 FAX029-88858498 邮编710065

厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

TEL 0592-7619799 邮编316103

广州服务中心 地址广州市天河区中山大道中77号之一时尚名苑604室

TEL 020-82515634 邮编510660

武汉服务中心 地址武汉市东湖高新区光谷大道41号现代光谷世贸中心E座1105室

TEL 027-65529668 邮编430040

鄂尔多斯服务中心 地址内蒙古自治区鄂尔多斯东胜区鄂托克西街南鑫通中央大厦B座南三底商

邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

71

【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa

253-8543 Japan

TEL +81-467-89-2261

【 美国 】ULVAC Technologies Inc(Headquarters)

401 Griffin Brook Drive Methuen

MA 01844 USA

TEL +1-978-686-7550

【 德国 】ULVAC GmbH (Head Office)

Parkring 11 85748 Garching (Munich)

Germany

TEL +49-89-960909-0

【 中国 】ULVAC (Shanghai) Trading Co Ltd(Head Office)

No1000 Qixin Road Minhang District

Shanghai 201100 China

TEL +86-021-6127-6618

(Beijing Branch)

Building C-1F Xingye Road 2 BDA Beijing

100176 China

TEL +86-10-5157-0125

(Shenzhen Branch)

1FB Zhongkenuo Building Seventh Rd No7

Tongguan road Tianliao Street Guangming

District Shenzhen 518107 China

TEL +86-755-8614-9393

(Dalian Branch)

A-105 Dalian Economic and Technological

Development Zone DD Port Business incubator

20Liaohe Eastern Road Dalian 116620 China

TEL +86-411-8740-7180

(Suzhou Branch)

No277 Suhong East Road Suzhou

Industrial Park Suzhou 215026 China

TEL +86-512-8917-9891

(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

TEL +886-4-2565-3600

(Tainan Office)

Nanke 2nd Rd Xinshi District

Tainan City 749 Taiwan

TEL +886-6-505-8080

Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

TEL +886-6-505-8888

(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

TEL +886-3-286-0998

【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

837-4 Hansan-Ri Cheongbuk-Myeon

Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

TEL +82-31-683-2922

(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

TEL +82-2-3473-2920

(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

TEL+82-51-317-2920

(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

TEL+82-42-936-2920

(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

TEL +82-54-471-3567

【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

TEL +65-6542-2700

【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

Shah Alam Selangor Darul Ehsan Malaysia

TEL +60-3-5121-4700

(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

TEL +91-40-27007006

【 菲律宾 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(PHILIPPINES Branch)

Cavite Eco-ZoneⅡ Rosario Cavite

Philippines

TEL +63-46-437-7700

【 越南 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Vietnam Representative Branch)

4F43 Le Thi Hong Gam street Nguyen Thai

Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

TEL +84-28-3821-2367

【 印度尼西亚 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Indonesia Representative Branch)

Cikarang Techno Park 3A Floor Unit 4-2

Jalan Inti 1 Blok C1 No7 Lippo Cikarang

Bekasi 17550 West Java Indonesia

TEL +62-21-8990-5070

ULVAC Inc 规格品事业部

禁止无故转载 本综合目录的产品以及数据在未告知的情况下可能会有变更

httpswwwulvaccojpproducts_ecomponents

欢迎垂询

Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

10

真空泵 干泵

螺杆型 LS series

型式（CC式样）（LL式样）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

最大排气速度 m3h 120 380 600 1000

到达压力 Pa ≦06 ≦01

电源电压 200V級3相5060HzAC200-240V 或 400V級3相5060HzAC380-480V

消费电力概略值 1 kW 06 20 10 25 13 26 13 27

冷却水量 Lmin gt20 gt40

Purge gas量 2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

最大水蒸气处理量3 kgh ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15 ‐ 15

噪音值 dB(A) 61 61 62 64

吸气口 KF50(水平)VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

排气口 KF40

外形尺寸 WtimesDtimesH mm 311times639times307 311times639times537 311times639times563 311times639times563

质量 kg 142 220 242 266

适用规格 CEcTUVus

标准附属品 使用说明书(CD-R)电源用连接器防水电缆夹信号用连接器电源连接保护器

本体选配件 电源电压200V级或400V级密封部材质全氟弹性体(仅用于L型)

外部选配件 MBP吸气口变换Flange外壳排气Port耐震固定用金属LR互换Unit(吸气口信号)Gas purge

1到达压力时 2C式样不可流通Purge gas

3Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 4C式样不可对应无漏

1

10

100

1000

10000

100000

0 20 40 60

圧力

［P

a］

時間 ［sec］

本データは計算値です放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります

0

20

40

60

80

100

120

140

01 10 1000 100000

排気速度

[m3

h］

圧力 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

此性能差会影响到排气时间

高速排气与低电力消费同时满足的干泵4种型号能够根据设备大小及使用条件选择出最合适的排气容量的泵

LS120A

缩短约20的排气时间

【排气条件】 腔体容积100L 配管2英寸1m排气目标大气压～10Pa

高速排气大气压附近排气速度大可以使得排气时间缩短

低电力消费通过ECO-SHOCK技术实现低电力消费（C式样）到达压力时的消费电力为06kW以下(LS120A-C)

低噪音标配搭载专用消音器到达压力时的噪音是61dB(A)以下

运行成本降低不需要常规品必备的轴封L式样可流通Purge gas

C式样洁净工艺 （LSA-C）

特征内部安装有ECO-SHOCK低电力消费的类型用途用于空气排气和N2等洁净气体

溅射蒸发塑封负载锁定室TMP辅助 等

L仕様Light工艺（LSA-L）

特征拥有表面处理 Purge机能的Light工艺类型用途用于水蒸气和挥发性药液排气等的Light工艺类型

真空干燥冻结干燥抛光一般产业用途 等

结合用途可选择2中类型

排气速度的比较 排气时间的比较

一般低电力消费型干泵

本数值为计算值 实际曲线由于放出气体等影响有可能产生差异

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

TEL010-67816782 FAX 010-6781-6787 邮编100176

深圳分公司 地址 深圳市光明新区田寮社区同观大道7号路7号中科诺大厦1楼B

TEL 0755-86149393 FAX0755-86149400 邮编518107

大连分公司 地址大连经济技术开发区辽河东路20号双D港创业园A座105室

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合肥分公司 地址合肥经济技术开发区莲花路标准厂房标1B座2层

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苏州分公司 地址苏州工业园区苏虹东路277号

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西安分公司 地址西安市高新区唐延路35号旺座现代城C座905室

TEL 029-8874-8998 FAX029-88858498 邮编710065

厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

TEL 0592-7619799 邮编316103

广州服务中心 地址广州市天河区中山大道中77号之一时尚名苑604室

TEL 020-82515634 邮编510660

武汉服务中心 地址武汉市东湖高新区光谷大道41号现代光谷世贸中心E座1105室

TEL 027-65529668 邮编430040

鄂尔多斯服务中心 地址内蒙古自治区鄂尔多斯东胜区鄂托克西街南鑫通中央大厦B座南三底商

邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

71

【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa

253-8543 Japan

TEL +81-467-89-2261

【 美国 】ULVAC Technologies Inc(Headquarters)

401 Griffin Brook Drive Methuen

MA 01844 USA

TEL +1-978-686-7550

【 德国 】ULVAC GmbH (Head Office)

Parkring 11 85748 Garching (Munich)

Germany

TEL +49-89-960909-0

【 中国 】ULVAC (Shanghai) Trading Co Ltd(Head Office)

No1000 Qixin Road Minhang District

Shanghai 201100 China

TEL +86-021-6127-6618

(Beijing Branch)

Building C-1F Xingye Road 2 BDA Beijing

100176 China

TEL +86-10-5157-0125

(Shenzhen Branch)

1FB Zhongkenuo Building Seventh Rd No7

Tongguan road Tianliao Street Guangming

District Shenzhen 518107 China

TEL +86-755-8614-9393

(Dalian Branch)

A-105 Dalian Economic and Technological

Development Zone DD Port Business incubator

20Liaohe Eastern Road Dalian 116620 China

TEL +86-411-8740-7180

(Suzhou Branch)

No277 Suhong East Road Suzhou

Industrial Park Suzhou 215026 China

TEL +86-512-8917-9891

(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

TEL +886-4-2565-3600

(Tainan Office)

Nanke 2nd Rd Xinshi District

Tainan City 749 Taiwan

TEL +886-6-505-8080

Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

TEL +886-6-505-8888

(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

TEL +886-3-286-0998

【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

837-4 Hansan-Ri Cheongbuk-Myeon

Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

TEL +82-31-683-2922

(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

TEL +82-2-3473-2920

(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

TEL+82-51-317-2920

(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

TEL+82-42-936-2920

(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

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【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

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【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

Shah Alam Selangor Darul Ehsan Malaysia

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(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

TEL +91-40-27007006

【 菲律宾 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(PHILIPPINES Branch)

Cavite Eco-ZoneⅡ Rosario Cavite

Philippines

TEL +63-46-437-7700

【 越南 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Vietnam Representative Branch)

4F43 Le Thi Hong Gam street Nguyen Thai

Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

TEL +84-28-3821-2367

【 印度尼西亚 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Indonesia Representative Branch)

Cikarang Techno Park 3A Floor Unit 4-2

Jalan Inti 1 Blok C1 No7 Lippo Cikarang

Bekasi 17550 West Java Indonesia

TEL +62-21-8990-5070

ULVAC Inc 规格品事业部

禁止无故转载 本综合目录的产品以及数据在未告知的情况下可能会有变更

httpswwwulvaccojpproducts_ecomponents

欢迎垂询

Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

真空泵 干泵

ルーツ型ドライ真空ポンプ LR series 空冷罗茨型 CR series

bull 空冷式罗茨型干泵运转时排气室内不使用油转子和气缸也无接触可长时间稳定运转

通用电机罗茨型 GR series以有实绩和信赖的LR系列为基础面向一般产业用途设计的简单构造泵

bull 采用可对应宽电压电机

bull 可对应通用感应电机也可以安装防爆电机等特殊电机 (另外询价)

GR90A

CR60B

型名 GR60A GR90A GR180A

最大排气速度[m3h] 50Hz60Hz 6280 112126 183237

[Lmin] 50Hz60Hz 10301333 18602100 31003950

到达压力 [Pa] (1) 50

吸气口 VG50 VG80

排气口 NW40

电源 (2)

200V级电机 AC200V50Hz AC200～220V60Hz 宽电压电机AC200~240V50Hz60Hz

AC380～415V50HzAC380～460V60Hz

400V级电机AC220～240VAC380~415V50HzAC208~240VAC380～460V60Hz

电机额定功率 [kW] 22 37 75

冷却水流量 [Lmin] ＞50

氮气 [SLM]轴封 5 (3)

气镇 选配件

质量 [kg] 128 188 268

最大水蒸气处理量 (4) lt500gh lt1000gh lt3000gh

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 320x1000x442 380x1100x495 470x1300x582

1)到达压力是气镇气体流量在0SLM时候的值2) )询价及下单时请告知电压3)氮气 (轴封气体)的流量为5SLM固定4)使用气镇时候的最

大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用气镇机构

干泵用消音器 RS series

消音器 套件名称 适用泵付属品

卡箍 O型座 连接配管 支架

RS-01套A CR60ALR6090300 1 1 - -

RS-01套B LR6001200 2 2 1 1

RS-01套C CR300A 2 2 1 1

RS-01套D CR16A30A 1 1 1 -

RS-02套A LR180 (LR6090300) 2 2 1 1

RS-02套B LR1800 (LR6001200) 2 2 1 1

RS-03套A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03套B LR3601 (-TTTRTRTTR) 3 3 1 1

EFS-11 ndashNW2522516 (1) CR16A30A 1 1 - -

EFS-19 ndashNW401 (1)(2) CR60A300A 1 1 - -

1) 有害气体的情况下不能使用 2)不能连接后方配管的开放型RS-01 RS-02 RS-03

空冷式的干泵备有排气速度在16~300m3hr之间的4种机型

型名 CR16B CR30B CR60B CR300B

最大排气速度[m3h] 16 30 55 300

[Lmin] 280 500 920 5000

到达压力 [Pa] (1) 3 05

吸气口 NW25 NW40 NW50

排气口 NW25 NW40

电源 [Ｖ] (2) 单相100单相200三相200 单相200 三相200 三相200

电机额定功率 [kW] 072 15 3

冷却方式 空冷

气镇机构 选配件

最大水蒸气处理量 (3) lt300gh lt500gh

质量 [kg] 35 48 100

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 180times520times350 210times550times430 280times594times595

符合规格 CE cTUVus

1)到达压力是气镇气体流量在5SLM时候的值2)询价及下单时请告知电压 3)使用气镇时候的最大水蒸气处理量水蒸气排气时请务必使用

气镇机构

11

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

TEL010-67816782 FAX 010-6781-6787 邮编100176

深圳分公司 地址 深圳市光明新区田寮社区同观大道7号路7号中科诺大厦1楼B

TEL 0755-86149393 FAX0755-86149400 邮编518107

大连分公司 地址大连经济技术开发区辽河东路20号双D港创业园A座105室

TEL 0411-87407180 FAX 0411-87406601 邮编16620

合肥分公司 地址合肥经济技术开发区莲花路标准厂房标1B座2层

TEL 0551-63847828 FAX 0551-63847828 邮编230601

苏州分公司 地址苏州工业园区苏虹东路277号

TEL 0512-89179817 FAX 0512-89179890 邮编215026

成都分公司 地址成都市青羊区青羊工业园腾飞大道229号

TEL 028-68182771 FAX 028-65518618 邮编610091

西安分公司 地址西安市高新区唐延路35号旺座现代城C座905室

TEL 029-8874-8998 FAX029-88858498 邮编710065

厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

TEL 0592-7619799 邮编316103

广州服务中心 地址广州市天河区中山大道中77号之一时尚名苑604室

TEL 020-82515634 邮编510660

武汉服务中心 地址武汉市东湖高新区光谷大道41号现代光谷世贸中心E座1105室

TEL 027-65529668 邮编430040

鄂尔多斯服务中心 地址内蒙古自治区鄂尔多斯东胜区鄂托克西街南鑫通中央大厦B座南三底商

邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

71

【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa

253-8543 Japan

TEL +81-467-89-2261

【 美国 】ULVAC Technologies Inc(Headquarters)

401 Griffin Brook Drive Methuen

MA 01844 USA

TEL +1-978-686-7550

【 德国 】ULVAC GmbH (Head Office)

Parkring 11 85748 Garching (Munich)

Germany

TEL +49-89-960909-0

【 中国 】ULVAC (Shanghai) Trading Co Ltd(Head Office)

No1000 Qixin Road Minhang District

Shanghai 201100 China

TEL +86-021-6127-6618

(Beijing Branch)

Building C-1F Xingye Road 2 BDA Beijing

100176 China

TEL +86-10-5157-0125

(Shenzhen Branch)

1FB Zhongkenuo Building Seventh Rd No7

Tongguan road Tianliao Street Guangming

District Shenzhen 518107 China

TEL +86-755-8614-9393

(Dalian Branch)

A-105 Dalian Economic and Technological

Development Zone DD Port Business incubator

20Liaohe Eastern Road Dalian 116620 China

TEL +86-411-8740-7180

(Suzhou Branch)

No277 Suhong East Road Suzhou

Industrial Park Suzhou 215026 China

TEL +86-512-8917-9891

(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

TEL +886-4-2565-3600

(Tainan Office)

Nanke 2nd Rd Xinshi District

Tainan City 749 Taiwan

TEL +886-6-505-8080

Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

TEL +886-6-505-8888

(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

TEL +886-3-286-0998

【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

837-4 Hansan-Ri Cheongbuk-Myeon

Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

TEL +82-31-683-2922

(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

TEL +82-2-3473-2920

(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

TEL+82-51-317-2920

(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

TEL+82-42-936-2920

(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

TEL +82-54-471-3567

【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

TEL +65-6542-2700

【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

Shah Alam Selangor Darul Ehsan Malaysia

TEL +60-3-5121-4700

(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

TEL +91-40-27007006

【 菲律宾 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(PHILIPPINES Branch)

Cavite Eco-ZoneⅡ Rosario Cavite

Philippines

TEL +63-46-437-7700

【 越南 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Vietnam Representative Branch)

4F43 Le Thi Hong Gam street Nguyen Thai

Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

TEL +84-28-3821-2367

【 印度尼西亚 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Indonesia Representative Branch)

Cikarang Techno Park 3A Floor Unit 4-2

Jalan Inti 1 Blok C1 No7 Lippo Cikarang

Bekasi 17550 West Java Indonesia

TEL +62-21-8990-5070

ULVAC Inc 规格品事业部

禁止无故转载 本综合目录的产品以及数据在未告知的情况下可能会有变更

httpswwwulvaccojpproducts_ecomponents

欢迎垂询

Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

0

5

10

15

20

25

0 20 40 60 80 100 120

有効电

力(k

W)

时间 (sec)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

真空泵 干泵节电装置

干泵节电装置 ECO-SHOCKECO-SHOCK是安装在干泵上用于省电的装置

通过安装在干泵上来实现省电的功能

只要是排气口成真空后的可运转的干泵即可安装该装置

针对大型真空容器的频繁反复排气或接近大气压时的排气速度依然很大的泵请选择ES4A如果是可燃性助燃性有毒气体等的排气或吸的是固体液体等的用途的话请不要使用

ES4A

型号 ES10 ES4A

电源

规格 单相 AC100～220V (plusmn5)5060Hz 单相 AC200～220V (plusmn5)5060Hz

最大视在功率[VA] 250 600

消耗功率 [W] 65 400

外形寸法WtimesDtimesH

本体组件 [mm] 175x330x240 250x515x373(250x515x378)(1)

阀门组件 [mm] Φ66x110 (KF40) 不付属 (选配件)

连接接头 38英寸管接口 16mm管接口

在ES4A中不带有阀门组件可以对照接续的泵追加购买bull1)( )内的尺寸为使用防振橡胶后的尺寸

0

1

2

3

4

5

6

7

8

01 1 10 100 1000 10000 100000

消耗

功率

(kW

)

吸气口压力 (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

已获得专利

300L的腔体反复排气60秒为周期的的省电效果

干泵LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK ES10的省电效果

ECO-SHOCK的连接方法

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

90000

100000

消耗

功率

年(k

Wh

)

LR3601-R LR3601-R + ES4A

一年降低28908kWhr

省电效果

吸气口排气口

干泵 Eco-Shock本体

阀门组件

12

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

41

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

TEL 021-61276618 FAX 021-6145-68176821 邮编201199

北京分公司 地址北京经济技术开发区兴业街2号C座1层

TEL010-67816782 FAX 010-6781-6787 邮编100176

深圳分公司 地址 深圳市光明新区田寮社区同观大道7号路7号中科诺大厦1楼B

TEL 0755-86149393 FAX0755-86149400 邮编518107

大连分公司 地址大连经济技术开发区辽河东路20号双D港创业园A座105室

TEL 0411-87407180 FAX 0411-87406601 邮编16620

合肥分公司 地址合肥经济技术开发区莲花路标准厂房标1B座2层

TEL 0551-63847828 FAX 0551-63847828 邮编230601

苏州分公司 地址苏州工业园区苏虹东路277号

TEL 0512-89179817 FAX 0512-89179890 邮编215026

成都分公司 地址成都市青羊区青羊工业园腾飞大道229号

TEL 028-68182771 FAX 028-65518618 邮编610091

西安分公司 地址西安市高新区唐延路35号旺座现代城C座905室

TEL 029-8874-8998 FAX029-88858498 邮编710065

厦门服务中心 地址厦门市火炬高新区翔安产业区春波路512号厂房4层

TEL 0592-7619799 邮编316103

广州服务中心 地址广州市天河区中山大道中77号之一时尚名苑604室

TEL 020-82515634 邮编510660

武汉服务中心 地址武汉市东湖高新区光谷大道41号现代光谷世贸中心E座1105室

TEL 027-65529668 邮编430040

鄂尔多斯服务中心 地址内蒙古自治区鄂尔多斯东胜区鄂托克西街南鑫通中央大厦B座南三底商

邮编017000

中国国内销售网点服务网点

70

世界服务网点

71

【 Japan 】ULVAC Inc(Worldwide Headquarters)

2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa

253-8543 Japan

TEL +81-467-89-2261

【 美国 】ULVAC Technologies Inc(Headquarters)

401 Griffin Brook Drive Methuen

MA 01844 USA

TEL +1-978-686-7550

【 德国 】ULVAC GmbH (Head Office)

Parkring 11 85748 Garching (Munich)

Germany

TEL +49-89-960909-0

【 中国 】ULVAC (Shanghai) Trading Co Ltd(Head Office)

No1000 Qixin Road Minhang District

Shanghai 201100 China

TEL +86-021-6127-6618

(Beijing Branch)

Building C-1F Xingye Road 2 BDA Beijing

100176 China

TEL +86-10-5157-0125

(Shenzhen Branch)

1FB Zhongkenuo Building Seventh Rd No7

Tongguan road Tianliao Street Guangming

District Shenzhen 518107 China

TEL +86-755-8614-9393

(Dalian Branch)

A-105 Dalian Economic and Technological

Development Zone DD Port Business incubator

20Liaohe Eastern Road Dalian 116620 China

TEL +86-411-8740-7180

(Suzhou Branch)

No277 Suhong East Road Suzhou

Industrial Park Suzhou 215026 China

TEL +86-512-8917-9891

(Chengdu Branch)

No229 Teng Fei Road Qinyang Chengdu

610091 China

TEL +86-28-6551-8700

【 台湾 】ULVAC TAIWAN Inc(Head Office)

4F-2 No882 Sec 2 Guangfu Rd East

DistrictHsinchu City 300 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Hsinchu Branch)

8F No5Keji Rd Hsinchu Science Park

Hsinchu City 30078 Taiwan

TEL +886-3-579-5688

(Taichung Office)

1F No37 Keya Rd

Daya Dist Taichung City 428 Taiwan

TEL +886-4-2565-3600

(Tainan Office)

Nanke 2nd Rd Xinshi District

Tainan City 749 Taiwan

TEL +886-6-505-8080

Ultra Clean Precision Technologies

(Tainan Science Industrial Park Fab)

No27 Sec1 Huandong Rd Sinshih

Township Tainan County 74146 Tainan

Science Park Taiwan

TEL +886-6-505-8888

(Taoyuan Fab)

No20 Ln 211 Puzhong Rd Zhongli City

Taoyuan Country 32083 Taiwan

TEL +886-3-286-0998

【 韩国 】ULVAC KOREA Ltd(Head Office)

837-4 Hansan-Ri Cheongbuk-Myeon

Pyeongtaek-Si Gyeonggi-Do 451-833 Korea

TEL +82-31-683-2922

(Seoul Branch)

KAMCO Yangjae-Tower 10F 262

Gangnam-daero Gangnam-gu Seoul

06265 Korea

TEL +82-2-3473-2920

(Busan Branch)

T-PLEX 206-109 50 Yutongdanji 1-ro

Gangseo-gu Busan 46721 Korea

TEL+82-51-317-2920

(Daejeon Branch)

408 Namjeong BD 54 Techno jungang-ro

Yuseong-gu Daejeon Korea

TEL+82-42-936-2920

(Gumi CSC)

403 Jiwondong 92-9 Imsu-Dong Gumi

Kyoung-Buk 730-720 Korea

TEL +82-54-471-3567

【 新加坡 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Head Office)

11 Tampines Street 92 Tampines Biz-Hub

02-08 Singapore 528872

TEL +65-6542-2700

【 马来西亚 】ULVAC MALAYSIA SDN BHD(Head Office)

No8 Jalan Gitar 333 Elite Industrial

Estate Off Jalan Bukit Kemuning 40350

Shah Alam Selangor Darul Ehsan Malaysia

TEL +60-3-5121-4700

(Kulim Branch)

Lot 3254-3258 Mukim Sungai Seluang Taman

Industry Danamas 09600 Lunas Kedah Malaysia

TEL +60-4-484-8006

【 泰国 】ULVAC (THAILAND) LTD(Head Office)

1106 Moo 13Soi 252 Kingkaew Road

Tambol Rachathewa Amphur Bangplee

Samutprakarn 10540 Thailand

TEL +66-2-738-8883

【 印度 】ULVACInc India Branch

301 Tara Tycoon 12-13-97 Tarnaka

Secunderabad - 500 017 India

TEL +91-40-27007006

【 菲律宾 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(PHILIPPINES Branch)

Cavite Eco-ZoneⅡ Rosario Cavite

Philippines

TEL +63-46-437-7700

【 越南 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Vietnam Representative Branch)

4F43 Le Thi Hong Gam street Nguyen Thai

Binh warddistrict 1 Ho Chi Minh City Vietnam

TEL +84-28-3821-2367

【 印度尼西亚 】ULVAC SINGAPORE PTE LTD(Indonesia Representative Branch)

Cikarang Techno Park 3A Floor Unit 4-2

Jalan Inti 1 Blok C1 No7 Lippo Cikarang

Bekasi 17550 West Java Indonesia

TEL +62-21-8990-5070

ULVAC Inc 规格品事业部

禁止无故转载 本综合目录的产品以及数据在未告知的情况下可能会有变更

httpswwwulvaccojpproducts_ecomponents

欢迎垂询

Vol01初版 2016年7月Vol02初版 2017年7月Vol03初版 2018年5月Vol04初版 2018年9月

PN-CS02-004-04C_[Vacuum Components Portfolio Vol04](R00)20180901

13

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

双级旋片型 VD series VerC

小排气量双级旋片型 VD series

真空泵 油回转真空泵

14

采用自主研发的高效 (IE3)电机是一款用途广泛双级旋片型的油回转真空泵

bull 采用高效的宽电压 (IE3)电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

bull 面向特殊用途的款式除了标准式样外还为您准备了A式样B式样H式样

VD90C

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 30 (500) 40 (670) 60 (1000) 90 (1500)

60Hz 36 (600) 48 (800) 72 (1200) 108 (1800)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 15 (4) 22 (4) 37 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 10～25 25～40

冷却方式 空冷

吸气口 VG40相当 VG50相当

排气口 VG40相当

重量 [kg] 58 60 90 113

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 210times660times324 210times680times324 280times761times371 280times831times371

符合规格 CE cTUVus

种类 适用机种 主密封材 注油器独立给油 He检漏

标准式样 VD30C VD40C VD60C VD90C 氟橡胶 times times

A式样 VD30C-A VD40C-A 腈橡胶 times times

B式样 VD30C-B VD40C-B 硅胶 times

H式样 VD30C-H VD40C-H VD60C-H VD90C-H 氟橡胶

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

A式样腈橡胶

B式样硅胶

H式样He密封规格

自主研发IE3电机

小排气量双级旋片型真空泵

bull 采用宽电压电机200～240V380～460V仅通过1台电机就可对应

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VD201

型号 VD151 VD201

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 144 (240) 202 (336)

60Hz 173 (288) 242 (403)

到达压力 [Pa] GP闭 067

电机

输出 [kW] (Poles) 055 (4) 07 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 07～11

冷却方式 空冷

吸气口 KF25相当

排气口 G1

重量 [kg] 29 345

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 170times513times240 170times536times265

符合规格 CE cTUVus

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制給油 压差給油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

真空泵 油回转真空泵

单级旋片型 VS series

大容量单级旋片型 VS650AVS750A

单级旋片型中到达压力比较低的油回转真空泵

15

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

bull 低振动构造与滑阀型相比较振动较低非常适合在建筑物较高楼层使用

bull 采用强制给油方式大气压附近的排气速度也很稳定非常适用于大气hArr真空的反复连续运转

VS2401

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

H式样He密封规格

R式样冷却水系统防锈式样

bull 空冷及水冷可选根据环境选用采用了油冷却器使油温下降

bull 油雾分离器内置过滤芯式油雾分离器内置于油罐

bull 维修性考虑油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易

VS650A-A

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联型 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

PMB2400D＋VS650A-W

大排气量低振动单级旋片型油回转泵

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空吸着搬送成形

bull 真空含浸铸造

bull 真空干燥冻结干燥

bull 检漏设备

主要用途

bull 蒸发设备溅射设备

bull 真空热处理炉

bull 检漏设备

bull 大型腔体排气

型号 VS1501 VS2401

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 150 (2500) 240 (4000)

60Hz 180 (3000) 288 (4800)

到达压力[Pa] GP闭 53

电机

功率 [kW] (Poles) 55 (4) 75 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 80～105

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当

排气口 VG50相当

重量 [kg] 232 271

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 333times941times460 333times1061times460

型号 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 650 (10833) 750 (12500)

60Hz 750 (12500) 无法运转

到达压力[Pa] GP闭 8

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机) 无法运转

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 23～27 25～30 23～27 25～30

冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷

吸气口 DN 100 ISO-K

排气口 DN 100 ISO-K

重量 [kg] 806 800 802 796

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 1490times905times705 1490times841times705 1490times905times705 1490times841times705

符合规格 CE cTUVus

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 油回转真空泵

双级旋片型 PVD series

滑阀型 PKS series

16

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量双级旋片型真空泵

PVD-180

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

B式样油逆流防止机构

H式样He密封规格

是一款拥有长年的信赖及实绩的小排量坚固且长寿命的油回转真空泵

PKS-070B

构造

单级泵 双级泵

旋片型 滑阀型

直联式 皮带式

空冷 水冷

强制给油 压差给油

油逆流防止机构 油逆流防止阀

选配件

L式样大间隙式样

H式样He密封规格

bull 低速回旋静音效果很好的一款泵

bull 为了安全考虑传送带盖板采用密封式

bull 坚固且长寿命滑动部比较少的低速回转泵

bull 使用耐磨性优良的材

bull 采用高效率（IE3）宽电压电机200～240V380～460V的宽领域电压用一个电机对应

就油循环用电磁阀的电压请另行指定

bull PKS-070B采用大型油位计采用容量油杯在密封式皮带盖上追加观察孔

主要用途

bull 真空干燥冻结干燥

bull 气液注入

bull 真空吸附搬送成形

bull 真空含浸鋳造

bull 真空成型

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸炭炉

bull 溶剂排气

bull 真空含浸铸造

bull 大型腔体排气

型号 PVD-180 PVD-360

设计排气速度[m3h] (Lmin)50Hz 9 (155) 19 (310)

60Hz 11 (186) 22 (372)

到达压力[Pa] GP闭 067

电机

功率 [kW] (Poles) 04 (4) 075 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

标准用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 03 05

冷却方式 空冷

吸气口 φ28timesφ19 φ34timesφ27

排气口 G34 G1

重量 (不含电机)[kg] 335 43

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 265times470times321 303times488times321

型号 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

设计排气速度 [m3h] (Lmin) 96 (1600) 180 (3000) 420 (7000)

到达压力 [Pa] GP闭 27

电机

功率 [kW] (Poles) 22 (4) 37 (4) 11 (6)

电压 [V]50Hz 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240380～460 (宽电压电机)

标准使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 65 8 20

冷却方式 空冷 水冷

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF100相当

重量 (不含电机)[kg] 225 380 900

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 587times884times572 721times675times973 971times983times1190

Notes

17

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 TMTMX series

真空泵 油回转真空泵相关配件

油雾过滤器 油回收机构

除去从油回转真空泵中排出的油雾的过滤装置

bull 优秀的消音效果反复排气时能很大幅度减少排气音

bull 过滤芯式内部过滤器更换过滤器十分方便

将油雾过滤器中回收的油向泵中返回的部品

TM401

油回収A 油回収B 油回収C 油回収D

型号(1) 安装法兰 (泵安装侧吐气侧) 重量[kg] 材质 尺寸[mm] 适用泵 备注(2)

TMX-1 特殊 (含适配器)G112 (含伞) 11

本体软钢 (SPCC)

过滤器玻璃棉

φ106times193 VD151VD201PVD-180PVD-360

TM201 VF40G112 (含伞) 85 φ1652times280 VD30CVD40C 低负荷用

TM401 VF40G112 (含伞) 10 φ1652times350VD30CVD40C 高负荷用

VD60CVD90C 低负荷用

TM-2VF40 (含适配器)G2 (含伞)

93φ285times520 VD60CVD90C 高负荷用

VG50G2 (含伞) φ285times450 PKS-016

TM-2FVF40 (含适配器)VG50

98φ285times525 VD60CVD90C 高负荷用

VG50VG50 φ285times455 PKS-016

TM-3VF50G3 (含伞)

17φ362times635 VS1501

VG80G3 (含伞) φ362times735 PKS-030

TM-3FVF50VG80

18φ362times600 VS1501

VG80VG80 φ362times700 PKS-030

TM-4VF50G4 (含伞)

35φ442times945 VS2401

VG100G4 (含伞) φ442times1160 PKS-070

TM-4FVF50VG100

36φ442times900 VS2401

VG100VG100 φ442times1120 PKS-070

TM-4SVF50VG100

64φ450times1487 VS2401 高负荷用

VG100VG100 φ450times1387 PKS-070 高负荷用

1)F法兰型号2)短时间大气hArr真空反复排气的情况及在10000Pa以上长时间运转情况下请选用高负荷型号

内容 自动油回收 到达压力的影响 推荐使用压力范围

油回收 A 设置逆止阀向泵盒内油回收

油回收 B 设置针阀从气镇口油回收

油回收 C 设置针阀从吸气侧油回收 times

油回收 D浮标式油回收装置处储存的油从吸气口侧回收

吸入压力[Pa] 1 ～ 10 ～ 102 ～ 103 ～ 104 ～ 大气压

可连续吸入的压力

可反复排气的压力

不可安装于TMX-1TMX-1标配有油回收A的机能 (装有逆止阀)

油雾过滤器

逆止阀

油雾过滤器

针阀

真空泵

油雾过滤器

针阀

油雾

真空泵

油雾过滤器

浮标式油回收装置

油雾

油雾

真空泵真空泵

油雾

18

灰尘过滤器 DS series排气时伴有灰尘碎屑等情况时最适合

bull SUS容器内装有过滤器用来除去粉尘

bull 粒子直径最适用于含有10μm以上粉尘气体的排气 (干燥状态)

真空泵 油回转真空泵相关配件

前级捕集器 UFT series防止油回旋真空泵油蒸汽的逆流

bull 通过分子之间的吸着作用防止从油回转真空泵向腔体逆流的油蒸汽

bull 加入了加热器可以反复使用

UFT-25M

单位ｍｍ

型号 适用机种 A B C (吸气口) D (排气口)DS-20 VD151 PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201 PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C VD40C

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C VD90C VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

型号 UFT-25M UFT-65M

使用压力范围 大气压～10-2Pa低真空状态

材质

本体奥式系不锈钢

吸附剂人工沸石

排气侧氟橡胶O型圈

吸气口 UFC070-RH UFC114-FH

排气口 VG25 VG65

过滤器加热器 单相 AC100V 75W 单相 AC100V 120W

加热器运行时温度 [] 250 ～ 350

吸附器型号 分子吸着 13X

吸附器重量 [kg] 015 037

尺寸 [mm] φ763 times 195 φ1143 times 190

总重量 [kg] 22 46

UFT-65M

油回转真空泵

IN

OUT

RP

DS

粉体吸附过滤器 TRO series

型号 TRO-50 TRO-80 TRO-100

油量 [L] 25 80 190

推荐油 ULVOIL R-4

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当

适用泵容量 [Lmin] ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

适用泵 VD系列 PKS-016 VS系列 PKS-030 PKS-070

质量 [kg] 30 75 130

使用电动机 [W] 25 60 90

材质 本体不锈钢垫片FKM

IN

RPTRO

OUT

bull 选用油ULVOIL 超级R-7500 ULVOIL D-11

bull AC200V 3相 5060Hz

bull 通过回转鼓状物与油的特殊过滤方式对于在工艺流程中产生的粉体有良好吸附效果的前段过滤器

bull 不会像滤芯式粉体过滤器那样伴随着粉体吸附从而导致电导减少

bull 对于从油回转真空泵逆流的油有抑制效果

bull 维护仅需要对油进行交换即可可以通过大型的窗口对于吸附粉尘的油状态进行监视

请使用于大量粉体发生的工艺流程

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

19

油式过滤器 OT series请在含有粉体的高吸入压力连续排气时使用

bull 通过配管使粉体吸附在油上的过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 使用蒸气压的低真空泵油（ULVOIL R-4）

冷却过滤器 CT series使用于蒸气压的高溶剂之类的排气场合

bull 使用液氮使溶剂和水分吸附的前段过滤器

bull 本体材质为不锈钢耐腐蚀

bull 若在高吸入压力下使用液氮会急剧消耗

bull 请在通过旁路配管排气压力降低之后再进行连接

型号 使用机种

OT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

OT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

OT-100 PKS-070 VS650A

单位mm

型号 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

单位mm

型式 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

20

最适用于溶剂等高蒸汽压物质的排气及高温吸入气体的排气

bull 利用冷却水将通过的高温气体冷却

型号 适用机种

WT-25 VD151 VD201 PVD-180 PVD-360

WT-50 VD30C VD40C VD60C VD90C PKS-016

WT-80 VS1501 VS2401 PKS-030

WT-100 PKS-070

单位mm

型号 A B C D E F G (吸气口) H (排气口) I

WT-25 93 100 100 160 550 φ605 VG25 VG25 φ120

WT-50 150 150 100 175 550 φ114 VG50 VG50 φ185

WT-80 150 150 140 250 705 φ165 VG80 VG80 φ235

WT-100 200 200 180 290 815 φ216 VG100 VG100 φ300

油回转真空泵

冷却水入口

排水阀

冷却水出口

水冷式前级捕集器 WT series

真空泵 油回转真空泵相关配件

IN

RP

WTOUT

Bypass piping

真空泵油 ULVOIL seriesULVOIL 系列是为了提高真空泵性能延长寿命而研发的真空泵油

真空泵 真空泵油

规格 R-4 R-7 R-80 超级R-7000

种类 石油系矿物油 烃系合成油

到达压力 [Pa] ＜4times10-1 ＜7 ＜7times10-1

特点

外观 淡黄色透明

动粘度 [mm2s]40 47 69 57 68

100 7 9 8 10

粘度指数 112 102 110 110

水分 [] ＜001

酸值 [mgKOHg] ＜005 ＜19 ＜01

密度 [gcm3] 086 088 091

燃点 [] 248 260 230 220

流动点 [] -125 -375 -20

特长 低温启动用 通用 高温高负荷用 活性气体排气用

适用真空泵油回转真空泵

罗茨泵 -

规格 D-11 D-31 B-6

种类 烃系 硅系 烃系

到达压力 [Pa] 7times10-5 3times10-8 27times10-2

特点

外观 淡黄色透明 无色透明

动粘度 [mm2s]25 - 170 -

40 32 - 22

蒸气压

20 73times10-5 21times10-8 12times10-5

40 17times10-3 21times10-6 14times10-4

100 15times10-1 11times10-3 33times10-1

燃点 [] 220 210 200以上

特长 通用 耐热安定性 高负载泵用

适用真空泵油扩散泵 -

- 高负载油扩散泵

真空泵油 BARRIERTA J FLUID series

规格 J25F J60F J100F J100F E

种类 氟素油

特点

外观 无色透明

动粘度 [mm2s]40 25 60 95

100 5 9 13

粘度指数 85 130

蒸气压 20 2times10-3 1times10-4 6times10-6 9times10-5

使用温度范围 [] -55～140 -50～160 -40～180

特长 低蒸气压不易燃耐热性耐氧化性耐碱性

适用真空泵

油回旋泵 -

罗茨泵 罗茨泵

- 干泵

21

不易燃低蒸气压的氟素油

具有优良的耐热性耐氧化性

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 罗茨泵

通用电机规格 PMB series VerD

屏蔽式电机规格 PRC series

用途广泛的通用电机规格型罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

bull 空冷和水冷可选择选配件的变频器可以选择水冷设定空冷设定

bull 表面处理对应可以选配追加表面处理 (耐酸铝)

PMB1200D

最适合用于净化室的屏蔽式电机规格的罗茨泵

bull 在约1000~1Pa范围内拥有最大排气速度对缩短排气时间非常有效的泵

bull 使用油回转真空泵或干泵时想得到比其到达压力更低的压力时可附加使用该泵

bull 采用屏蔽式电机不会向外部漏油最适合在净化室使用

bull 采用表面处理 (硬质氧化铝膜)标准配有耐腐蚀性能优良的表面处理

bull 可大气压启动通过搭载选配件的变频器可实现大气压启动

规格 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 95 (1580) 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 2000 (33330)

60Hz 115 (1920) 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 2400 (40000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 04 (2) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 75 (2)

电压 [V]50Hz 200(1) 200～240380～415 (宽电压电机)

60Hz 200～240(1) 200～240380～460 (宽电压电机)

使用油 ULVOIL R-4 ULVOIL R-4 (水冷规格)R-7 (空冷规格)

所要油量 [L] 035 07 15 19 4（22(2))

冷却方式 空冷 水冷空冷 (选配件通过变频器设定可选择)

吸气口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当

排气口 VF50相当 VF80相当 VF200相当

质量 [kg] 26 51 82 115 260

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 267times576times180 321times685times260 362times784times320 417times970times340 520times1260times460

标准辅助泵 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

符合规格 CE cTUVus

1400V级是选购规格（50Hz220～240380～415 60Hz208～240380～460）2水平排气式样的值

PRC-012A

规格 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排气速度 [m3h] (Lmin)50Hz 280 (4670) 500 (8330) 1000 (16667) 1500 (25000)

60Hz 330 (5500) 600 (10000) 1200 (20000) 1600 (30000)

到达压力 [Pa] 04 067

电机

输出 [kW] (Poles) 075 (2) 22 (2) 37 (2) 55 (2)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-4

所要油量 [L] 07 15 19

冷却方式 水冷

吸气口 VG80相当 VG100相当 VG150相当

排气口 VF80相当 VF100相当

质量 [kg] 51 86 118 150

外形尺寸 WtimesDtimesH [mm] 296times575times260 356times619times320 406times759times340 406times989times340

标准辅助泵 VD60C VD90C VS2401 VS2401

22

真空泵 罗茨泵

23

大排气量通用电机规格 PMB-C series

罗茨泵用支架单元 YMV series

低转速最适用于真空炉等大型腔体的罗茨泵

bull 采用皮带驱动低速下转动更坚固

使罗茨泵和油回转真空泵能组合在一起的支架单元

bull 分离式支架可以仅取出油回转真空泵

型号 PMB-040C PMB-060C

最大排气速度 [m3h] (Lmin) 3800 (63300) 6200 (103300)

到达压力 [Pa] 067

电机

输出 [kW] (Poles) 15 (4) 185 (4)

电压 [V]50Hz 200

60Hz 200～220

使用油 ULVOIL R-7

所要油量 [L] 8

冷却方式 水冷

吸气口 VG250相当 VG300相当

排气口 VF150相当 VF200相当

质量 (不含电机)[kg] 970 1100

外形尺寸 (不含电机) WtimesDtimesH [mm] 772times1182times680 772times1452times680

标准辅助泵 PKS-070 PKS-070times2

YMV标准构成 支架连接配管波纹管脚轮调节器

选配件大气压驱动 (变频器支架安装方式)油雾过滤器控制盘端子台盒子吸气口法兰 (规管端口＋检漏端口)延迟真空电磁阀冷却水开关

型式推荐泵组

罗茨泵 油回转泵

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

各种泵都是单独订购

PMB-040C

控制盘

端子台盒

吸气 口法兰

油雾过滤器

冷却水开关

变频器

延迟真空电磁阀

支架单元YMV系列

罗茨泵

油回转真空泵

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

24

数字磁悬浮型 UTM-FHFW series

陶瓷轴承型 UTM300B

FH 拥有高背压高压缩型的排气性能的涡轮分子泵

是采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵

通过控制器和泵一体化的设计可以节省空间优良的高背压特性使辅助泵也可小型化bull 允许任意角度安装增加了设备设计的自由度

UTM300B

UTM-1400FW

规格UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] 350 330 480 480 810 740 1000 1000 1490 1360 1300 2730 2230 2110 3300

到达压力 (N2) [Pa] (1) 10-7 10-8 10-7

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109

最大吸气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷76 空冷16 水冷38 空冷12 水冷13 水冷7 水冷8

最大排气口压力 (N2)(2) [Pa] 水冷440 空冷270 水冷290 空冷70 水冷240 水冷180 水冷180

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷460 空冷210 水冷700 空冷170 水冷1000 水冷1350 水冷1300

动翼表面处理 镀镍

冷却方式 (3) 水冷空冷 水冷

质量 [kg] 约17 约28 约36 约60 约90

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 12 13 20

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

泵本体

吸气口VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG350

吸气口 KF25 KF40

排气速度 (N2) [Lsec] (1) 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300

到达压力 (N2) [Pa] 10-8

最大压缩比 (N2) gt1010 gt109 gt1011

最大吸气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷43 空冷8 水冷18 空冷07 水冷9

最大排气口压力 (N2) (2) [Pa] 水冷410 空冷240 水冷180 空冷50 水冷210

连续运转最大流量 (Ar) [SCCM] 水冷370 空冷160 水冷480 空冷110 水冷1100

动翼表面处理 镀镍 无处理

冷却方式 (3) 水冷空冷

质量 [kg] 约17 约28 约86

辅助泵排气速度 [Lmin] 290 800 1500

电源(D3型)

电源容量 [kVA] 06 09 16

输入电压频率 AC 200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约10

符合规格 CE

1)仅表示压力范围区域 2)最大流量时 3)询价下单的时候请指定冷却方式

型号 UTM300B

泵体

吸气口 (1) VG100ICF152ISO100-K

排气口 KF25

冷却方式 自然空冷 強制空冷

排气速度 (N2) [Lsec] 280

到达压力 [Pa] (2)(2段式辅助泵使用时)

烘烤后(3) ー 10-8

烘烤前 10-6 10-6

最大压缩比 (N2) ＞1times109

最大吸气口压力 (N2) (4) [Pa] 006 07

最大排气口压力 (N2) (4) (5) [Pa] 100 1000

表面处理 无

推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) 120Lmin以上

质量 [kg] VGISO ICF 约6 约9 约63 约93

电源 所要电力输入电压频率 DC24V 180W

符合规格 CE NRTL

1)订购时请从VG100ICF152ISO100-K中选择2)仅表示压力范围区域 3)烘烤必须是ICF法兰并且强制空冷的情况下才可4)最大吸气口压力和最大排气口压力不能同时实现5)吸气口的排气流量0 sccm 的情况下连续运转可能的排气口最大压力

FW 拥有广域大流量的排气性能的涡轮分子泵

UTM1600A

真空泵 涡轮分子泵

控制器一体型 UTM-MI series

25

采用磁悬浮控制器一体型分子泵通过泵的本体与控制器一体化实现了省配线省空间

bull 推出排气速度1000Ls～3000Ls种类bull 泵本体和控制器一体

不需要将泵本体和控制器直接配上复杂的配线bull 自由安装方向

由于没有安装方向的限制所以装置设计的自由度扩大bull 泵回转数可在25～100的范围变更

由于可以改变回转数因此能够调整腔体压力bull 用于Light工艺的广域大流量设计bull 高耐久性和安全性

通过了大气突入实验触地实验等各种安全性确认实验

控制器

转子叶片（动翼）

马达

向心辐射磁悬浮轴

吸气口

排气口

定子叶片（静翼）

轴向磁悬浮轴

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

吸气口VG150

ISO160FVG200VG250

ISO200FISO250FVG250

ISO250FVG300VG350

ISO320F

排气口 KF40

到达压力(1) [Pa] 10-7

排气速度(2)(3)

N2 [Ls] 1030 1400 2100 3200

Ar [Ls] 980 1330 2000 3100

H2 [Ls] 660 750 1380 2100

压缩比

N2 2times108 1times108以上 1times109以上

He 7times103 5times103 1times105

H2 8times102 9times102 6times103

最大吸气口圧力(4) [Pa] 26 45 7

最大排气口圧力(4) [Pa] 266 200 270

回转数 [rpm] 37200 33700 27600

回转数可变机能 在泵规定回转数25～100间可以变更运转回转数（设定为01单位）

启动时间 8分以内 9分以内 16分以内

安装方向 全方位安装可能

表面处理(5) 无

外部控制远程接口 D-sub25PIN 接点入出力 D-sub37PIN 接点入出力

串行接口 专用圆形接口 RS232CRS485 D-sub9PIN RS232CRS485

控制器

构成 与泵本体一体（内装与底部）

电源 单相AC200～240V plusmn10 （5060Hz plusmn2Hz）

最大功率 075kVA 12kVA

冷却方式 水冷

冷却水(6)流量 [Lmin] 3～4

水圧 [MPaG] 02～04

噪音 [dB(A)] 57 60

质量 [kg] 43 41 56 94

推荐辅助泵(7) 600Lmin以上 1500Lmin以上

适用规格 CETUVus

标准附属品 吸气口用O型圈(仅VG) 排气口用防尘帽远程控制用接口安装说明书(CD-ROM)

选择式样AC线缆 AC接口 AC线缆（5m10m15m20m）

固定泵用特殊螺栓 M10（RoHS非对应RoHS对应） M12（RoHS非对应RoHS对应）

固定泵用特殊螺栓要否 要 (M10)(8) 不要(8)

选配品 ガスポート用アダプタKF10

1显示序 2无保护网下的值 3UTM2300A和UTM3400A为计算值 4最大吸气口压力最大排气口压力的条件不能同时满足 5请勿流通反应性腐蚀性气体至于气体气体还请咨询 6不宜凝露 730SCCM吸引时8螺栓强度和固定方法等有各自条件详细请参照式样书

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空泵 涡轮分子泵

枢轴轴承型 UTM series

涡轮分子泵排气单元 YTP series

bull 辅助泵可以选择辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外还可以选择搭载干泵的规格

bull 优良的停电对策前级阀门为标配的电磁阀防止停电时候逆流发生故障

bull 可确认粗抽状况标配有皮拉尼真空计可在粗抽排气过程中确认压力

型号 YTP-50MSA (-DRY) YTP-150MSA (-DRY) YTP-300MSA (-DRY) YTP-500MSA

吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 标准型Rc34 DRY仕様KF16 标准型Rc1 DRY规格KF16 标准型Rc1

到达压力 () [Pa] 10-7 台 10-8 台

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

辅助泵排气速度 (50Hz时)(DRY规格) [Lmin]

50 (90) 135 (250) 200 (250) 200 (250)

TMP背压粗抽压力监测 皮拉尼真空计 (27x103～10-1Pa)

前级阀门 油回转泵电磁阀带自动排气机构

输入电压 单相 AC100V5060Hz

电源容量 (DRY规格) [kVA] 13 (10) 18 (17) 21

质量 (DRY规格) [kg] 约55 (约57) 约72 (约71) 约86 (约85) 约99

)分子泵单体烘烤后的值

YTP-50M YTP-150SA-DRY

YTP系列是使用涡轮分子泵UTM系列可以从大气压排气到高真空的排气组合装置商品阵容有利用

STARTSTOP开关可以自动排气的SA样式以及利用手动操作的M样式

使用枢轴轴承和磁悬浮轴承的全翼型涡轮分子泵

bull 长寿命上部采用磁悬浮轴承下部采用枢轴轴承

实现的轴承的长寿命

bull 高压缩比全叶片型转子可提高H2和He的排气性能

UTM-150

规格 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

泵 吸气口 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

排气口 KF16 KF25 KF25 KF40

排气速度(N2) [Lsec] 50 190 300 550

到达压力(N2)(2段式辅助泵使用时) [Pa]

10-7Pa 10-8Pa

最大压缩比(N2) ＞1times108

最大吸气口压力(N2) [Pa] 013

最大排气口压力 (N2) [Pa] 13

动翼表面处理 无

冷却方式 水冷空冷

推荐辅助泵 (10SCCM吸引) 50 100 200 300

质量 [kg] 约3 约6 约10 约16

安装方式 限定为垂直

电源

电源容量 [kVA] 034 059 056 089

输入电压 频率 AC 100～120200～240V单相5060Hz

质量 [kg] 约22 约39 约45

球面状的轴承顶端

螺旋状的沟

润滑油

枢轴轴承半球面的轴承座

26

27

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Notes

真空泵 油扩散泵

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4英寸～14英寸的4种机型

有2种泵油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

ULK-14A

22英寸～52英寸的4种机型可以用于真空炉等大型真空设备

PFL-22

规格 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

排气速度 [Lsec] 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900

到达压力 [Pa] ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6 ＜26times10-5 ＜26times10-6

临界背压 [Pa] 40 60 40 60 35 40 30 30

使用油 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31

油量 [L] 015 035 08 15

冷却水量 [Lmin] 1 1 1 15 25 3 25 35

电压规格 200VAC1φ

所需功率 [kW] 055 073 09 12 2 24 225 24

推荐辅助泵 VD201 VD40C VD90C VS2401

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 175times150times341 250times180times449 340times240times650 340times240times670

吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350

排气口 VG25 VG40 VG80 VG80

质量 [kg] 75 135 47 56

油位表 无 无 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 250 250 180 180

规格 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

排气速度 [Lsec] 10000 10000 34000 70000

到达压力 [Pa] 30 times 10-4

临界背压 [Pa] 16 67 16

使用油 ULVOIL D-11

油量 [L] 5 5 13 27

冷却水量 [Lmin] 12 15 38 50

电压规格 200VAC3φ

所需功率 [kW] 8 10 启动时 22 稳定时 11 启动时 45 稳定时 30

推荐辅助泵 PMB-040C+PKS-070 PMB-060C + PKS-070times2

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 480times630times1330 480times630times1330 725times1022times1732 1000times2000times2845

吸气口 VG550 VG550 VG900 VG相当52inch

排气口 VG150 VG200 VG250 VG350

质量 [kg] 290 290 650 1400

油位表 观察窗 观察窗 观察窗 观察窗

恒温器选项 有 有 有 有

恒温器设定温度 [] 180 180 110 110

28

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 所需功率油量少效率高经济型真空泵

主要用途

bull 蒸发设备

bull 高真空实验设备

主要用途

bull 真空热处理炉烧结炉浸碳炉

bull 大型腔体排气

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 有2种油和加热器可供选择能够满足所需要的排气速度到达压力

bull 配有防止向辅助泵侧返油的机构

真空泵 油扩散泵

油扩散喷射泵 PBL series

水冷挡板 BW series

在油回转真空泵及罗茨泵排气速度低下的

10-1Pa压力段拥有最大的排气速度

抑制油蒸汽从油扩散泵逆流向吸气侧

规格 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

排气速度 [Lsec] 80 200 500 1800 4000 7000

到达压力 [Pa] 27times10 -2

临界背压 [Pa] 40

使用油 ULVOIL B-6

油量 [L] 01 06 75 18 36 90

冷却水量 [Lmin] 15 5 8 12 18 25

电压规格 200VAC1φ 200VAC3φ

所需功率 [kW] 044 184

2kWtimes2个8

4kWtimes2个11

55kWtimes2个18

6kWtimes3个

推荐辅助泵 VD30C PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+PKS-030

PMB-040C+PKS-070

外形尺寸 AtimesBtimesH [mm] 100times70times463 150times112times524 200times152times973 300times346times1321 340times548times1687 510times444times2320

吸气口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

排气口 34Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

质量 [kg] 6 17 86 198 313 495

油位表 无 无 量规 量规 量规 量规

恒温器选项 无 无 无 无 无 无

恒温器设定温度 [] - - - - 160 160

规格 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

流导 [Lsec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000

外径尺寸 [mm]

D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

冷却水口 (尺寸) Rc 18 Rc 14 Rc 14 Rc 14 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 38 Rc 12

冷却水量 [Lmin] 15 07 1 2 2 3 3 5 5

重 量 [kg] 1 13 17 76 11 22 28 66 200

29

BW-04B＋适配器

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

bull 保护真空容器内不受油扩散泵的油蒸汽污染

bull 设计成排气阻力非常小

bull BW-04B和BW-06B搭配了适配器可以更好的控制油蒸气逆流量

bull 没有机械式的滑动部分坚固型高真空泵

bull 在油回转泵罗茨泵和油扩散泵排气速度低下的中间压力段需要大的排气速度时候适用

bull PBL-02~PBL-04本体采用不锈钢铜优良的耐腐蚀性

bull PBL-06以上的大型泵是将管式加热器直接放入运作油中特别是热効率性能优越

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

溅射离子泵 PST series

PSTseries用控制器 GST-07L-B

真空泵 溅射离子泵

30

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化

以提高极超高真空领域的排气速度

极超高真空领域的排气特性的強化通过新型素子 (Acter素子)和磁场的最优化以提高极超高真空领域的排气速度

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

规格PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体

排气速度(再生排气速度)

[m3sec] N2 (Ar)

最大 003 最大 0045 最大 010 最大 011 1x10-7Pa时 02 1x10-7Pa时 036

1x10-7Pa时 002 1x10-7Pa时003 1x10-7Pa时008 1x10-7Pa时006(1x10-7Pa时

Ar 002)(1x10-7Pa时Ar 0105)

(1x10-7Pa时Ar 004)

(1x10-7Pa时Ar 019)

到达压力 [Pa] 10-9台 10-9台 10-9台 10-9台 10 -10台 10 -10台

动作压力 (1) 推荐值 lt 8x10-3 lt 8x10-3 lt 5x10-3 lt 5x10-3 lt 4x10-3 lt 3x10-3

连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 UFC152 UFC203 UFC203

推荐控制器 GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B GST-07L-B

施加电压 [kV] DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75 DC +75

烘烤温度 [] 250 250 250 250 250 250

质量 [kg] 约95 约128 约37 约37 约65 约124

外形尺寸WxDxH [mm] 108 x 183 x187 153 x 204 x 241 155 x 336 x 340171 x 387 x

293296 x 361 x 376 296 x 544 x 376

加热器单元所需电源 － 单相200V300W 单相200V320W － 单相200V600W 单相200V800W

1) GST-07L-B型控制器使用时

GST-07L-B

规格 GST-07L-B

表示范围 7位 LED表示

a)输出电流显示 mA μA的2段自动切换 (LINEAR显示)

b)输出电压显示 DC 00～75kV

c)压力显示 Pa mbar (10-8～10-2Pa) (10-13～-4mbar)

输出开放电压DC +75kV (通过面板的开关切换H L的2点设定)

HL的设定电压约10～75kV范围可変

输入电压电流AC100～115Vplusmn10 5060Hz 30A以下

AC200～240Vplusmn10 5060Hz 15A以下

Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出 各段DC0～10V FS 100Ω以上

压力设定点 2点

REMOTELOCAL 通过前面板的开关进行切换

外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头) (远程控制搭载RS232C通讯控制)

保护功能

错误信息显示搭载各种保护功能

显示闪灯高电压 (HV)输出遮断 (ERR 0～5)

启动保护用计时器設定 (1～255分钟可変)

质量 本体约4kg

外形尺寸WtimesDtimesH 240x370X99 mm (外框安装金器除外则W200mm)

符合规格 CEcTUVus

GST-07L-B是ULVAC根据其在超真空领域拥有的丰富的技术和实绩而诞生的高功能高信赖性的溅射离子泵控制器

钛升华泵 GGT-3PGT series

真空泵 钛升华泵吸附泵

吸附泵 PSM-10B

31

钛升华泵GGT-3PGT系列是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵

bull 提高到达压力钛升华泵是利用钛的吸附作用进行排气来生成超高真空的真空泵与离子泵共同使用可以得到极高真空

规格 GGT-3

输出 AC0～6V可变最大60A

控制方法 计时器ONOFF控制

计时器设定时间范围 005秒～300小时 (ONOFF总计)

输出显示 输出电流显示

输出显示间隔 模拟表示60A满量程

联动式输入 1点

输入电压频率 单相AC200～220V 5060Hz切换

输入电流 最大35A

重量 12kg

规格 PGT-3F PGT-6F

最大排气速度 (1) 24m3 (sm2)lt20gt64m3 (sm2)lt-196gt

使用压力范围 10-1～10-9Pa程度的超高真空领域

可排气体 H2H2O2H2OCOCO2

不可排气体 HeNeArCH4C2H6其他有机气体

漏气量 13x10-11 Pam3s 以下

烘烤温度 250

所需功率 270W

灯丝材质 钛合金

灯丝寿命 额定连续运转 (2)约75小时连续通电约25小时

灯丝数 3本 6本

连接法兰 UFC070-FH UFC114-FH

质量 10kg 25kg

1) 在超高真空压力领域20氮气情况下的计算值 2)270Ｗ 通电30秒60秒停

钛升华泵PGT series规格

PGT用控制器规格

PGT-3FGGT-3

PSM-10B

吸附泵是利用多孔质的吸附剂 (人工沸石)在液氮冷却后能吸着物质的特性来制造的泵从大气压到10-2Pa领域可以得到没有油蒸汽的清洁的真空环境

型式 PSM-10B PSM-10B

吸气口连接法兰 UFC070-RH (1) VG40

到达压力PSM单体时 26 Pa

与油回转泵并用时 13x10-2 Pa

使用压力范围 大气压～10-2 Pa左右

材质 奥氏体系不锈钢

吸着剂规格 5A 分子筛（molecular sieve）

吸着剂质量 1 kg

液氮消费量初期 5 Lhr

平衡时 11 Lhr

活性化用加热器 泵内置

同上用加热器规格 单相 AC200V300W5060Hz

排气口法兰 frac34英寸

质量 10 kg

1)ULVAC规格的不锈钢制刀口金属法兰

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空阀门 选型指南

32

拥有从真空角阀到摆动阀16A (58inch)～900A (36inch)大气压～极高真空可以对应各种需求的产品系列

类型 类别 系列

真空角阀

VLP 真空角阀 (复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式不锈钢O型圈封)

VLP-SB 真空角阀 (复动式不锈钢波纹圈封)

VLP-MB 真空角阀 (复动式不锈钢超高真空)

VLP-U 真空角阀 (复动式铁O型圈封)

VLB 真空角阀 (单动式)VLB-SA 真空角阀 (单动式不锈钢O型圈封)

VLB-SB 真空角阀 (单动式不锈钢波纹圈封)

VLH 真空角阀 (手动式)VLH-SB 真空角阀 (手动式不锈钢波纹圈封)

VLH-MB 真空角阀 (手动式不锈钢超高真空)

真空门阀VAP 真空门阀 (复动式)

VAH 真空门阀 (手动式)

摆动阀 VFR 摆动阀

特殊用途阀

10AIV 进气阀 (手动式放气)

VUH 真空角阀 (手动式全金属构造)

VLV-3D 可变泄露阀 (手动式流量可変)

系列 真空程度 (1)使用压力范围

[Pa (abs)]形状 驱动方式 本体材质

允许烘烤温度[] (2)

允许逆压差[MPa]

VLP-SA V 大气压～10-5 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-SB HV 大气压～10-6 角型 复动 SUS304 150 010

VLP-MB UHV 大气压～10-8 角型 复动 SUS304 150 (200) 010

VLP-U V 大气压～10-5 角型 复动 SS400+镀Ni 60 不可

VLB-SA V 大气压～10-5 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLB-SB HV 大气压～10-6 角型 单种NC (3) SUS304 150 010

VLH-SB HV 大气压～10-6 角型 手动 SUS304 150 010

VLH-MB UHV 大气压～10-8 角型 手动 SUS304 150 (200) 010

VAP HV 大气压～10-6 门型 复动 铝合金 120 010

VAH HV 大气压～10-6 门型 手动 铝合金 120 010

VFR HV 12times105～10-6 摆动型 复动CL保持 (4) 铝合金 120 012

10AIV HV 大气压～10-6 特殊 (放气) 手动 SUS304 150 010

VUH XHV 大气压～10-9 特殊 (金属) 手动 SUS304 200 (250) 010

VLV-3D XHV 大气压～10-9 特殊 (可变) 手动 SUS304 150 010

1) 真空程度和构造的关系请参考「密封件构造的说明」栏2) 驱动部为60以下 ( )内为阀门ldquo开rdquo的状态3) 单种驱动方式NC常闭 (压缩空气释放时自动关闭)4) 多种驱动方式CL保持虽然是多种方式在关闭的状态下压缩空气释放时保持为关闭状态

分类

规格

VLP-SAVLP-SB

VLH-SBVLV-3D

VUH 10AIVVFR

真空阀门 选型指南

33

公称直径(1)

A (ISO) [mm] 016 020 025 040 050 063 080 100 160 200 250 320 - 400 - 500 550 900A (JIS) [mm] - 020 025 040 050 065 080 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 900B [inch] 58 34 1 112 2 212 3 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 36

VLP-SAJH VF VLP-SAKF ISO-KF VLP-SAKC ISO-K VLP-SBJH VF VLP-SBKF ISO-KF VLP-SBKC ISO-K VLP-SBCH ISO-CF VLP-MBCH ISO-CF VLP-U VF VLB-SAKF ISO-KF VLB-SBKF ISO-KF VLH-SBJH VF VLH-SBKF ISO-KF VLH-SBKC ISO-K VLH-SBCH ISO-CF VLH-MBCH ISO-CF VAP-U VF VAH-U VF VFR- VF 10AIV- (2)

VUH- (2)

VLV-3D (2)

1)在商品规格中的数字表示「公称直径A (ISO)mm」「公称直径A (旧JIS)mm」「公称直径B inch」

「公称直径A (JIS)mm」是JIS B2290 附属书 (保养法兰)的规格

2)详细信息欢迎垂询

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

弹性密封件

金属密封件

波纹圈密封件

真空程度

V ≦10-5 Pa

HV ≦10-6 Pa

UHV ≦10-８ Pa

XHV ≦10-９ Pa

活动滚轮

密封件构造的说明

产品系列一览表

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

角型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

摆动型

V

HV

UHV

XHV

类型 真空程度

门型

V

HV

UHV

XHV

ISO-CF法兰的公称直径 016 025 040 063 100 160 200 250

ULVAC-UFC法兰的公称直径 034 054 070 114 152 203 253 306

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

34

Notes

真空计 选型指南

选型指南

作为真空技术的引领企业积累了多年经验和技术在真空计测类产品上堪称出类拔萃

ULVAC作为真空领域内的真空计校正事业单位是日本第一家通过JCSS认定的公司

bull 2010年压力 (真空)区分领域内日本第一家JCSS校正登录事业者以及国际MRA对应认定事业者

bull 基于ISOIEC17025的JCSS校正可实施

bull 如果附有JCSS标章的校正证明书则可以与国际MRA加盟国间实现相互认证

bull 可能进行校正的真空计热电导真空计 (皮拉尼真空计)隔膜真空计电离真空计粘性真空计

(对应包含自社制真空计以及他社真空计在内的所有真空计)

校正手法的区分的名称

种类 校正范围最高测定能力

(信赖的水准约95)

真空计

粘性真空计

01mPa以上 1mPa未满 20

1mPa以上 10mPa未满 10

10mPa以上 01Pa未满 08

01Pa以上 1Pa未满 07

隔膜真空计

1Pa以上 100Pa未满 15

10kPa以上 133kPa未满 06

01mPa以上 1mPa未满 03

电离真空计01mPa以上 1mPa未满 50

1mPa以上 1Pa未满 30

热电导真空计 1Pa以上 1kPa未满 20

真空计校正服务 JCSS

JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

JCSS 0258JCSS 0258当社規格品事業部　標準校正室は認定基準としてJIS Q 17025 (ISOIEC 17025) を用い認定スキームをISOIEC 17011に従って運営されているＪＣＳＳの下で認定されていますＪＣＳＳを運営している認定機関(IAJapan)はｱｼﾞｱ太平洋試験所認定協力機構(APLAC)及び国際試験所認定協力機構(ILAC)の相互承認に署名しています

当社規格品事業部　標準校正室は国際MRA対応JCSS 認定事業者ですJCSS 0258は当標準校正室の認定番号です

真空计校正室

35

单位10 Pa

商品名称 -11 -10 -9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 +1 +2 +3 +4 +5

传感器单体型真空计

压力传感器 SAU

隔膜真空计

CCMT-1000D

CCMT-100D

CCMT-10D

CCMT-1D

皮拉尼真空计SW1

SP1

冷阴极电离真空计 SC1

复合电离真空计

ST2

ST2+SPU

ST2+SPU+SAU

SH2

SH2+SPU

SH2+SPU+SAU

通用型真空计

皮拉尼真空计GP-1G(RY)1000G

GP-2001G2002G

热阴极电离真空计

GI-D7WIT

GI-D7WIB

GI-M2

极高真空计 AxTRAN

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空计 传感器单体型真空计

复合电离真空计 G-TRAN series ST2SH2

bull 长寿命 (与本公司相比30倍以上)

通过抑制离子收集器的单位面积上的电流值成功大幅度减少对传感器的负担

bull 高安定高精度 (实现plusmn10)

测定子电离化空间的电位尽量一致的弊司独特的设计构造

bull 世界第一个三极管型金属管

小型金属管最大程度考虑流导

bull 采用弊司独特的复合电离真空计规格

可与皮拉尼真空计大气压计实现联动

ST2 强的秘密

36

bull ST2-1ST2-2

bull 世界第一个的三极管型金属电离真空计 (专利第5827532号)即使在对真空计来说非常严酷的环境下也能最大限度地发挥其优势实现长寿命

bull 提高测量精度实现测量精度plusmn10大幅度提高灵敏度的稳定性

bull 真空炉有机EL触摸屏制造设备的到达压力确认烃洗浄液较多的情况下的测量测定子交换频度较多的设备等

bull SH2-1SH2-2

bull 可以测量到超高真空~高真空

bull 适合设备PVFPDSEMI以电子部品为主的溅射设备用于蒸发设备的到达压力确认超高真空装置的压力监测等

可以与不同的测量范围的测定子连接皮拉尼真空计SPU可以与压力传感器连动也可以测量低真空～大气压

规格 ST2-1 ST2-2 SH2-1 SH2-2

测量压力范围 1times10-5~1times10+1Pa 5times10-8~1times10+1Pa

测量精度 plusmn101times10-4~3Pa plusmn15

灯丝 1根 (IrY2O3) 2根 (IrY2O31根W1根)

DEGAS 电子冲击脱离方式

测量值输出 LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出) 无

串口通讯 无 RS232CRS485 无 RS232CRS485

电源电压 DC 20-28V

外形尺寸 75times63times184 mm (ST2SWT-16)

可连接的传感器 皮拉尼传感器 SPU (选配)压力计SAU (选配)

适应测定子 SWT-16(NW16) SWT-25(NW25) M-34 (NW16)M-35(NW25)M-36(ICF070)

符合规格 CE

可连接不同测量范围的测定子的传感器单体型真空计可大幅度控制运行成本

G-TRAN ST2 G-TRAN SH2 SAUST2SH2 SPU

是否曾为这样的事例烦恼

压力

(Pa)

真空计安装在油扩散泵正上方的实验设备到达压力情况下真空计压力指示的推移

市面上的CCG

时间(h)

市场上销售的B-A Gauge

真空计 传感器单体型真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN series SW1SP1利用气体的热传导来进行压力测量的恒温型皮拉尼真空计可测量低真空～中真空领域

bull SW1-1SW1-2

bull 可以测量广泛的压力范围可以测量大气压～5times10-2Pa

bull 耐撞击性的提升耐冲击性与耐振动性设计构造(Patent pending)

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车可直接承受真空泵振动等的制造设备其他真空设备的粗抽系统的测量等

bull SP1

bull 采用实绩丰富的WP系列测定子有测定子互换性

bull 适用设备各种真空制造装置的连锁与顺序控制其他真空设备的粗抽系统的测量等

陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形随着变化的静电容量中检出压力的真空计

bull 陶瓷 (铝)隔膜的采用优越的耐腐蚀性长时间的安定性

bull 可以测量绝对压力不受气体种类的影响可全压测量

bull 温度补偿内置温度补偿回路

bull 保护功能采用保护结构保护传感器不受飞行物影响

bull 预热时间缩短从接入电源开始到稳定测量为止的时间大幅度缩短

bull 适用设备溅射设备蒸发镀膜设备等的成膜过程管理用太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等

隔膜真空计 G-TRAN series CCMT

规格 SW1-1 SW1-2 SP1测量压力范围 5times10-2~1times10+5Pa 4times10-1~30times10+3Pa

测量精度plusmn10 （1times10-1~1times10+4Pa）plusmn20 （5times10-2~1times10-1Pa1times10+4~1times10+5Pa

plusmn15plusmn30plusmn50

(51~760Pa)(10~51Pa760~1000Pa)(04~10Pa1000~3000Pa)

灯丝 铂金 (Pt)

测量值输出 DC 0~10V LOG输出 DC 0~10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出) 无 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无 RS232CRS485 无

电源电压 DC 18~30V DC 24Vplusmn2 V

外形尺寸 46times28times105 mm 50times30times146 mm

适用测定子SWP-16 (NW16) SWP-25(NW25) SWP-P18(Φ18) SWP-P15(Φ15)

SWP-CF16(ICF034) SWP-R18 (R18)WP-01(Φ18)WP-02(Φ15)WP-03(R38)WP-16(NW16)

符合规格 CE －

规格 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D

测量压力范围 133kPa FS 133kPa FS 133kPa FS 133Pa FS

实用测量下限压力 13Pa 13Pa 013Pa 13times10-2Pa

分解能 666Pa 67Pa 067Pa 67times10-2Pa

测量精度 针对显示值plusmn02 plusmn温度系数 (开启电源后2小时后环境温度25)

显示 (Display) 无 (选配件可对应ISG1GM-2001GGM-2002G)

测量值输出 线性输出 (DC 0-10V)

设定点 无

气体接触部材质 AL2O3Vacon70SUS316玻璃陶瓷焊接AgTiCu硬质焊接

电源电压 DC 14-30V

外形尺寸 Φ55times117 mm

接头规格 NW1612 pipe(Φ)1278VCR

符合规格 CE

SW1-1

CCMT-D

SP1

SW1-2

GM-20012002

37

ISG1

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

采用半导体薄膜元件可以精确测量接近大气压的精度 (量压 -100kPa ～10kPa)

bull 最适合大气压确认可以精确测量大气压

bull 可对应高真空连续使用采用半导体薄膜元件可以在高真空环境下连续使用 (SUS316L)

bull 测量值输出标准配备DC 0-5V的线性输出

bull 驱动电源宽范围的DC 12-24V可对应

bull 适用设备PVFPDSEMI电子部品为首的各种镀膜设备的大气压确认压力测量用

反磁控管型冷阴极电离真空计容易保养的构造能降低运行成本

bull 反磁控管型冷阴极电离真空计

bull 保养客户可以进行简单的测定子保养

bull 无灯丝没有灯丝可以清洁再生

bull 控制输出信号内有2个设定点

bull 适用设备各种真空炉蒸发设备有机EL设备其他高真空设备的过程控制用

G-TRAN全系列 (包括CCMT系列)对应的显示单元

bull 对应G-TRAN全系列

bull 内置控制输出信号的设定点 ISG13点IM1R1IM2R18点可任意分配

bull 可作为复合真空计使用IGCCG (ch1)和PG (ch2)可联动测量 (IM1R1IM2R)

bull 可以4ch同时测量能够4ch的同时测量同时表示 (IM1R1IM2R)

bull 适用设备使用G-TRAN系列的真空计并需要显示压力的真空设备

规格 SAU

压力基准 量压

测量压力范围 -100～10kPa (量压)

测量精度 plusmn3 FS

测量值输出 DC 0-5V 线性输出

材质 SUS316L

传感器耐压 200kPa (法兰或卡箍的耐压需另外考虑)

电源电压 DC 12-24Vplusmn10

外形尺寸 Φ30times68mm

接头规格 NW16

型式 ISG1 IM1R1 IM2R1

可连接测量单元台数 1台 1-4台

连接测量单元 SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1 CCMT SW1-1 SP1 ST2-1 SH2-1 SC1

显示 数字显示 底数部2位指数部1位 数字显示 底数部2位指数部1位

测量值输出 DC 0-10V

设定点 3点 8点 (任意分配)

采样时间 70ms 50ms (仅SW1时70ms)

电源电压 DC 24Vplusmn1V DC 24Vplusmn2V AC 100Vplusmn10V

联动测量 － 可 (IGCCG和PG和的联动)

外形尺寸 DIN 48times70times96 mm DIN 96times285times96 mm

符合规格 CE －

规格 SC1

测量压力范围 1times10-5-1times10０Pa

测量精度 －50 ～ +100（1times10-4~1times10-1Pa）

测量值输出 DC 0-10V 非线性输出

设定点 2点 (集电极开路输出)

串口通讯数字输出 无

电源电压 DC 24Vplusmn2V

外形尺寸 Φ90times145 (C-21)

适用测定子 C-21 (Φ1815)C-23 (ICF034)C-24 (NW16)C-25 (NW25)

真空计 传感器单体型真空计

压力传感器单元 G-TRAN series SAU

显示器单元 G-TRAN series ISG1IM1 (２)R1

冷阴极电离真空计 G-TRAN series SC1

SAU

SC1

IM1R1ISG1

38

真空计 通用型真空计

皮拉尼真空计 GP-G series利用气体的热传导恒温型皮拉尼真空计畅销超过15万台的产品

bull 根据用途配有显示器的皮拉尼真空计模拟表示数字表示

bull 采用实绩丰富的WP系列的测定子测定子可互換

bull 灯丝材质采用铂金 (Pt)灯丝材质采用耐腐蚀性极强的铂金作成

bull 根据用途准备了多种类型数字输出串口通讯规格控制输出信号 (设定点)等

bull 适用设备溅射设备真空贴合设备各种排气移动台车各种真空制造设备的互锁和顺序控制系统其他真空粗抽测量系统等

能够测定中真空～超极高真空的热阴极电离真空计

GI series

bull 可以测量中真空～超高真空領域

bull 准备有金属管型玻璃管型裸型的3种类型的测定子可以根据用途选定

bull 适用装置GI-D7 (WIT)真空热处理炉真空钎焊炉蒸发镀膜装置 (扩散泵)等

GI-D7 (WIB)GI-M2溅射设备蒸发设备 (分子泵)各种高超高真空装置 等

AxTRAN

bull 能够测量超高真空～极高真空领域实现10-11Pa范围的压力测量 (能够测量宽频带 05times10-10 ～ 1times10-2Pa)

bull 搭载贝塞尔型能量过滤器能够减少软X线及ESD离子等而残留的电流

bull 适用设备高能量加速器超高极高真空设备的压力测量 等

电离真空计超高真空计 GI seriesAxTRAN

规格 GP-1000G GP-2001G GP-2002G GP-1GRY (A) GP-1G GP-1G附外壳

测量压力范围 04~2700Pa 04~3000Pa 04~2700Pa

压力单位 Pa PakPa Pa

测量精度 plusmn15(51～760Pa) plusmn30(10～1000Pa) plusmn50(04～27003000Pa) 直线间隔换算满量程100的plusmn3以内

显示 (Display)数字显示 (LCD)

底数部2位指数部1位数字显示 (LED)

45位模拟显示

测量值输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10V 线性输出 DC 0-10mV非线性输出

设定点 3点 (继电器接点输出) 3点 (集电极开路输出) 2点 (继电器接点输出) 无

串口通讯数字输出 RS232CBCD输出 无

电源电压 AC100-240V DC24V AC100-240V

外形尺寸 (Display) 50times236times99mm 99times136times48mm 100times111times100mm 100times130times100mm 150times134times191mm

适用测定子 WP-01 (Φ18) WP-02 (Φ15) WP-03 (R38) WP-16 (NW16) WPB-10-034 (ICF034)

符合规格 CE -

商品名 (玻璃)电离真空计 (金属)电离真空计 超高真空计

规格 GI-D7 GI-M2 AxTRAN

测量压力范围WIT13times10-5 ～ 67times10-1PaWIB13times10-6 ～ 13times10-2Pa

50times10-8 ～ 99times10-0Pa 05times10-10 ～ 999times10-３Pa

压力单位 Pa

测量精度 plusmn15

显示 数字显示 (LED) 底数部3位指数部2位

测量值输出 底数部线性输出模拟LOG输出 (DC 0-10V)

设定点 2点 (继电器接点输出)

串口通讯 RS232CBCD输出 RS232CBCD输出 (可选)

电源电压 AC 100 Vplusmn10 V AC 85-240V

外形尺寸 240times380times99 mm

适用测定子WIT-G1(WΦ1815) WIT-G8(IrΦ1815)

WIB-G5(Φ1815) WIB-N3(ICF070)M-11(Φ18) M-12（Φ15) M-13(ICF034)

M-14(NW16) M-15(NW25）X-11 (ICF070)

符合规格 － CE

GP-1000G GP-2002G GP-1G (附外壳)

AxTRANGI-M2

39

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小型工艺气体分析仪 Qulee CGM series最适合于溅射设备的工艺管理 (品质管理提高效率)

bull 工艺监测时无需差动排气系统 (1Pa以下即可测量)

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测良One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备溅射设备专用机

气体分析仪

型号 CGM-051 CGM-052

质量数范围 1-50 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 01μAPa 01mAPa

最小可检分压 1times10-7Pa 1times10-10Pa

最大使用压力 2Pa 1times10-2Pa (SEM)2Pa (FC)

灯丝 IrY2O3 (1根)

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee CGM-051

40

反应性气体分析仪 Qulee RGM series最适合在蚀刻设备CVD设备的工艺管理 (品质管理提高效率)和终点监测

bull 能够长时间稳定地监测反应性气体和腐蚀性气体

bull 采用带磁铁的封闭型离子源软离子化可以抑制气体分裂

bull 采用小型的流路控制阀门缩短腔室到离子源的距离能够快速反应进行分析

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备蚀刻设备CVD设备的工艺管理残留气体分析检漏 等

带有差动排气系统的四极质谱仪 Qulee with YTP series多种真空设备的工艺管理残留气体分析到RampD等能够广泛应用

bull 性价比超群带有差动排气系统 气体监测到RGA(残留气体分析)只需1台即可对应

bull 选定机种质量数1-100 (BGM-1012)质量数1-200 (BGM-2012)质量数1-300 (HGM-302)

bull 能够从大气压分析分析压力包含大气压3000Pa500Pa100Pa10Pa1Pa可以选择

bull 降低运行成本采用枢轴轴承型分子泵不需要换油补油换轴承

bull 适用设备溅射蒸发设备的气体监测真空渗碳炉冻结干燥设备高真空设备的RGA等

排气单元YTP-50M和气体分析仪之间的配管等请客户自行安装

型号 RGM-202 RGM-302

质量数范围 1 -200 amu 1 - 300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 1times10-３APa (二次电子增倍管(SEM))

最小可检分压 1times10-10Pa

最大抽样压力 13kPa (根据选择的管径可变更)

气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门

离子源灯丝 带磁铁的密封型离子源V字型灯丝 IrY2O3 (1本)

软件 Qulee QCS Ver31以降 (Windows 7810对应)

气体分析仪 从BGM-101 BGM-102 BGM-201 BGM-202 HGM-302 中选择

最大采样压力 从大气压 3000Pa 500Pa 100Pa 10Pa 1Pa 中选择

气体导入系 (3000-1Pa) 手动波纹管阀门 (2系統) 法兰接口UFC070

大气压采样单元(大气压)

干泵 DAP-6D 到达压力6700 Pa

控制单元 电源线 3m付

毛细管单元 手动波纹管阀门 (1系統)接口接头 14rdquoSwagelok

排气单元YTP-50M

分子泵 50Ls (N2)

前级泵 可选油回转泵干泵

皮拉尼真空计 GP-1G

输入电源 单相 AC100V14A

软件 Qulee QCS Ver31以上 (Windows 7810对应)

Qulee RGM-302

Qulee with YTP

Qulee with YTP

大气压规格

气体分析仪

气体分析仪用软件 Qulee QCS本软件可以对应ULVAC制的所有气体分析仪

bull Qulee的标准软件Qulee全系列标准采用 (Windows 7810对应)

bull 操作简单丰富的快捷键而实现简单的操作

bull 测定模式多样扫描模式趋势模式模拟模式灵敏度校正模式 等

bull 通过RS485通信最多可8台同时进行测量 (Qulee系列可任意组合)

bull 适用机器Qulee全系列产品可标准对应

型式 Qulee QCS Ver31 Qulee QCS Ver40

OS Microsoft Windows 7810

通信 RS-232C485 Ethernet

连接传感器数 最大8台传感器 (Qulee系列可任意组合) 最大16台传感器 (Qulee系列可任意组合)

对应机种 Qulee CGMQulee RGMQulee with YTP) Qulee BGM2Qulee HGM2)

菜单保存数 100 (用户区域70)

测量速度 50 100 200 500 1000 2000 ms

模拟输入 0-10V (2点)

分压设定点 2ch的分压设定点 (异常警告)的设定 (仅趋势测定模式)

PC要求规格

HDD2MB (测定数据除外) RAM256MB以上 显示范围1024times768以上 CD-ROM光驱

COM端口RS232C CPUPetium 3 12GHz以上

Ethernet 端口 CPUCorei5 以上(8 units or moreCorei7 以上)

Qulee QCS

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真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

基础工艺气体分析仪 Qulee BGM2 series最适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理 (品质管理提高效率)

bull InterfaceEthernet

bull 性价比超群最适合各种RGA用途

bull 显示部一体型的設计即使无PC也可测量One Click功能操作简单

bull DEGAS功能搭载采用电子冲击脱离方式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能的搭载

bull 适用设备蒸发设备真空炉有机EL设备PVFPD半导体关联制造设备高真空装置的残留

气体分析

Qulee BGM2-102

高性能气体分析仪 Qulee HGM2 series高端机型适合各种研究开发用途

bull InterfaceEthernet

bull 适合各种研究开发用途高端机型最高灵敏度达 25times10-6APa

bull 高温可烘烤对应能够测量最高250以下 (传感器单元未连接状態下最高可对应300)

bull DEGAS功能搭载采用电子衝撃脱離法式 (330V5mA)

bull 充实的预防保护功能离子源二次电子増倍管的预防保护分析管的可追朔性功能搭载

bull 适用设备升温脱离气体分析极高超高真空设备的残留气体分析有机分析环境测量 等

型号 HGM2-202 HGM2-302

质量数范围 1-200 amu 1-300 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM) 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)

灵敏度 25times10-6APa 4APa 20times10-6APa 4APa

最小可检分压 1times10-９Pa 1times10-１３Pa 1times10-９Pa 1times10-１３Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 250 (传感器单元连接时可以测量)300 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

型号 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202质量数范围 1-100 amu 1-200 amu 1-100 amu 1-200 amu

分辨率 MM=1M (10PH)

检测器 法拉第杯(FC) 二次电子增倍管(SEM)法拉第杯(FC)

灵敏度 10-7APa 4APa

最小可检分压 1times10-8Pa 1times10-12Pa

最大使用压力 1times10-2Pa

最大可烘烤温度 120 (传感器单元连接时可以测量)250 (传感器单元未连接时)

Interface Ethernet

软件 Qulee QCS Ver40以降 (Windows 7810对应)

符合规格 CE

Qulee HGM2-202

检漏仪 HELIOT900 seriesHELIOT900系列排气速度快使用简便是所有查漏仪器中最好的选择

bull 高速排气性能在超微漏模式下He的排气速度达到5Ls

bull 采用与本体独立的平板电脑式显示器搭载无线控制系统

bull 可进行直观操作高精度的识别性及简易的测试画面

bull 支持多种真空泵油回转泵涡旋型干泵

bull 904系列装有方便移动及操作简单的推车901系列也准备了低底盘型号

bull 优异的维护保养性面板可以进行简单拆卸各部件的接触也十分简便搭载操作使用说明书画面

bull 真空法除了可检出氦气还可检测出氢气

检漏仪

HELIOT901W1D2 HELIOT904W2D3D4 HELIOT901+Cart

型号 901W1 901D2 904W2 904D3 904D4

本体类型 便携式 移动式

检出气体 4He 2H2

最小可检漏率 (4He)[Pam3sec] lt5E-13Pam3sec

漏率显示范围[Pam3sec]4He

ULTRA 001E-12 ～ E-6Pam3sec

FINE 001E-10 ～ E-5Pam3sec

GROSS 001E- 8 ～ E-3Pam3sec2H2 FINE 001E- 8 ～ E-5Pam3sec

测试端口排气速度 (4He)[Lsec]ULTRA 5

FINE 1 5

最大连接压力[Pa]

ULTRA lt2 Pa

FINE lt100 Pa

GROSS lt1200 Pa

主排气泵排气速度[Lsec] 分子泵31

粗抽泵排气速度 (50Hz60Hz)[Lmin]

油回旋泵 涡旋干泵 油回旋泵 涡旋干泵 涡旋干泵

3036 90108 135162 250300 500600

重量[kg] (含推车) 约33 (约46) 约37 (约50) 约79 约74 约96

尺寸WtimesDtimesH[mm] 320times480 (652)times5055 (917) 444times660times991

消耗功率[VA] (4) 600 500 1100 650 1150

输入电压[V] 单相 100-120 or 200-240

测试端口形状 NW25 (ISO)

启动时间[min] lt2

外部面板 RS232C RS485 模拟DC输出 数字输出

显示语言 中文(简体) 中文(繁体) 日语 英语 韩语 德语 西班牙语 俄罗斯语

显示器 7英寸触摸屏显示器 (无线规格IEEE 80211 bgn) (1)

操作范围[m]有线 电线长2 (标准) 5 (可选)

无线 40 (2)

电池驱动时间[hr] 3 ～ 5 (3)

使用环境温度[] 10 ～ 40 (无结露)

适合规格 CE IP30 CE

1)取得电波法 1)平板电脑Telec CE FCC 2)本体模块Telec CE FCC IC C-TICK 3)本体还可以使用不发送无线电波的ldquo有线专用规格rdquo平板电脑可以打开关闭无线通信2)随使用环境变化 3)随通信状态画面明亮度音量等变化4)请注意突然的电流使用电缆盘时请注意电缆盘的式样

吸枪

型号 AS9 BS9 BT9

检出气体 4He

漏率显示范围[Pam3sec] 001E-8 ～ E-5 Pam3sec 001E-7 ～ E-3 Pam3sec

吸入量[SLM] lt003 约3

吸入口形状 手提式吸枪 Φ6mm软管接口

付属软管[m] 1-10

42

系统搭载用检漏仪 HELIOT ZERO

HELIOT900系列拥有丰富的可选配件

检漏仪

专为自动氦气检测系统设计的检漏仪

bull 分析部与操作部之间最大可分离30m

bull 分析部件的安装更方便

bull 小型化更省空间

bull 吸枪法 (可选)

型号 HELIOT ZERO

可检测气体种类 4He

真空法检出范围[Pam3sec] E-12 ～ E-3 Pam3sec

吸枪法检出范围[Pam3sec] E-8 ～ E-3 Pam3sec

接口形状 测试口前级口 NW16 (ISO)

显示语言 日语 英文中文(简体字)

电源[V]最大消耗功率[W] 单相 AC90-240 (5060Hz)700

重量 分析管单元+测试口单元[kg] 约74

电源单元＋显示屏单元[kg] 约105

分析管单元电源单元之间的缆线长度[m] 最大10

电源单元显示器单元之间的缆线长度[m] 最大20

符合规格 CE IP30电源元件 IP20分析元件 IP65显示元件

ZERO电源部件

ZERO分析部件

ZERO显示屏部件

吸枪部件 推车箱子a-1 a-2 a-3 b-1 b-2 b-3

HELIOT900series用选配件

43

a吸枪部件 e打印机

a-1 吸枪AS单元 e-1 感热式打印机

a-2 吸枪BS单元 打印机用纸普通纸无尘纸

a-3 吸枪BT单元 f校正漏孔

b推车箱子 f-1 薄膜型校正漏孔E-7E-8E-9E-10[Pam3sec]

b-1 推车901用 f-2 毛细管型校正漏孔E-4E-5E-6[Pam3sec]

b-2 控制器收纳箱 901需要有推车时方可收纳 g周边部品

b-3 手推箱901用 推车无法收纳 g-1 L型手动阀门NW25-NW25

c油雾过滤器 g-2 喷氦枪

c-1 W2用油雾过滤器 g-3 氦气减压阀 (日本国内氦气罐用)

d控制器周边产品 g-4 测试用腔体内径φ96mmtimesH30mm

d-1 平板电脑电线5m g-5 加压容器内径φ955mmtimesH160mm 使用压力范围lt05MPaG

d-2 平板电脑充电器 (输入电压100-240V) h转换器

d-3 触摸笔 IO连接器安装Rec Out EXTIO

d-4 安全钢丝 h-1 信号变换器300series用

d-5 密码锁 (附带管理者用万能钥匙) h-2 电源线交换线700seire用 300series用

d-6 平板电脑用电池 i消耗品

d-7 电池用充电器 i-1 离子源

i-2 皮拉尼真空计测定子

i-3 微渗透器BSBT用

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

油雾过滤器 (W2) 控制器周边部品c-1 d-1 d-2 d-3 d-4 d-5 d-6

打印机 校正漏孔 周边部品d-7 e-1 f-1 f-2 g-1 g-2 g-3

转换器 消耗品g-4 g-5 h-1 h-2 i-1 i-2 i-3

大容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

10kW20kW输出溅射用DC电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 熟知等离子体的设备厂家ULVAC通过优越的氩弧处理技术能提供安定的等离子工艺过程

bull 优越的氩弧处理技术能实现低能量灭弧再加上搭载高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 提供通常使用的800V规格和1000V规格可对应高阻抗的负荷

bull 对应与400V系入力模型推出

DPG-1020

44

大容量DC电源 DPG-30H30kW高阻抗式样DC电源 bull 通过高速电弧遮断回路能实现超低的电弧损耗提高产能及良品率

bull 应对高阻抗负荷的1200V输出

bull 应对EtherCAT减少装置的配线

DPG-30H

型号 DPG-30H-44E

输入规格输入电压 3相 AC396V～484V

输入容量 415kVA以下

输出规格

最大额定功率 30kW

额定电流 55A

额定电压 -1200V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止或者利用选配件的高速电弧遮断回路来停止

控制

控制方式 定功率控制（P控制） 定电流控制（I控制） 定电压控制（V控制）

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigital RS-232Cまたは485EtherCAT

并列运转 8台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x650x177mm（不含凸起物）

质量 45kg

符合规格 CE

型式 DPG-10-AM DPG-10H-AM DPG-10-4AM DPG-20-AM DPG-20H-AM DPG-20-4AM

输入式样入力电压 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V 3相 AC187～229V 3相 AC342～440V

入力容量 135kVA以下 25kVA以下

出力式样

最大额定功率 10kW 20kW

额定电流 25A 167A 25A 50A 333A 50A

额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V

点火电压 -1500V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定输出的plusmn05以下或者设定值的plusmn1中较大的定电流控制 (I控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的定电压控制 (V控制)额定输出的plusmn１以下或者设定值的plusmn２中较大的

控制保证范围 额定功率值的10～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232Cまたは485

并列运转 12台(不可1010H-4混载及2020H-4混载)

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不包含凸起物）

质量 29kg 36kg

适用规格 CE

45

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

小容量DC电源 DPG series

电源 (RFDC) DC电源

小容量DC电源 DCS series500W2kW4kW的DC溅射用电源

bull 20年以上的销售实绩证明该产品的高信赖性能实现安定的工艺

bull 优秀的输出再现性可以实现较高品质的工艺过程

DCS0052B

DCS0202B0402B

规格 DCS0052B DCS0202B DCS0402B

输入规格输入电压 单相 AC95～121VAC190～242V ３相 AC190～242V

输入容量 1kVA 35kVA 6kVA

输出规格

最大额定功率 500W 2kW 4kW

额定电流 125A 5A 10A

额定电压 -800V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度定功率控制 (P控制)额定功率值的plusmn2以下定电流控制 (I控制)额定电流值的plusmn1以下定电压控制 (V控制)额定电压值的plusmn1以下

控制保证范围 额定功率值的 10～100

并列运转 无

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 240x450x99mm (不含突起物) 480x430x125mm (不含突起物)

质量 9kg 22kg

2kW4kW出力的溅射设备用DC电源

bull 在额定的1～100实现高精度的出力特性

bull 通过高控制精度重复再现性可以实现更高品质的工艺

bull 将ULVAC常年蓄积的诀窍设计于产品中实现压倒性的信赖性

DPG-24

型式 DPG-2 DPG-4

入力式样入力电压 3相 AC180～242V

入力容量 35kVA以下 62kVA以下

出力式样

最大额定功率 2kW 4kW

额定电流 5A 10A

额定电压 -800V

点火电压 -1200V

异常放电控制 检出异常放电时变频器停止

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 设定值的plusmn1

控制保证范围 额定功率值的1～100

外部控制 AnalogDigitalRS-232C或者485

并列运转 无

冷却方式 强制空冷

外形尺寸 WxDxH 241x610x133mm (不含凸起物）

质量 15kg

适用规格 CE

-100-80-60-40-200020406080

100

制御

精度

の設

定誤

差率

[]

出力定格レンジ []

従来機 DPG

电源 (RFDC) DC电源配件

异常放电防止单元 A2K series在反应性溅射工艺中在DC电源输出上脉冲施加正电压中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电防止的附加单元

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 能在原来的DC电源上简单的追加低成本地实现产量和良品率的提高

bull 通过ULVAC长年积累的灭弧技术让电弧损耗保持在最小限度

A2KH-25 A2K-20K40K

规格 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

控制电源输入规格

输入电压 单相 AC90～110V 单相 AC90～264V

输入容量 100VA 120VA 400VA

输入规格

动作电压 -800V

动作电流 25A 50A 50A 100A

输入构造 MS3106B 22-2P MS3106B 28-6P或者端子台 一触式接口 1系統 一触式接口 2系統

输出规格

振动频率PULSE幅5μs时 25101520kHz

PULSE幅10μs时 12557510kHz1k～50kHz

逆脉冲幅度 5μs10μs (内部开关切换) 3～18μs (根据发振频率设定受限)

输出构造 MS3106B 22-2S MS3106B 28-6S 一触式接口

并列运转 无 最大6台可并列使用 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 238x450x149mm (不含突起物) 431x450x149mm (不含突起物) 483x630x177mm (不含突起物)

质量 16kg 26kg 30kg 45kg

符合规格 － CE

A2KH-50

阴极表面的ARC发生状态比较

A2K无效 A2K有效

双阴极用双极元件 MFU series面向双阴极溅射机的双极元件与ULVAC制DC电源组合形成双极输出电源系统

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 通过10k～100kHz的广泛的频率设定范围能够应对各种工艺

bull 为了短形波出力通过DUTY变更可以调整给于各阴极的电力供给实现更为安定的工艺

MFU-20K

反応性スパッタリングプロセスでの異常放電抑制原理

CATHODE

CHAMBER

INPUT

DC電源MF UNIT0v 0v

46

利用MFU Series的双阴极溅射系统

型号 MFU-20K

控制电源输入输入电压 单相 AC90～264V

输入容量 400VA

输入规格

动作电压 0～-1000V

点火电压 -1200V

最大动作电流 50A

输出规格

最大出力电压 1000V(RMS)(根据电力的受限)

点火电压 DC-1200V

最大输出电流 50A

振动频率 10k～100kHz（根据发振频率输出受限）

占空比 15～90（根据发振频率设定受限）

并列运转 6台

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x177mm (不含凸起物）

質量 29kg

符合规格 CE

电源 (RFDC) DC电源

DC脉冲电源 DPG-P series在反应性溅射工艺中脉冲施加正电压中和靶材上积蓄的电荷来抑制异常放电的DC脉冲电源

bull 以ULVAC多年的技术为基础设计出的高信赖性产品

bull 因为可控制异常放电所以能实现高功率的投入得到更高产能

规格 DPG-5P DPG-10P

输入规格输入电压 3相 AC187～229V

输入容量 8kVA 135kVA

输出规格

最大额定功率 5kW 10kW

额定电流 125A 25A

额定电压 -650V (发振频率155kHz以上) -800V (发振频率150kHz以下)

点火电压 -1500V

振动频率 5k～250kHz

逆脉冲幅 04μ～5μs (根据频率设定受限)

控制

控制方式 定功率控制 (P控制) 定电流控制 (I控制) 定电压控制 (V控制)

控制精度 额定输出plusmn05以下 或 设定值的plusmn1以大的值为准

控制保证范围 额定功率值得10～100

并列运转 最大６台可并列运行 (需同一机型)

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 483x630x133mm (不含突起物)

质量 29kg 36kg

符合规格 CE

DPG-5P10P

反应性溅射工艺中的异常放电抑制原理

①通常的放电状态下表面形成的绝缘皮膜带电

②脉冲施加正电压中和电荷

③抑制ARC发生继续放电回到步骤①

47

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Iusulating film

Cathode(+)+

++

Shield（Anode)

+

++++++++++++++

+

+

Shield（Anode)

Substrate Substrate Substrate

e-

e- e-

e-

e-e-

e-

Cathode(-)- - - - - - - -- -- - - - - - - - -- -

+

+++

Shield（Anode)

e- e-

e-

e-Iusulating film

++

0

-

+0

-

+0

-

+

RF电源匹配器 RFS-N series

电源 (RFDC) RF电源

应用于液晶和半导体制造设备的等离子发生用高频率电源

bull RFS-N系列是输出频率为1356MHz功率05kW1kW3kW5kW的等离子工艺用的RF电源

bull 根据ULVAC长年积累的技术知识进行设计可信度高

bull RF电源里内置自动匹配控制器机器构成简单

bull 通过独特的算法追踪等离子特有的阻抗变动安定的自动匹配技术能够实现工艺安定

bull 通过选配件的匹配器辅助转件可以确认匹配的状态

RFS-1305N1310N RFS-1330N1350N

RF电源规格RF电源规格 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N

输入规格输入电压 单相 AC180～242V 3相 AC180～242V

输入容量 12kVA 18kVA 5kVA 8kVA

输出规格

发振频率 1356MHz

额定进行波功率 500W (50Ω负荷时) 1kW (50Ω负荷时) 3kW (50Ω负荷时) 5kW (50Ω负荷时)

最大反射波功率 100W 500W

谐波失真率 -35dB以下 (额定输出时50Ω负荷时)

控制控制精度 额定输出的plusmn2以下

控制保证范围 额定电力值的10～100

冷却方式 强制空冷 水冷 (4Lmin) 水冷 (6Lmin)

外形尺寸 WxDxH 240x495x150mm (不包含突起物) 480x495x150mm (不包含突起物)

重量 11kg 23kg

符合规格 CE

匹配器规格匹配器规格 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N

允许输入电力 30～500W 30～1kW 30～3kW 50～5kW

允许输出电流 30A 80A 120A

允许输出电压 25kVpp 5kVpp 10kVpp

冷却方式 强制空冷 水冷 (2Lmin)

外形尺寸 WxDxH 375x250x120mm (不包含突起物)375x250x170mm

(不包含突起物)450x500x248mm

(不包含突起物)

重量 8kg 10kg 21kg

符合规格 CE

＜等离子负荷下的自动匹配 ＞① 即使从偏离的预先设计也可以进行高速的匹

配② 等离子负荷特有的疑似匹配点自动匹配也

不会偏离仍然可以安定的动作

即使在上述恶劣条件下也可以实现又安定又高速的自动匹配能够提供安定的有再现性的工艺② ①

等离子负荷下特殊条件下的自动匹配性能

匹配器辅助转件

48

RF电源选配件 MEX-N series

RF电源选配件 EXN series

RF电源选配件 PHS-N series

RF电源选配件 EXO-13

电源 (RFDC) RF电源选项

RFS-N sereis专用匹配切换机

bull 可切换多台匹配器

bull 不同时放电可以使用能消减设备搭载的电源数降低设备成本

bull 阴极和匹配器为11配套使用阻抗各异的阴极可供选择

MEX2N-1k

容量帯匹配器可切换台数

2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台

5001kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k

3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k

5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k － － － －

可以使用多个阴极的切换器bull 可以切换匹配器的输出

bull 不需要按照阴极数量来配匹配器可以大幅降低设备的成本

bull 具备手动和电机驱动两种切换方式另外配置了应对大功率的水冷方式

bull 可以充当DC电源DC脉冲电源输出的切换机

bull 由于匹配器为１台超过匹配范围的负荷之间是不能使用的

EXN4M-70W

切换点数空冷 (1kW以下) 水冷 (3kW)

手动 电机驱动 手动 电机驱动

2点 EXN2T-40A EXN2M-40A EXN2T-70W EXN2M-70W

3点 EXN3T-40A EXN3M-40A EXN3T-70W EXN3M-70W

4点 EXN4T-40A EXN4M-40A EXN4T-70W EXN4M-70W

控制多个RF电源输出相位的机构

bull 可以控制复数台数的RF电源相

bull 通过移相功能调整阴极之前产生的相位提供波动少安定的工艺环境

PHS-04N

规格 PHS-04N PHS-08N

输入规格输入电压 单相 AC90～220V

输入容量 70VA

输出规格

出力Channel数 4 8

发振频率 1356MHzplusmn005

相位设定范围 0～360deg

外形尺寸 WxDxH 480x192x49mm (不含突起物)

同步多个RF电源的输出相位

bull 最多可同步4台RF电源的相位

bull 通过排除移相功能实现低成本

EXO-13

型式 EXO-13

输入规格输入电压 单相 AC90～110V

输入容量 10VA以下

输出规格 发振频率 1356MHzplusmn005

外形尺寸 WxDxH 145x110x44mm (不含突起物)

49

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

EB电源EB枪 选型指南

按坩埚数选择EB电子枪 (金属膜用)

坩埚数坩埚容量

3cc 10cc 20cc 40cc 110cc

1 EGK-3 EGL-35 EGL-110

3 EGL-103S

4 EGK-3MEGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-35M(10cc x2)(40cc x2)

EGL-80M

6 EGN-206M EGN-406M

适用电源 HPS-510S HPS-1000N HPS-1600F

采用防蒸发源污染的构造延长灯丝寿命的EB电子枪

产品阵容中有小容量面向实验用途的EGK系列中大容量面向生产用途的EGLEGN系列

光学用的EGO系列

按坩埚数选择EB电子枪 (光学膜用)

坩埚数坩埚容量

10cc 40cc 110cc －

0EGO-1GEGP-1G

4EGO-40M(10cc x2)

EGO-40M(10cc x2)(40cc x2)

EGO-110M

适用电源 HPS-600N 1000N

按EB电源系统选择EB电子枪EB电源系统 EB枪控制数

用途推荐EB枪 使用控制器

容量 型号

5kW HPS-510S 1源 EGK-33M EGL-3535M 无 (控制器内藏于电源内)

6kWHPS-600N-100 1源

EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPEHPS-600N-200 2源

10kW

HPS-1000N-100 1源EGL-3535M EGL-103S EGN-206M406M EGC-10GS S-TYPE

HPS-1000N-200 2源

HPS-1000N-G100 1源EGP-1G EGO-1G EGO-40M EGO-110M EGC-10GS G-TYPE

HPS-1000N-G200 2源

16kW

HPS-1600F-S100 1源EGL-110 EGC-16S

HPS-1600F-S200 2源

HPS-1600F-S101 1源高功率 EGL-80M EGC-16H

50

) EB电源系统的型号是指控制器配套的系统

Material Principal use

Multi-Pocket

EGL-35M103SEGL-80MEGN-206406M

Optical Evaporation

Research application

Production equipment

Metal

Production equipment

Multi-Pocket

EGK-3M

Multi-Pocket

EGO-40M110M

Single Pocket

EGK-3

Single Pocket

EGL-35EGL-110

Crucibless

270deg beam deflection　EGO-1G180deg beam deflection　EGP-1G

金属

材料 用途

实验研究用

生产机器

生产机器绝缘物化合物

（光学膜）

高性能EB电源 HPS-N series

EB电源 HPS series

EB电源EB枪 EB电源

汇聚了ULVAC多年的技术积累和实绩经验具备稳定的回路和高性能的EB电源

bull 配合高性能EB枪控制器能对应光学膜和金属膜用EB电子枪

bull 采用GUI能协助随着电源的多功能化更加复杂的操作提高生产能力

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-1000N EGC-10GS

EB电源规格型号 HPS-600N-100 HPS-600N-200 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输入容量 9kVA 10kVA 14kVA 15kVA

输出规格

额定功率 6kW 10kW

电压范围 -2k～-6kV -4k～-10kV

波动比率 额定输出的plusmn2以下

电子束电流 0～1000mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸 WxDxH 494x701x712mm (不含突起物)

质量 120kg 145kg

符合规格 CE

EB枪控制器规格规格 EGC-10GS G-TYPE (光学膜用) EGC-10GS S-TYPE (金属膜用)

输入规格 由EB电源共给电源

X轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A -04～-35A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～5Hz

Y轴线圈输出规格

可变范围 0～plusmn15A 0～plusmn12A

电压范围 plusmn24V

频率 10～800Hz 01～22Hz

偏向线圈输出规格

可变范围 -04～-35A

电压范围 +24V

外形尺寸 WxDxH 480x499x149mm (不含突起物)

质量 115kg

符合规格 CE

5kW16kW EB枪用电源bull 15年以上的实绩案例证明该电源的高品质和高信赖性能稳定地实现工艺

bull 固体电路化（采用半导体电路而非真空管电路）实现电源的小型化和轻量化

bull 熟知蒸发设备的制造厂家ULVAC才有的优秀的处理异常放电的技术提供稳定的蒸发工艺

HPS-510S

HPS-1600FEGC-16S

51

规格 HPS-510SHPS-1600F

-S100HPS-1600F

-S200HPS-1600F

-S101

输入规格输入电压 3相 AC190～231V

输出容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA

输出规格

额定功率 5kW 16kW

电压范围 -4k～-10kV

波动比率 额定功率的plusmn2以下

电子束电流 0～500mA 0～1600mA

冷却方式 強制空冷

外形尺寸WxDxH

电源 480x620x300mm(不含突起物)

500x700x710mm (不含突起物)

控制器 480x480x149mm (不含突起物)

质量电源

50kg113kg 136kg 113kg

控制器 20kg 17kg

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

金属膜用EB枪 EGN-206M406M

光学膜用EB枪 EGP-1G

EB电源EB枪 EB枪

采用坩埚盖板上不覆盖任何东西全平面构造的金属蒸发用EB电子枪

EGN-206M406M EGN-206M406M (坩埚盖板搭载)

电子束形状最适化的效果 (ITO材痕迹)

带状电子束(Poor)

点状电子束(Excellent)

bull 可以通过变更一部分零件来选择适合金属蒸发的带状电子束或适合升华性物质氧化物化合物的点状电子束

bull 内置反射电子的捕集机构可以抑制温度上升（温度上升问题是蒸发过程中的主要问题）

bull 使用选配件的坩埚盖板可以缩短保养时间提高产能

规格 EGN-206M EGN-406M

电子束偏向角 270deg

坩埚数 6

坩埚容量 20cc 40cc

坩埚尺寸 上面x底面x深 φ42xφ32x19mm φ50xφ41x25mm

冷却水量坩埚 10Lmin

坩埚盖板 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 214x343x144mm (不含突起物)

质量 28kg

有效蒸发角 100deg以上

蒸发速度16μmmin

(带状电子束Al8kW40cc坩埚坩埚上方250H)

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 800mA 1000mA

适应电源 HPS-1000N-S100S200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 2 线圈配线用 坩埚定位器用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

坩埚盖板

简单构造180deg偏转EB电子枪

bull EGP-1G采用简单偏转180的电子束构造は实现低成本

bull 不仅偏转180deg而且运用专利技术成功延长灯丝寿命实现设备生产性能的提高

bull 充分集中电子束提高蒸发效率

EGP-1G

规格 EGP-1G

电子束偏向角 180deg

冷却水量 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 185x239x179mm

质量 11kg

最大加速电压 -10kV

最大发射极电流 1000mA

适用电源 HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型号 需要数 备注

高压导入端子 BERH311A 2

电流导入端子 PTS-004 1 线圈配线用

接地端子 ERZ-003 1

真空确认器 DTA-002 1

水冷导入端子 DK5203-045 2 φ10

聚集为11mmtimes7mm的电子束点 SiO2的蒸发后痕迹

52

金属膜用EB枪 EGLEGK series

光学膜用EB枪 EGO series

汇聚ULAVC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪

EB电源EB枪 EB电子枪

bull 从实验室到生产用途产品阵容齐全

bull 由于采用特殊的水冷坩埚构造使坩埚对蒸发材料的污染极少实现高品质蒸发工艺

EGK-3

规格 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

电子束偏向角 225deg 270deg

坩埚数 1 4 3 1 4 1 4

坩埚容量 26cc 29cc 10cc 40cc 10cc x2 40cc x2 110cc 110cc x4

冷却水量坩埚 8Lmin 10Lmin 19Lmin 20Lmin

线圈 1Lmin 2Lmin - 2Lmin - 4Lmin

外形尺寸 WxDxH 110x240x126mm 140x240x126mm 313x250x108mm 110x206x79mm 170x240x156mm 136x220x90mm 265x318x168mm

质量 4kg 5kg 16kg 10kg 18kg 15kg 30kg

最大加速电压 -10kV

最大冲击电流 500mA 600mA 1000mA 1600mA

适用电源 HPS-510S HPS-1000N-100200HPS-1600F-S100S200

HPS-1600F-S101

附带设备部品名称 型式 EGK-3 EGK-3M EGL-103S EGL-35 EGL-35M EGL-110 EGL-80M

高压导入端子 BERH311A 2 2 (1) 2 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 1 (1) 1 2 2 1 (2)

接地端子 ERZ-003 1 1 (1) 1 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 (1) 1 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045φ6 x2φ10 x2

φ6 x2φ10 x2

(1) φ10 x2φ6 x2

φ10 x2φ12 x2

φ635 x2φ127 x2

1) 需要超高真空规格请另外垂询2) 坩埚定位器用的电流导入端子使用PTS-004线圈驱动用的电流导入端子使用3p-16A

EGK-3M

EGL-103S

EGL-35 EGL-35M

EGL-110 EGL-80M

高压导入端子BERH311A

电流导入端子PTS-04

接地端子ERZ-003

大气压确认机DTA-002

水冷导入端子DK5203-045

汇聚ULVAC多年技术的积累及实绩设计出高性能的EB电子枪bull 高性能转向线圈实现优越的扫描性能及稳定均一性

EGO-1G EGO-40M

EGO-110M

规格 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

电子束偏转角 270deg

坩埚数 0 4 4

坩埚容量 - 10cc x2 40cc x2 110cc

冷却水量坩埚 - 10Lmin 19Lmin

线圈 2Lmin 2Lmin 2Lmin

外形尺寸 WxDxH 168x285x174mm 170x309x174mm 232x368x174mm

质量 10kg 18kg 30kg

适用电源 HPS-500N-100200HPS-1000N-G100G200

附带设备部品名称 型式 EGO-1G EGO-40M EGO-110M

高压导入端子 BERH311A 2 2 2

电流导入端子 PTS-004 1 2 2

接地端子 ERZ-003 1 1 1

真空确认器 DTA-002 1 1 1

水冷导入端子 DK5203-045 φ10 x2 φ10 x2 φ10 x2 φ127 x2

53

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

成膜控制 水晶振荡式成膜控制器传感器

水晶振荡式成膜控制器 CRTM series从单层膜到多层膜能控制各种蒸发工艺

bull 高分辨率优质的膜厚及成膜速度分辨能力需低速率的蒸发控制的成膜工艺也能对应

bull 高速采样采样的速率快能实现良好响应的控制

bull 抗噪音性能提升分离外接电源提高抗噪音性能

bull 同时控制4个蒸发源最多同时控制4个蒸发源 (追加选配件的SS卡时) (CRTM-9200)

bull USB的程序保存除内部储存外程序也可以储存在USB中 ( (CRTM-9200)

CRTM-6000G

应用在CRTM系列的传感器产品种类齐全可根据蒸发设备的不同选择相对应的传感器

单传感器

bull 可以根据是否烘烘烤使用温度等条件选择类型

bull 小巧的传感器头容易安装于设备内并且可以选择高寿命的振荡器

bull 管长可指定也可指定是否弯曲

多传感器

bull 可以搭载水晶振荡片6枚或者12枚更换时候可以随石英夹座一同进行非常简单

bull 采用真空电机的独特驱动方式实现高信赖性水晶振荡片的发振异常可以自动检测并且自动切换

CRTS-0

单传感器 多传感器

规格通用型 CRTS-0 CRTS-4 CRTS-6 CRTS-4U CRTS-6U

CRTS-M6 CRTS-12NS长寿命型 CRTS-80 +水冷管 CRTS-84 CRTS-86 CRTS-84U CRTS-86U

用途80以下的

蒸发300以下的

蒸发100以下的

蒸发200以下的

蒸发超高真空设备

100以下蒸发超高真空设备

200以下蒸发350

厚膜连续蒸发

搭载水晶振荡片数 1 6 12

对应频率 4MHz5MHz (6MHz详细规格请另外垂询)

水冷管

管长 － 100-800mm －

外径 － 6mm 4mm 6mm 4mm 6mm 14英寸

水冷水量 － 400ccmin 200ccmin 400ccmin 200ccmin 400ccmin 1Lmin

接头 － 38英寸 14英寸 38英寸 14英寸 38英寸 14VCO接头

规格 CRTM-6000G CRTM-9200

频率

测量范围 30 ～ 501MHz5MHz 40 ～ 601MHz6MHz

测量分解能 24mHz 13mHz

表示分解能 0001MHz

膜厚

测量范围 0 ～ 9999 kÅ

测量分解能 0041Å 5MHz 0029Å 6MHz 000344Å 4MHz 000220Å 5MHz 000153Å 6MHz

显示分解能 0001kÅ0 ～ 9999kÅ 001kÅ10 ～ 9999kÅ 01kÅ100 ～ 9999kÅ

可安装的传感器数 单传感器2 (不可同时测定) 多传感器1 单传感器2 (Max8)多传感器1 (Max4)

同时测量控制 1 1 (Max4)

采样速率 125msec 250msec

多层膜数 99层

工艺程序数 30 1 (USB中保存读取)

蒸镀程序数 99 128

外形尺寸 240times350times99 mm 480times318times149 mm

符合规格 － CE

水晶振荡式成膜控制器用传感器 CRTS series

CRTM-9200

CRTS-M6CRTS-4U6U CRTS-12NSCRTS-46

单传感器的连接例

选择无导入法兰时不配有OSM接头

54

成膜控制器

振荡器 导入法兰

冷却水

内部缆线

传感器本体

水晶护圈

水晶

水晶盖

外部缆线

55

UCR-4MAG-01UCR-5MAU-01

水晶板 UCR seriesULVAC的应对石英振荡式成膜控制器用传感器水晶板UCRseries

4MHz频率式样在世界首次登场出色的温度特性也可应对于有机材料

bull 由热辐射引起的频率变化最小

在成膜过程中出色的温度特性

速率的安定性好寿命长

快门开闭时的热冲击和变化（热冲击变化）小

bull 专门对于有机材料的高性能4MHzの水晶板（UCR-4MAG-01）

水晶板之间的感度速率特性的误差小

最适用于多传感器切换使用

与频率5MHz式样比较4MHz式样寿命更长

bull 采用回转式包装

1包10枚

采用易于水晶板管理的包装（减少在移动和保管时的损害）

型号 UCR-４MAG-01 UCR-５MAU-01 UCR-5MAG-01

推荐用途 有机材料膜（OLED面板） 金属膜光学膜

频率 4MHz 5MHz

尺寸 Φ124

电极 Ag Au Ag

应对成膜控制器 CRTM-9200CRTM-6000G CRTM-9200（应对包含上述的ULVAC所有贩卖的CRTM series）

可搭载的传感器单传感器（CRTS-4 6 0）多传感器（CRTS-12NS）

单传感器（CRTS-4 6 0 4U 6U）多传感器（CRTS-12NS M6）

电极表面 镜面光洁度 标准光洁度

包装形态 专用回转型（10pcs）

成膜控制 水晶板真

空泵

真空

阀门

真空

计气

体分

析仪

检漏

仪电

源(D

CR

F)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

光学式过程监测仪 Optius

装置诊断系统 FABISEQ

成膜控制 光学式过程监测装置诊断系统

通过测量等离子光谱实现对各种工艺等离子过程的实时监测

特别适用于反应性溅射工艺的MFC控制刻蚀终点的检测CVD-cleaning的确认

bull 对应范围大可用于200～1000nm可同时测量多个指定波长

bull 可追加选配件的扩充单元 (ESC)最多可同时测量5ch

bull 可根据测量结果反馈控制外部机器

bull 标配有针对反应式溅射工艺和刻蚀工艺的专用软件

bull 配有真空式和大气式受光单元可根据用途进行选择

Optius(1ch)

Optius (5ch)

真空受光单元VSM

大气受光单元ASM

测定画面 (光谱趋势显示)

1参考值 2测定1ch时的测定处理数 不包含测定用PC

用于收集设备运行数据并用图表来显示的软件

bull 周期性快速收集设备数据

bull 可对图表进行解析和统计分析

bull 监测设备数据有无异常

bull 可通过Web Mail向相关人员

发送设备数据

测量频道数 1ch (最高5ch)

测量波长范围 200～1000nm

波长分析能力1 17nm (FWHM)

测量时间设定 1～1000ms

PID控制间隔设定 100～1000ms

测量波长数2 10

PID控制可能波长数2 1

波长运算处理数2 10

判别式处理数2 10

模拟输入 ch数 3ch (测定1ch相当) 最大15ch (测定5ch)

模拟输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输入 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

数字输出 ch数 4ch (测定1ch相当) 最大20ch (测定5ch)

测定用PC连接3 LAN (1000BASE-T100BASE-TX)

外形尺寸WtimesDtimesH 重量本体 单元(1ch) 250times300times121 49kg扩充单元 (1ch相当) 50times300times121 13kg

电源 AC100～240V (5060Hz)

功率 100W (5ch使用时)

符合规格 CE

接口 弊司采用PC-PLC通信系统 (选配件PC Server可与三菱电机欧姆龙公司等PLC对应)

收集构成点数 GroupMax8 AlarmMax256 EventMax256 TraceMax16 IOMax128 AnalogMax128

测量间隔 100ms～10min

图表显示历史图表 IO8点Graph Analog16点Graph实时图表 IO8点Graph Analog16点Graph

性能数据对照比较时间计测XY图表运算统计批次警报事件检索

报告制作CSV 输出自动邮件发送异常监视

系统硬件要求 OSWindows XPWindows7 CPUPentium4 1GHz以上 内存1GB以上 HDD空余容量200MB以上

56

真空搬送机械手 ELECCOVOT series

真空搬送平台 NCH series

真空搬送机械手

洁净高信赖性的真空搬送机械手

bull 产品齐全可对应各种真空设备

bull 可根据机械手数量旋转半径和冲程提供各种类的机械臂

bull 采用高刚性机械臂和高信赖性气缸实现平稳搬送动作

bull 可对应至10-6Pa的高真空(ELEC-RZCOVOT)

COVOT-LCELEC-RZ COVOT COVOT-6

示教盒

对应型号一览表

可对应Φ200mm300mm Wafer真空搬送平台

bull 可对应4~8个连接Port

bull 装备有25层盒式可升降Load Lock

bull 关于排气系统和真空计的需求还请联系洽谈

NCH-4000 NCH-5000

标准机械臂 专用机械臂机械臂规格 252 271 325 419 424 FRV CV6 最大到达位置 (mm)1 700 760 880 1040 1050 740 880

最小旋转直径 (mm)1 606 644 802 940 964 600机械手数 1or 2 1or 2 1 4

外观2 COVOT-6专用机械手

ELEC-RZ times

COVOT times times

COVOT-LC times times timesCOVOT-6 times times times times times times

1) Stroke是安装我司Φ300mm机械手 (可选)的参考值2)不包含机械手 (Pick up)的式样如有需求还请具体联系商谈

型号 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

适用压力范围 大气压～10-6Pa 大气压～10-6Pa 大气压～10-5Pa 大气压～10-1Pa

Wafer尺寸 200mm300mm 200mm300mm 200mm300mm 300mm

Wafer保持枚数 1枚2枚 1枚2枚 1枚2枚 4枚

最大达到距离 (请参考机械手对应型号一览表)

旋转角度 plusmn210deg 360degEndless -15deg～375deg 360degEndless

升降冲程 50mm 50mm 无 110mm

最小旋回直径 (请参考机械手对应型号一览表)

可搬送重量 (包含PICK UP) 1kg 1kg 1kg 1kg

动作速度 伸缩 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 25sec冲程 Max 15sec冲程

旋转 Max 30sec180deg Max 25sec180deg Max 25sec180deg Max 20sec180deg

升降 Max 15sec20mm Max 15sec20mm － Max 15sec20mm

复位精度 伸缩 plusmn01mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

旋转 plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm plusmn02mm

升降 plusmn02mm plusmn02mm 无 plusmn02mm

真空密封 磁性流体密封 磁性流体密封 接触式密封 接触式密封

示教盒 附带 附带 可选 附带

控制器 外部 内置 内置 外部

基板尺寸 200mm 300mm

连接Port数 4 ～ 8

搭载Robot ELEC-RZ (可选COVOT)

Load Lock 25层盒式可升降 (也有枚叶式可选)

排气系统真空计 可选 请具体联系洽谈

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

57

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

58

UNECS系列mdash高速高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪

采用独特的测量方式实现了高速测量和机体的小型化

bull 采用不含旋转单元的独特测量方式最快可实现20ms的的高速测量

bull 用途广泛既有波长范围在 (530nm-750nm)的标准型也有波长范围在 (380nm-760nm)的可视分光型

bull 发光受光传感器仅由不含旋转单元的光学元件组成实现了轻量化和小型化且无须定期保养

bull 可选择独特的便携式手动式和自动式机型针对真空环境特别研发了可内置于设备的机型

发光受光单元构造

固定住的光学元件和光纤的简单构造

高速测量(20ms～)小型轻量减少维护

无机械旋转机构 无电气控制机构

UNECS-1M UNECS-1500M

UNECS-1500A2000A UNECS-3000A

UNECS-Portable

59

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分光椭偏仪 UNECS series

薄膜测定 分光椭偏仪

型号 UNECS-Portable UNECS-1500M UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A

测量方式 分光椭偏 (分光偏光式)

测量对象膜 透明和半透明薄膜

计测波长范围 530～750nm 或 380～760nm

光源 卤素灯 或 氙气灯

SPOT直径 φ1mm 或 φ03mm

多层膜数 在同时解析膜厚和光学常数 (NK)时仅最上层可

入射角度 70゜固定

膜厚测量再现性 01ｎｍ

膜厚测量范围 1ｎｍ～2μｍ

受光时间 20ms～3000ms (可根据具体式样范围进行设定)

运算时间 300ms

Sample Stage 约φ150mm (可拆下) Φ150mm φ200mm φ300mm

Stage 移动 R － 100mm手动0～75mm电动可编程

(分解能01mm)

0～100mm电动可编程

(分解能01mm)

0～150mm电动可编程

(分解能01mm)

θ － 360deg手动 0～3599deg电动可编程 (分解能01deg)

自动多点测定 － 200点 (2000点可选) 2000点

焦点 (Z轴)调整 手动 自动

最大样品厚度 10mm 30mm

最大样品质量 10kg

测定解析性能 ①Ψ (λ)和Δ (λ)测定 ②膜厚 (D)折射率 (N)衰减系数 (K)的计算处理

Map显示 － 2D Color Map显示 (可选３D显示)

控制解析PC 标准附属 (Notebook typeWindows 7)

外形尺寸 测量部 220times268times244mm 300times400times384mm 400times525times370mm 450times620times370mm

WtimesDtimesH 控制器 － － 204times500times509mm

质量 测量部 22kg 103kg 24kg 31kg

stage 13kg － 控制器 19kg

配套装置要求 电源 AC100 200V Max 3A 5060Hz AC100 200V Max 6A 5060Hz

真空 － 75kPa以下 (基板吸着时需要)

符合规格 CE － CE

高速Mapping测量

169 points measurement for SiO2_100nm film on Φ300mm wafer

Only 133 sec

44 points measurement for HfO2_5nm film on Φ300mm wafer

通过高速Mapping测量实现短时间内评定膜厚分布

60

Notes

61

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

62

真空配管部品

考虑方便客户使用的丰富选配部件

螺纹式带法兰吸气管 配真空计端口短管

L型配管T型管

真空橡胶管

螺纹式带法兰排气管

I型配管

波纹连接BJ系列

金属软管

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-1 PVD-180φ80

72 315

RF-2 PVD-180 TMX付 235 478

RF-3 PVD-360φ90

72 315

RF-5 PVD-360 TMX付 285 528

材质 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 适用机型 A B C

RF-7 PVD-180 φ80 PF34rdquo 50

RF-8 PVD-360 φ90 PF1rdquo 80

RF-9 PVD-180 TMX付 φ80PF112rdquo 50

RF-10 PVD-360 TMX付 φ90

型号 适用机型 φD φd φp t

TP-20 PVD-180 (B) 80 272 60 8

TP-25 PVD-360 (B) 90 340 70 8

TP-40 VD30CVD40C 105 486 85 10

TP-50 VD60CVD90C 120 605 100 10

型号 φD1 φD2 φd A

I-VF20xVG20

80

90

272 100I-VF20xVG25 90

I-VF20xVG40 105

I-VF20xVG50 120

I-VF25xVG25

90

90

340 100I-VF25xVG40 105

I-VF25xVG50 120

I-VF40xVG40105

105 486 100

I-VF40xVG50 120

I-VF50xVG50 120 120 605 100

L型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A B

T-20 80 272 50 100

T-25 90 340 55 100

T-40 105 486 60 130

T-50 120 605 60 150

Ｔ型管 材质 不锈钢垫圈 (FPM)

型号 φD φd A T

L-20 80 272 60 8

L-25 90 340 65 8

L-40 105 486 80 10

L-50 120 605 90 10

型号 A B

BJ-25A 65 90

BJ-40A 90 105

BJ-50A 105 120

BJ-80A 110 160

BJ-100A 110 185

BJ-150A 100 235

JIS规格真空法兰

型号 D L T

VFH-20-200

80

200

8VFH-20-500 500

VFH-20-1000 1000

VFH-25-200

90

200

8VFH-25-500 500

VFH-25-1000 1000

VFH-40-500

105

500

10VFH-40-1000 1000

VFH-40-2000 2000

VFH-50-500

120

500

10VFH-50-1000 1000

VFH-50-2000 2000

ISO规格KF法兰

型号 D L

KFH-20-200

40

200

KFH-20-500 500

KFH-20-1000 1000

KFH-25-200

40

200

KFH-25-500 500

KFH-25-1000 1000

KFH-40-500

55

500

KFH-40-1000 1000

KFH-40-2000 2000

KFH-50-500

75

500

KFH-50-1000 1000

KFH-50-2000 2000

JIS规格真空法兰

ISO规格KF法兰

L管型

T管型

单位mm

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

真空机械构成品 真空配管部品

63

真空配管部品

附吸气管的法兰

卡箍

连接管 (长)

快速连接管用接管

附真空计端口的法兰

连接管 (短)

O型座

真空法兰

型号 P φD T φd1 (外径)φd2 (内径) φd3 適用橡胶管

VF20x15A

60 80 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF20x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF20x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF25x15A

70 90 8

217 161 18 φ15 x φ36

VF25x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF25x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF40x15A

80 105 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF40x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF40x25A 340 276 30 φ25 x φ55

VF50x15A

100 120 10

217 161 18 φ15 x φ36

VF50x20A 272 216 24 φ18 x φ42

VF50x25A 340 276 30 φ25 x φ55

型号 φD A T

GF-20 80 60 8

GF-25 90 60 8

GF-40 105 62 10

GF-50 120 62 10

GF-80 160 64 12

GF-100 185 64 12

型号 读取径

KQC-16 KF1016

KQC-25 KF2025

KQC-40 KF3240

KQC-50 KF50

型号 读取径

KBR-10 KF10

KBR-16 KF16

KBR-20 KF20

KBR-25 KF25

KBR-32 KF32

KBR-40 KF40

KBR-50 KF50

型号 读取径 φB φD H

KSC-10 KF10 15 30 16

KSC-16 KF16 20 30 16

KSC-20 KF20 25 40 20

KSC-25 KF25 30 40 20

KSC-32 KF32 38 55 20

KSC-40 KF40 45 55 20

KSC-50 KF50 56 75 20

型号 读取径 φB φD

KLC-10 KF10 15 30

KLC-16 KF16 20 30

KLC-20 KF20 25 40

KLC-25 KF25 30 40

KLC-32 KF32 38 55

KLC-40 KF40 45 55

读取径适用的钢管外径

螺丝数

螺丝尺寸

10 38B 173 4 M8

20 12B 272 4 M8

25 1B 34 4 M8

40 112B 486 4 M8

50 2B 605 4 M8

65 212B 763 4 M10

80 3B 891 4 M10

100 4B 1143 8 M10

125 5B 1398 8 M10

150 6B 1652 8 M10

200 8B 2163 8 M12

250 10B 2674 12 M12

300 12B 3185 12 M12

350 14B 3556 12 M12

400 16B 4064 12 M16

450 18B 4572 12 M16

500 20B 5080 12 M16

550 22B 5588 12 M16

平面座型 (VF)

沟型 (VG)

型号 D1 D2 D1部 D2部

KCG-10 30 80 KF10 VG20

KCG-16 30 80 KF16 VG20

KCG-20 40 80 KF20 VG20

KCG-25 40 90 KF25 VG25

KCG-32 55 105 KF32 VG40

KCG-40 55 105 KF40 VG40

KCG-50 75 120 KF50 VG50

KCF-10 30 80 KF10 VF20

KCF-16 30 80 KF16 VF20

KCF-20 40 80 KF20 VF20

KCF-25 40 90 KF25 VF25

KCF-32 55 105 KF32 VF40

KCF-40 55 105 KF40 VF40

KCF-50 75 120 KF50 VF50

单位mm

材质 不锈钢

材质 不锈钢

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢垫圈 (FPM)

材质 不锈钢

材质 铝合金

材质 不锈钢

材质 不锈钢

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

真空机械构成品 真空配管部品

64

超高真空配管部品

共通规格使用压力领域 大气压～10-11Pa

允许泄漏量 10x10-11Pam3s

使用温度范围 -196～450

常用烘烤温度 300以下

材质 冶奥氏体系不锈钢

UFC系列是ULVAC独自研发的专门对应超高真空的法兰刀边型金属密封获得ISO 3669-1986认证

超高真空法兰UFC

超高真空配件IFE

超高真空配件IFS

超高真空配件IFT

ULVAC独自研发的刀边型超高真空法兰符合ISO 3669-1986认证要求外径338mm至306mm的尺寸各种式样详细请参考目录

超高真空变换法兰UFC

为连接不同尺寸的超高真空法兰的变换法兰外径从693mm到2532mm各种式样详细请参考目录

型号 A φB 连接法兰

IFS034-018 76 338 UFC034

IFS070-040 128 693 UFC070

IFS114-065 172 1135 UFC114

IFS152-100 216 1516 UFC152

IFS203-150 276 2024 UFC203

IFS253-200 320 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFE034-018 38 338 UFC034

IFE070-040 64 693 UFC070

IFE114-065 86 1135 UFC114

IFE152-100 108 1516 UFC152

IFE203-150 138 2024 UFC203

IFE253-200 160 2532 UFC253

型号 A φB 连接法兰

IFT034-018 38 338 UFC034

IFT070-040 64 693 UFC070

IFT114-065 86 1135 UFC114

IFT152-100 108 1516 UFC152

IFT203-150 138 2024 UFC203

IFT253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFX

型号 A φB 连接法兰

IFX034-018 38 338 UFC034

IFX070-040 64 693 UFC070

IFX114-065 86 1135 UFC114

IFX152-100 108 1516 UFC152

IFX203-150 138 2024 UFC203

IFX253-200 160 2532 UFC253

超高真空配件IFB

型号 A φB 连接法兰

IFB034-018 76 338 UFC034

IFB070-040 806 693 UFC070

IFB114-065 111 1135 UFC114

IFB152-100 216 1516 UFC152

IFB203-150 276 2024 UFC203

IFB253-200 320 2532 UFC253

单位mm

FH 固定法兰 RH 螺纹法兰

真空机械构成品 超高真空配管部品

65

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 420以下 (温度变化率20min以下)

材质

玻璃窗 硼硅酸玻璃 (柯伐合金封着用玻璃)

支撑圆筒 柯伐合金金属

法兰 奧氏体系不锈钢

型号 外形 连接法兰

TVU16FV 341 UFC034

TVU38FV 699 UFC070

TVU64FV 1135 UFC114

TVU100FV 1515 UFC152

TVU150FV 2025 UFC203

使用UFC法兰的对应超高真空的观察窗bull 从法兰到窗部的零长度构造薄型窗实现有效的宽敞可视径

bull 通过金属喷镀处理防止气体透过洁净且非常少的放出气体非常适用于超高真空

bull 可以进行烘烤的密封构造降低漏率

使用压力范围 (1) 10-2Pa～超高真空领域

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 300以下 (温度变化率25min以下)

材质

电极棒 硬铜

碍子 陶瓷

支撑工具 柯伐合金金属 (2)

座板管法兰 冶奧氏体系不锈钢

1) 请于10-2Pa以下使用在10-2Pa以上时可能会引起放电而导致无法得到规定的耐压

2) 铁镍钴为主要成分的合金

使用UFC法兰从大气侧到超高真空容器内用的电压电流导入端子

型号 TDU-04FM TDU-08F

内外回转比 1 1

最少间隔单位 45deg 10deg

驱动轴径 φ5mm φ8mm

最大扭矩 05Nm 2Nm

连接法兰 UFC034 UFC070

质量 04kg 11kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万次

使用UFC法兰把回转运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作与回转轴的回转比为１１可以读取回转角度

型号 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直线移动距离 15mm 40mm

移动距离 (每次回转) 1mm

最少间隔单位 005mm 1mm

驱动轴径 M6 φ8mm

最大トラスト荷重 30kg 20kg

连接法兰 UFC034 UFC070 UFC070

质量 07kg 12kg 14kg

允许泄漏量 13x10-11Pam3sec以下

允许加热温度 150以下 250以下

波纹管寿命 1万回

使用UFC法兰把直线运动从大气侧导入到超高真空容器内的端子bull 操作1次回转后每次1mm的变化方便微调整

超高真空直线导入端子 TSU series

超高真空回转导入端子 TDU series

电流导入端子 CMS series

超高真空零长度观察窗 TVU series

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

分子间相互作用定量QCM装置 AFFINIX series

分子间相互作用解析

66

AFFINIX 系列是通过QCM (水晶振动子微天平法)各种分子反应无标识的实时测定装置

bull 由于分子的结合分离重合分解而产生的传感器上的物质质量的增减减少通过水晶振荡子频率变化来解析

通过AFFINIX QN Pro导纳解析法 ( QCM-A 法QCM based on Admittance method )将吸附的物质液体的粘性弹性通过解析进行评估

AFFINIX QNμQCM2008-LVKIT

AFFINIX Q8QCM2012

AFFINIX QNQCM2008-STKIT

AFFINIX QN ProQCM2008-PRKIT

实现8传感器同时低容量测定 水溶液系列测定的基本型 在材料领域充分发挥价值的基本型

吸附物的粘弹性分析膜厚计算物理特性评价

规格 QCM2012 QCM2008-LVKIT QCM2008-STKIT QCM2008-PRKIT测量原理 (测量方式) 水晶振动方式 水晶共振方式 (导纳解析)

振动频率 27 MHz 27 MHz (81 MHz)

分解能 30 pgHz 30 pgHz (10 pgHz)

可检出质量范围 100 pg ～ 10μg 100 pg ～ 10μg

振动稳定性 液面噪点1 Hz以下 液面噪点2 Hz以下

平均频率变化范围 1 Hzmin 以内

传感器 测定槽传感器 测定槽一体型传感器 传感器护套 测定槽一体型传感器

测量范围 80 ～ 120 μL 400 ～ 550 μL 5 ～ 8 mL 400 ～ 550 μL

测量频道数 8 1 1 1

搅拌机构 电机驱动搅拌 步进电机

设定温度范围 10 ～ 40 (设定01 单位) 10 ～ 50 (设定01 单位) 01 ～ 50 (设定01 单位) 10 ～ 60 (设定01 单位)

系统软件 专用测定解析 (附限定型号PC)

外形尺寸WtimesDtimesH 220times410times170 mm () 140times300times220 mm ()

重量 70kg () 71kg () 70kg () 71kg ()

主要选配件 专用解析软件 AQUA

) 仅限本体

微量精密搅拌机 MICROPADDLE IMP-096A

微量精密搅拌机

67

微量精密搅拌机 MICROPADDLE是可以直接搅拌96孔板的系统

可以设定从低转速到每隔1 min-1 的回转速度最大可以设定12种不同的回转速度同时搅拌

可以提供迄今为止都很难做到的高精度高精密高效率的新型搅拌方案

bull 微量搅拌贵重的样品也可以仅用96孔板的液量来搅拌

bull 高精度高精密搅拌可设定每间隔1 min-11～3000 min-1 的回转速度精度可控制在plusmn 1

bull 低速搅拌可实现300 min-1 以下的回转速度也可进行精确搅拌

bull 高效率搅拌采用把搅棒直接插入样品的方式可以进行高效搅拌

bull 多条件下同时搅拌回转速度最多可设定12列方便验证最适合搅拌条件

MICROPADDLE IMP-096A

采用高粘度的色素溶液

3000 1000 700 600 400 200 100 60

回转速度 min-1

5 秒搅拌

搅拌前 搅拌后

不同回转速度混合状态的不同

)仅搅拌单元

规格 MICROPADDLE IMP-096A

搅拌方式 橹棒式

搅棒数 96根

对应微量滴定板 96孔 (ANSISLAS規格)

驱动方式 步进电机

回转速度范围 0～3000 min-1

回转速度设定 1行 (8个) 最小设定值1 min-1

回转速度精度 plusmn 1 另plusmn 1 min-1

工作环境温度 10～40

工作环境湿度 RH 85 以下

控制方式 专用软件 (PC用)

单元连接 最大12台连接1台PC控制

电源 90～264 VAC 47～63 Hz 2A (标准附属插头最大125 VAC规格)

外形尺寸WtimesDtimesH 176times94times97 mm ()

重量 15 kg ()

符合规格 CE

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

68

Notes

69

Notes

真空

泵真

空阀

门真

空计

气体

分析

仪检

漏仪

电源

(DC

RF)

EB

电源

EB

枪成

膜控

制真

空搬

送机

械手

薄膜

测定

真空

机械

构成

品分

子间

相互

作用

解析

微量

精密

搅拌

机

＜ 爱发科商贸（上海）有限公司 ＞

总部上海 地址上海市闵行区七莘路1000号A栋

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