二次電池対応シリーズ - SMC...
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91-Series
材質制限+ 潤滑保持機能(ルブリテーナ) 潤滑保持機能(ルブリテーナ)を付加することにより当社標準品に対し寿命向上を実現。低露点-40℃対応を可能。
92-MSQB Series
91-□-XC4 Series
材質制限+ 潤滑保持機能+ 強力スクレーパ
ルブリテーナ+強力スクレーパを追加する事により防塵効果を強化。
材質制限+ 真空引き
バキュームポート 真空引き用バキュームポートを設定し低発塵対策を実施。
寿命向上 低露点対応
粉塵対策
メインから端末ま
で対応
使用材質を制限
二次電池対応シリーズ
銅系金属、亜鉛、ニッケル ニッケルメッキ、亜鉛クロメート
銅系金属、ニッケルメッキ
90-Series
銅系金属を制限
25-Series外部発塵 防止
C-08-6A
1 2 3
4 5 6
7 8
0
9
90- Series
91- Series
91-�-XC4Series
標準
寿命(耐環境)
コンタミナント対策(清浄度レベル)
二次電池製造工程二次電池製造工程 電極製造銅系不可(各種禁止材料)/粉塵
捲回
積層
計量
乾燥
混練
ロール
塗布
プレス
※各機器の特性上対応不可の製品があります。詳細については機器紹介欄をご確認ください。
材質制限「90-」シリーズ
銅系金属を制限「25-」シリーズ
材質制限することにより異材質混入を防止します。
材質制限「90-」+潤滑保持機能付「91-」シリーズ潤滑剤保持機能を追加により標準仕様に対し寿命向上。また低露点-40℃まで対応可能にしました。
材質制限「90-」+潤滑保持機能付「91-」+強力スクレーパ「91-XC4」シリーズ粉塵が舞う環境で使用可能にするため摺動部に強力スクレーパを追加し、防塵効果を強化しました。
材質制限「90-」+真空引きバキュームポート「92-」シリーズ真空引きバキュームポートを設定し低発塵対策を実施しました。
正極板セパレータ負極板セパレータ
環境
「90-」シリーズ
「92-」シリーズ
「25-」シリーズ
「91-」シリーズ
「91-XC4」シリーズ
前付1
12
3
45
6
78
0
9
検査・パッケージングセル組立銅系不可(各種禁止材料)/低露点/耐薬品性/高速・高頻度対応
高温長期通電
注液 封口 活性化 検査 パッケージ
対応機器の提案
環境 環境
標準
前付2
1 2 3
4 5 6
7 8
0
9
90- Series
91- Series
91-�-XC4Series
標準
寿命(耐環境)
コンタミナント対策(清浄度レベル)
二次電池製造工程二次電池製造工程 電極製造銅系不可(各種禁止材料)/粉塵
捲回
積層
計量
乾燥
混練
ロール
塗布
プレス
※各機器の特性上対応不可の製品があります。詳細については機器紹介欄をご確認ください。
材質制限「90-」シリーズ
銅系金属を制限「25-」シリーズ
材質制限することにより異材質混入を防止します。
材質制限「90-」+潤滑保持機能付「91-」シリーズ潤滑剤保持機能を追加により標準仕様に対し寿命向上。また低露点-40℃まで対応可能にしました。
材質制限「90-」+潤滑保持機能付「91-」+強力スクレーパ「91-XC4」シリーズ粉塵が舞う環境で使用可能にするため摺動部に強力スクレーパを追加し、防塵効果を強化しました。
材質制限「90-」+真空引きバキュームポート「92-」シリーズ真空引きバキュームポートを設定し低発塵対策を実施しました。
正極板セパレータ負極板セパレータ
環境
「90-」シリーズ
「92-」シリーズ
「25-」シリーズ
「91-」シリーズ
「91-XC4」シリーズ
前付1
12
3
45
6
78
0
9
検査・パッケージングセル組立銅系不可(各種禁止材料)/低露点/耐薬品性/高速・高頻度対応
高温長期通電
注液 封口 活性化 検査 パッケージ
対応機器の提案
環境 環境
標準
前付2
レイデント®処理
樹脂ブッシュ
鉄+レイデント®処理
揺動金具 樹脂ブッシュ装着+鉄+レイデント®処理
取付金具フート、トラニオン、フランジ等( )
ブッシュ部
銅系 鉄系 材質
鉄 SUS304タイロッドナット取付部 材質
ピストンロッド部
S45C+硬質クロムメッキ SUS304+硬質クロムメッキ
材質
ロッド先端ナット部
鉄 SUS304材質
部は材質制限部を示す。
※アクチュエータは銅系金属は使用していません。
アクチュエータ
取付寸法は標準シリーズと同一。
■オートスイッチ プリワイヤコネクタ付オートスイッチのコネクタ部を樹脂製に変更し、オートスイッチ取付ねじをステンレスに変更しています。
■ショックアブソーバ アウターチューブの表面処理をレイデント®処理に変更しています。低発塵フッ素グリース使用。
■フローティングジョイント ケース、スタッド、ねじ部ナットなどの外部部品はステンレスに変更しています。
アウターチューブ表面処理変更
90-RB Series
取付ねじをステンレスに変更
樹脂製コネクタ
D-M9BWSDPC-900 Series
材質変更内容(付属関連機器)
使用材質を制限 90- Series
使用材質を制限
※リード線、コネクタピンは銅部材を使用しています。
CDG1 Series 二山クレビス 90-91-
90-J□ Series
前付3
アクチュエータ
■エアシリンダ 取付け寸法は90-,91-シリーズと互換性はありません。注)一部の機種に最低使用圧力が標準と異なる場合があります。
潤滑保持機能(ルブリテーナ)を付加することにより当社標準品に対し 寿命向上を実現。低露点-40°C対応を可能。
91- Series材質制限+潤滑保持機能(ルブリテーナ)
91-�-XC4 Series材質制限+潤滑保持機能+強力スクレーパ
(ルブリテーナ)
■エアシリンダ 取付寸法は90-シリーズと互換性はありません。
91-CQ2 Series
91-CQ2�-XC4 Series
ルブリテーナ
ルブリテーナ
強力スクレーパ
90-仕様 取付寸法は標準品と同一寸法です。
91-仕様
91-XC4仕様
5~7mm長くなります。
3~5mm長くなります。
取付寸法比較
ルブリテーナ
強力スクレーパ
ルブリテーナ
強力スクレーパ
異物除去
ルブリテーナ
ルブリテーナ
グリース潤滑
ルブリテーナ+強力スクレーパを追加する事により防塵効果を強化。
寿命向上を実現 寿命向上を実現
粉塵環境で使用可能 粉塵環境で使用可能
前付4
取付寸法は標準シリーズと同一。
90- Series空気圧機器材質制限
電磁弁 樹脂プリワイヤコネクタ付に変更しています。 取付ねじをステンレスに変更しています。
ミストセパレータ
圧力スイッチ 樹脂プリワイヤコネクタ付に変更しています。
レギュレータ バルブ(接流体)部をステンレスに変更しています。
継手・スピードコントローラ ステンレス仕様(SUS303)
取付ねじを ステンレスに変更
樹脂製コネクタ
90-AM Series
90-I(Z)SE Series
リリーフポートに継手付
KG Series AS-FG Series
90-AR Series
90-SV Series
取付ねじをステンレスに変更しています。
ステンレスに変更
取付ねじを ステンレスに変更
90-SS5V Series
樹脂製コネクタ
※電磁弁のコイル、リード線、コネクタのピンは銅部材を使用しています。
※リード線、コネクタのピンは銅部材を使用しています。
前付5A
真空引き用バキュームポートを設定し90-シリーズより低発塵対策を実施。
92-MSQB Series材質制限+真空引きバキュームポート
■推奨システム回路
二次電池製造工程内 q電磁弁の排気配管w減圧弁の呼吸配管eドレン配管
二次電池製造工程内で空気圧機器を使用するにあたり、発塵対策の推奨システム回路構成を以下に示します。
q
er
w
r
rクリーンエキゾーストクリーナ/90-AMP Series 電磁弁、レギュレータの排気処理 電磁弁の排気エアや、レギュレータのリリーフポート、ブリード孔からの排気エアは「クリーンエキゾーストクリーナ/90-AMPシリーズ」に接続することで外部発塵を抑えることが可能です。
ロータリ 軸受部の外部発塵を抑えるために、真空引き用バキュームポートを追加しました。
二次電池製造工程内での推奨システム回路
92-MSQB Series
バキュームポート
(真空引き)
前付6
対応製品 対応製品 ●材質制限:90-シリーズ ●材質制限+潤滑保持機能:91-シリーズ ●材質制限+潤滑保持機能+強力スクレーパ:91-□-XC4シリーズ ●材質制限+真空引きバキュームポート:92-シリーズ
※アクチュエータに取付けられるオートスイッチ型式は、オートスイッチ(前付13)をご参照ください。 ※1 ø20, ø25は対応不可。
アクチュエータ シリーズ 型式 90- 91-
エアシリンダ
●
▲
●
▲
▲
●
―
―
●
―
―
●
CDJ2
CDM2
CDG1�N
CDG1�A
MDB
CDA2
標準形(複動のみ)
標準形
標準形
標準形
備考
―
―
○
―
―
○
91-XC4
●
●
●
●
●
▲
25-
ø10, ø16
ø20~ø40
ø40~ø100
ø40~ø100
※1
方向制御機器 備考シリーズ 型式 90-
5ポートソレノイドバルブ
別置形パーフェクトブロック
3ポートソレノイドバルブ
フィンガバルブ
▲
●
▲
●
●
●
▲
●
●
●
25-
●
▲
●
▲
●
▲
●
▲
▲
▲
SY5000, 7000
SV2000, 4000
VQ1000Y, 2000Y
VQ1000
VQ2000
VP342, 542
VP742
VT317
VG342
VHK2
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。○:特注品対応
ラバークッション
エアクッション
「90-」はø20~ø50「25-」はø20~ø100
「25-」はø25~ø100
標準形(複動のみ)
前付7A
対応製品 対応製品
※アクチュエータに取付けられるオートスイッチ型式は、オートスイッチ(前付13)をご参照ください。 ※1 ø10, ø16は対応不可。※2 ø10は対応不可。※3 ø12は対応不可。※4 ø12, ø16は対応不可。※5 ø6, ø8, ø12, ø16は対応不可。
アクチュエータ シリーズ 型式 90- 91-
薄形シリンダ
マグネット式ロッドレスシリンダ
メカジョイント式ロッドレスシリンダ
エアスライドテーブル
ガイド付薄形シリンダ
デュアルロッドシリンダ
●
▲
●
●
●
●
●
●
―
―
●
●
●
●
▲
▲
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
―
―
CDU
CDUK
CDQS
CDQS�S
CDQ2
MY1B
MY1H
MY2H
CY3B
CY3R(G)
MXS
MXQ
MGPM
MGPL
CXSM
CXSL
標準形
ロッド回り止め形
標準形(複動のみ)
耐横荷重形(複動のみ)
標準形(複動のみ)
基本形
リニアガイド1軸形
リニアガイド1軸形
基本形
ダイレクトマウント形
クロスローラガイド
循環式リニアガイド
すべり軸受形
ボールブッシュ軸受形
すべり軸受形
ボールブッシュ形
備考
○
○
○
―
○
―
―
―
―
―
○
○
○
○
―
―
91-XC4
▲
▲
●
▲
●
▲
▲
▲
▲
▲
▲
●
●
●
●
●
25-
ø10~ø32
ø10~ø32
ø12~ø25
ø12~ø25
ø12~ø100
ø20~ø63
ø16~ø40
ø16, ø25
ø12~ø63
ø15~ø25
ø6~ø32
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。○:特注品対応
「90-」はø6~ø25(基本形のみ)
「25-」はø6~ø25(ストッパ)
「90-」はø12~ø63「25-」はø12~ø100
ø16, ø20, ø25(基本形のみ)
※1
※1
※3
※4
※5
※5
※4
※4
フリーマウントシリンダ※2
ø15~ø40「90-」と「91-」の構造は同一です。
ø15~ø40「90-」と「91-」の構造は同一です。
前付8 A
●材質制限:90-シリーズ ●材質制限+潤滑保持機能:91-シリーズ ●材質制限+潤滑保持機能+強力スクレーパ:91-□-XC4シリーズ ●材質制限+真空引きバキュームポート:92-シリーズ対応製品 対応製品
▲
25-
ロータリアクチュエータ 備考シリーズ 型式
ロータリテーブル ラックピニオンタイプ サイズ:20~100●MSQB
92-
※ロータリアクチュエータに取付けられるオートスイッチ型式は、オートスイッチ(前付13)をご参照ください。
付属関連機器 シリーズ 型式 90-
●
●
●
●
●
25-
―
―
―
●
●
JA
JB
JS
RB
RBC
標準タイプ
薄形シリンダ専用タイプ
ステンレスタイプ
標準形
標準形
備考
M8~M27
M8~M27
フローティングジョイント
ショックアブソーバ
アクチュエータ シリーズ 型式 90- 91-
ガイド付シリンダ
ロック付シリンダ
ロック付シリンダ
ロック付薄形シリンダ
ストッパシリンダ
ハイストッパシリンダ
●
▲
▲
▲
●
●
●
●
●
●
●
―
―
―
MGGL
CDNG�N
CDNA�N
CDLQ
RSDQ
RSH
RS1H
ボールブッシュ軸受形
標準形
標準形
標準形(複動のみ)
標準形
標準形
標準形
備考
○
○
○
○
―
―
―
91-XC4
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
25-
ø20~ø50
ø20~ø40
ø40~ø100
ø20~ø100
ø20~ø50
ø20, ø32
ø50~ø63
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。○:特注品対応
●:標準対応
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。
※1
※アクチュエータに取付けられるオートスイッチ型式は、オートスイッチ(前付13)をご参照ください。 ※1 ø20, ø25は対応不可。
「90-」は適用シリンダø10~ø63「25-」は標準対応
「90-」は適用シリンダø12~ø100「25-」は適用シリンダø12, ø16(JSで対応)「25-」は適用シリンダø20~ø160(標準対応)
「90-」は適用シリンダø80, ø100「25-」は適用シリンダø6~ø15(JSで対応)「25-」は適用シリンダø20~ø160(標準対応)
前付9
対応製品 対応製品
※エアチャックに取付けられるオートスイッチ型式は、オートスイッチ(前付13)をご参照ください。
エアチャック 備考シリーズ 型式 90-
平行開閉形エアチャック
標準タイプ
ロングストローク
ダストカバー付
幅広タイプ
薄形エアチャック
3爪エアチャック
4爪エアチャック
ロングストローク(ダストカバー付)
ø16~ø40
ø10~ø25
ø10~ø25
ø10, ø16, ø20
ø8, ø12, ø16, ø20
ø16, ø20, ø25
ø16, ø20, ø25
―
―
●
●
●
▲
●
●
―
―
―
―
●
―
―
―
―
―
―
―
○
―
―
―
●
▲
▲
▲
●
●
▲
▲
MHZ2
MHZL2
MHZJ2
MHZL2
MHL2
MHF2
MHS3
MHS4
91-
真空機器 備考シリーズ 型式 25-
薄形真空エジェクタポンプシステム
大型真空ユニット
真空エジェクタ
エアサクションフィルタ
真空パッド
エジェクタユニット
マニホールドタイプ
エジェクタユニット
マニホールドタイプ
直接配管形
パッド
ワンタッチ管継手付インラインタイプ
縦方向真空取出形(バッファなし)
縦方向真空取出形(バッファ付)
▲
▲
▲
▲
―
―
―
―
▲
90-
―
―
●
●
―
―
●
●
●
ZR
ZZR
ZQ
ZZQ
ZH
ZFC
ZPT
ZPT
ZP
コネクタカバー付
標準品で対応可能
標準品で対応可能
パッド材質:フッ素ゴム
パッド材質:フッ素ゴム
コネクタカバー付-X125 ポート排気
専用アダプタへの取付パッド材質:フッ素ゴム
91-XC4 25-
「90-」「91-」「91-XC4」はø20, ø25「25-」はø10~ø32
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。○:特注品対応
※1 ø40は当社営業にご確認ください。
※1
前付10 A
●材質制限:90-シリーズ ●材質制限+潤滑保持機能:91-シリーズ ●材質制限+潤滑保持機能+強力スクレーパ:91-□-XC4シリーズ ●材質制限+真空引きバキュームポート:92-シリーズ対応製品 対応製品
エアフィルタ・圧力制御機器 備考シリーズ 型式 90-
●
●
●
▲
●
25-
●
▲
▲
●
●
AF30~60
AFM30, 40
AFD30, 40
AR20~50
AR25K~60K
ドレン排出はマニュアル操作のみ
ドレン排出はマニュアル操作のみ
「25-」はAR20K~50K「90-」はリリーフポートに継手付圧力計は別手配
※圧力計につきましては、当社営業にご確認ください。
清浄化機器 備考シリーズ 型式 90-
メンブレンエアドライヤ
メインラインフィルタ
ミストセパレータ
マイクロミストセパレータ
●
●
●
●
IDG50L~100L
AFF4C~22C, 37B, 75B
AM250C~550C, 650, 850
AMD250C~550C, 650, 850
パージ空気排出用継手付
ドレン排出はマニュアル操作のみ
ドレン排出はマニュアル操作のみ
ドレン排出はマニュアル操作のみ
クリーンエアフィルタ 備考シリーズ 型式 90-
クリーンエアフィルタ
クリーンルーム用エキゾーストクリーナ
―
●
●
●
SFD100
SFD200
AMP220, 320, 420
AMP420-06�-T-X1
標準品で対応可能
目詰まりチェッカ付
目詰まりチェッカ付[1500l/min(ANR)仕様]
エアフィルタ
ミストセパレータ
マイクロミストセパレータ
レギュレータ
逆流機能付レギュレータ
●:標準対応
●:標準対応
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。
「25-」はAF20~60ドレン排出はマニュアル操作のみ
前付11
対応製品 対応製品
検出スイッチ 備考シリーズ 型式 90- 25-
2色表示式高精度デジタル圧力スイッチ
高精度デジタル圧力スイッチ
汎用流体用高精度デジタル圧力スイッチ
2色表示式デジタルフロースイッチ
水用デジタルフロースイッチ
▲
●
●
●
●
●
●
▲
▲
―
ZSE30A / ISE30A
ZSE40 / ISE40
ISE50
PFM
PF2W
継手・駆動制御機器 備考シリーズ 型式 90-
ワンタッチ管継手内蔵クイックエキゾーストバルブ
ワンタッチ管継手付チェックバルブ
ワンタッチ管継手付スピードコントローラステンレス仕様
ワンタッチ管継手ステンレス仕様
●
●
―
―
AQ240F, 340F
AKH4~12
AS-FG
KG
標準品で対応可能
標準品で対応可能
エアフィルタ・圧力制御機器 備考シリーズ 型式 90-
エアコンビネーション用(モジュラ接続金具)
●
●
●
●
― 標準品で対応可能
「90-」は樹脂プリワイヤコネクタ付
樹脂プリワイヤコネクタ付
「25-」は「90-」で対応
注)コネクタカバーがずれると銅が露出します。
●:標準対応▲:当社営業にご確認ください。
●:標準対応
●:標準対応
・リリーフポートに継手付・ドレン排出はマニュアル操作のみ・圧力計は別手配
・スペーサ・T形ブラケットスペーサ・30~60用
圧力計は別手配
電気回路を含んでいるため完全な銅系不可品ではありません。(接流体部銅系不可品)
逆流機能付フィルタレギュレータ
精密レギュレータ
電空レギュレータ
残圧表示器
AW30K~60K
IR1000~3000
ITV2000
CB-97XH
※圧力計につきましては、当社営業にご確認ください。
Y30~60Y30T~60T
前付12 A
対応製品 対応製品
オートスイッチ
バンド取付タイプ※1
レール取付タイプ※1
タイロッド取付タイプ※1
直接取付タイプ(丸溝)
直接取付タイプ(角溝)※1
D-M9BWSDPC-900D-M9BWVSDPC-900D-M9BWL-900D-M9BWVL-900
D-Y7BWL-900D-Y7BWVL-900
取付形態型式 適用シリンダ
CDJ2シリーズCDG1シリーズMGGシリーズ
CDQ2シリーズRSQシリーズ
CDA2シリーズCDNAシリーズ
CDUシリーズCQシリーズMYシリーズCY3RシリーズRSQシリーズMSQシリーズMHZJシリーズ※4MHZLシリーズ※4MHSシリーズ※4MXシリーズ
MYシリーズ※3CY3RシリーズMGPシリーズMLGPシリーズRSHシリーズMHLシリーズ※4
MY1B50シリーズ
RSHシリーズMY1B25~63
直接取付タイプ
直接取付タイプ
※1 オートスイッチ取付金具を使用することによって機器に取付可能です。 ※オートスイッチ取付金具も使用材質を制限しています。※2 RSH,RS1H,MY1B25~26,CDNA�50は、D-A90L-900の取付が不可となります。※3 MY1B50は、D-M9BW(V)�-900の取付が不可となります。※4 MHZJ,MHZL,MHS,MHLシリーズには、有接点オートスイッチ(D-A90L-900,D-Z80L-900)の取付が不可となります。
2色表示式無接点オートスイッチ
2色表示式無接点オートスイッチ
D-Z80L-900
有接点オートスイッチ
D-A90L-900
有接点オートスイッチ
※2
※2
前付13
構成部品の材質・処理比較表 90シリーズ製品名
シリーズ名 25シリーズ部品名 標準
ピストン
ロッド
取付け金具
ブッシュ
ガイドブッシュ
ガイドロッド
プレート
ピストン
ロッド
ブラケット
パッキン押え
バルブ
ステム
ボンネット
ブラケット
材質処理材質処理材質処理材質
処理
材質処理材質処理材質処理材質
処理
材質
処理
材質処理材質処理材質
処理
材質
処理
材質
処理
材質処理材質
処理
材質
処理
材質
処理
材質処理材質処理
材質
処理
材質
処理
銅系―
アルミニウムクロメートS45C
硬質クロムメッキ鉄
Niメッキ(銅下有)
銅系―
鉛青銅鋳物―鉄
硬質クロムメッキ鉄
Niメッキ(銅下有)
黄銅(ø6,ø8)アルミニウム(ø12~)
無電解Niメッキ(ø6,ø8)クロメート(ø12~)
黄銅無電解Niメッキ
黄銅無電解Niメッキ
鉄
Niメッキ(銅下有)
鉄
Niメッキ(銅下有)
黄銅
無電解Niメッキ
黄銅―鋼帯
電着塗装(黒色)
黄銅
―
AR50,60:黄銅
―
黄銅―黄銅―
AR25~40:POMAR50,60:ADC
AR25~40:―AR50,60:クロメート、黒色塗装
鋼帯
電着塗装(黒色)
鉄系―
アルミニウムクロメートS45C
硬質クロムメッキ鉄
レイデント®処理
鉄系―鉄系―鉄
硬質クロムメッキSUS304
―
SUS304(ø6,ø8)アルミニウム(ø12~)
―クロメート(ø12~)
SUS304―
SUS303―鉄
黒染
SUS
―
SUS303
―
SUS303―鋼帯
電着塗装(黒色)
SUS303
―
AR50,60:アルミニウム
―
SUS303―
SUS303―
AR25~40:POMAR50,60:ADC
AR25~40:―AR50,60:クロメート、黒色塗装
鋼帯
電着塗装(黒色)
シリンダCQ2
シリンダMGPM
エアスライドテーブル
MXQ
電磁弁
フィルタAF30~60
レギュレータAR25K~60K
鉄系―
アルミニウムアルマイト(ø12~ø40)
SUS304硬質クロムメッキ
鉄
レイデント®処理
鉄系―鉄系―
SUS440C硬質クロムメッキSUS304
―
SUS304(ø6,ø8)アルミニウム(ø12~)
―アルマイト(ø12~)
SUS304―
SUS303・304―鉄
レイデント®処理
SUS
―
SUS303
―
SUS303―鋼帯
レイデント®処理
SUS303
―
AR50,60:アルミニウム
―
SUS303―
SUS303―
ADC
クロメート、黒色塗装
鋼帯
レイデント®処理
ブッシュ(ø50~ø100)
ピストンスペーサ
パッキンサポート
ボルトビス類
ボルトビス類
ドレンプラグ
チェック弁プラグ
前付14
関連機器 関連機器
■クリーンルーム用機器
クリーンルーム環境で使用可能。発塵対策製品。 クリーンルーム内組付け、二重梱包。 ・クリーンシリーズ 10-/11-/12-/13- Series
・クリーンロッドレスシリンダ CYP Series
・クリーンワンタッチ管継手駆動系エア配管用 KPQ・KPG Series
・ワンタッチ管継手付クリーンスピードコントローラ AS-FPQ・FPG Series
・クリーンルーム用エキゾーストクリーナ AMP Series
・ノンメタルポンプ/複動ポンプ PAF Series
・高真空機器・クリーンレギュレータ SRH Series
・精密クリーンレギュレータ SRP Series
・フッ素樹脂機器・ポリオレフィンチューブ TPH Series
・ソフトポリオレフィンチューブ TPS Series
■クリーンブロー用機器
クリーンエアライン用機器。 クリーンルーム内組付け、二重梱包。 ・クリーンガスフィルタ SF Series
・クリーンエアフィルタ中空糸エレメント SFD Series
・クリーンエアモジュール LLB Series
・クリーンレギュレータ SRH/SRP Series
・クリーンレギュレータ/フッ素樹脂タイプ SRF Series
・クリーンワンタッチ管継手ブロー用 KP Series
・ポリオレフィンチューブ TPH/TPS Series
・薬液用エアオペレートバルブ/ねじ込み型 LVA Series
・高真空ストレート電磁弁 XSA Series
クリーン 1
LLB Series
SFD Series
CYP Series
SRH Series
KPQ Series
「使用材質を制限」については当社へご確認ください。
前付15
LVC Series
TL/TIL Series
SRF Series
LQ1 Series
PF2D Series
PAF Series
LQ3 Series
モニタ
センサ
耐食、耐熱性にすぐれたフッ素樹脂採用の機器。
・薬液用エアオペレートバルブ LV Series
・クリーンレギュレータ/フッ素樹脂タイプ SRF Series
・純水・薬液用デジタルフロースイッチ PF2D Series
・ノンメタルポンプ/複動ポンプ PAF Series
・フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング LQ1/LQ3 Series
・フッ素樹脂チューブ TL/TIL Series
・FEPチューブ(フッ素樹脂) TH/TIH Series
・軟質フッ素樹脂チューブ TD/TID Series
圧力制御機器
管継手・チューブ
流量センサ
流体制御機器
ポンプ
フッ素樹脂 2
帯電防止機器 3
KA Series
TA□ Series
導電対策を施すことにより帯電を防止。 静電気によるトラブルを低減。
関連機器 関連機器
・帯電防止エアシリンダ(オーダーメイド) CM2-X1051 Series
・帯電防止ワンタッチ管継手 KA Series
・ミニチュア管継手/SUS316 MS Series
・ミニチュア管継手 M Series
・帯電防止チューブ TA□ Series
・帯電防止スピードコントローラ(オーダーメイド) AS-X260 Series
・真空パッド ZP Series
駆動機器
真空機器
管継手・チューブ
駆動制御機器
「使用材質を制限」については当社へご確認ください。
「使用材質を制限」については当社へご確認ください。
前付16
除電機器 4
防爆機器 5
電動アクチュエータ・シリンダ 6
関連機器 関連機器
IZD/IZE Series
モニタ
センサ
コロナ放電によりイオンを発生させて静電気を除去(中和)。 ・イオナイザ IZS31 Series
・イオナイザ ノズルタイプ IZN10 Series
■測定機器
ワークの帯電電位を測定。 ・表面電位センサ IZD10/IZE11 Series
・ハンディ表面電位計 IZH10 Series
IZS31 Series
LJ1 Series
LX Series
LEHZ Series
E-MY2 Series
・本質安全防爆システム対応5ポートソレノイドバルブ 51-SY Series
・防爆形ソレノイドバルブ 50-VFE/VPE Series
・電動アクチュエータ LJ1/LG1 Series
・ガイド一体型電動アクチュエータ LTF Series
・ショートストローク電動アクチュエータ LX Series
・電動シリンダ LZB/LDZB/LZC/LDZC Series
・電動グリッパ LEHZ/LEHF Series
・電動スライドテーブル LES Series
・e-ロッドレス E-MY2 Series
51-SY Series 50-VFE/VPE Series
「使用材質を制限」については当社へご確認ください。
「使用材質を制限」については当社へご確認ください。
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前付17