Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.01-06-2020 1

サーマル式マスフローコントローラ；MFC(熱式質量流量調節機器)

EL-FLOW Select(標準的な製品)

IN-FLOW Select

EL-FLOW Prestige

EX-FLOW

IQ+FLOW

LOW-DP-FLOW

EL-FLOW Metal sealed

EL-FLOW Base

EL-FLOW Classic

IN-FLOW CTA MASS-STREAMMASS-VIEW

レギュレータ/コントローラ

IP-65(防塵防滴)・高圧・大流量

本質安全防爆

高精度・高性能

詰まりにくい構造・全量測定・低差圧

メタルシール

低差圧・腐食性ガス向け・詰まりにくい構造

機能省略版・主にOEM向け

チップセンサー・コンパクトタイプ

機能省略版・アナログI/Oのみ

LOW-DP-FLOW

EL-FLOW Base

低差圧・腐食性ガス向け・詰まりにくい構造

機能省略版・主にOEM向け

Mass Flow ONLINE

サーマル式マスフローメータ；MFM(熱式質量流量測定機器)

Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.01-06-2020 2

EL-FLOW Select(標準的な製品)

IN-FLOW Select

EL-FLOW Prestige

EX-FLOW

IQ+FLOW

LOW-DP-FLOW

EL-FLOW Metal sealed

IN-FLOW CTA MASS-STREAM

IP-65(防塵防滴)・高圧・大流量

本質安全防爆

高精度・高性能

詰まりにくい構造・全量測定・低差圧

メタルシール

低差圧・腐食性ガス向け・詰まりにくい構造

チップセンサー・コンパクトタイプ

LOW-DP-FLOW低差圧・腐食性ガス向け・詰まりにくい構造

MASS-VIEWメータ

Mass Flow ONLINE

2020/6/1 3Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.

コリオリ式マスフローメータ・コントローラ(ガスおよび液体用)；MFM・MFC(コリオリ式質量流量測定・調節機器)

mini CORI-FLOW M12/M13/M14(標準的な製品)

(100 mg/h…30 kg/h H2O)

Ex-d mini CORI-FLOW *

耐圧防爆大流量

mini CORI-FLOW M15 *(～300 kg/h H2O)

大流量

CORI-FLOW M54/M55 *(～600 kg/h H2O)

微小流量・高精度

mini CORI-FLOW ML120(100 mg/h H2O～)

特殊用途向け

(mini) CORI-FLOW + ポンプ/シャットオフバルブ/社外エア駆動弁等

* Mini CORI-FLOW ML120/M12/M13/M14以外のコントローラは、バルブ一体型はございません

IP-66/67

mini CORI-FLOWMI130/MI140(1 g/h…30 kg/h H2O)

2020/6/1 4Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.

液体用サーマル式マスフローメータ・コントローラ；LFM・LFC(熱式質量流量測定・調節機器)

LIQUI-FLOW L10/L20(標準的な製品)

微小流量向け(最小5…100 mg/h H2O)

m-FLOW

IP-65(防塵防滴)

LIQUI-FLOW IP-65 *

* IP-65タイプのコントローラは、バルブ一体型はございません

※サーマル式は水・アルコールおよび類似の液体のみに適用頂けます。これ以外の場合、コリオリ式をご検討下さい。

Mass Flow ONLINE容積/電磁/超音波/渦式流量計

体積流量計(コントローラなし)

2020/6/1 5Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.

Mass Flow ONLINE容積/電磁/超音波/渦式流量計

体積流量計(コントローラなし)

液体用超音波フローメータ・コントローラ；LFM・LFC(超音波体積流量測定・調節機器)

ES-FLOW ES-103I/113I(超音波体積流量計)

* ES-FLOWのコントローラは、全て分離型となります。* 本製品は体積流量計です。

質量測定・制御を要求される場合、LIQUI-FLOWまたは(mini) CORI-FLOWをご検討下さい。

コントロールバルブ

C2I

C5I

・セルフドレイン構造・トリクランプフランジ対応・CIP対応・IP67ハウジング

※コントロールバルブやポンプを接続し、流量コントロールが可能

2020/6/1 6Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.

電子式圧力トランスデューサ・コントローラ；EPT・EPC(電子式圧力測定・調節機器)

EL-PRESS(標準的な製品)P-502CV: 圧力測定

P-602CV: 二次圧制御P-702CV: 一次圧制御

P-802CV: プロセス圧制御

IP-65(防塵防滴)

* IP-65タイプのコントローラは、バルブ一体型はございません

IN-PRESS *圧力計・調節計

EL-PRESSP-506C: 差圧測定・制御

差圧測定・制御メタルシールEL-PRESSMetal sealed

P-502CM: 圧力測定P-602CM: 二次圧制御P-702CM: 一次圧制御

IQ+FLOWIQP-500C: 圧力測定

IQP-600C: 二次圧制御IQP-702C: 一次圧制御

チップセンサー・コンパクトタイプ

2020/6/1 7Products brief introduction; Bronkhorst Japan K.K.

蒸気搬送システム(精密気化システム; CEM/VDM)

CEM (controlled evaporation mixing)(標準的な製品)

VDM (vapor delivery module)

ケースに組み込み(液用流量計：コリオリ式)

(液用流量計：サーマル式)